一种适用于清洗釜的硅片夹持装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片清洗设备领域，尤其是涉及一种适用于清洗釜的硅片夹持装置。
【背景技术】
[0002]目前，在硅片清洗设备当中，一般是通过一个圆形的卡盘固定三个或三个以上的夹持元件来夹持住硅片进行清洗，这样就会在夹持硅片的夹持元件与硅片的被夹持部分之间形成一个死区。在硅片冲洗工艺阶段，未被清洗掉的颗粒往往会在死区位置残留下来，成为进一步提高单片清洗设备清洗效果的一个亟待解决的问题。由于颗粒尺寸越来越小，这一问题变得越来越突出。当前，为解决这一问题，普遍采用的方法是尽量减小夹持元件尺寸以缩小其与硅片的接触面积，但夹持元件尺寸减小的同时其夹持强度会相应的降低。且这种机械夹紧方式，效率低下，操作繁琐，影响实际工业生产效率。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，解决现有技术清洗存在死区、清洗工作效率低的问题，本实用新型通过改变硅片的夹持方式，改善清洗效果，提高了生产效率，同时满足加工不同规格的硅片，硅片的安装、更换方便快捷。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0005]本实用新型一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，包括固定用的底座，所述底座上方设置有过渡板，所述过渡板上方设置有上板，所述底座下方设置有通气孔，所述底座内设置有通气槽，所述通气槽贯穿至所述底座的上表面，且所述通气孔和所述通气槽相连通，所述通气槽贯穿到底座上表面；所述过渡板上设置有多个贯穿孔，所述顶端的上板上设置有多个吸附孔，所述过渡板上的贯穿孔和所述上板上的吸附孔对应设置，所述吸附孔通过所述贯穿孔与所述通气槽相连通。
[0006]进一步的，所述底座和所述过渡板相接触的所述底座的面上设置有第一密封槽。
[0007]再进一步的，所述第一密封槽内安装有第一密封圈。
[0008]再进一步的，所述底座上的所述通气槽的位置设置在所述第一密封槽的包围范围内。
[0009]再进一步的，所述过渡板和所述上板相接处的所述过渡板的面上设置有第二密封槽。
[0010]再进一步的，所述第二密封槽内安装有第二密封圈。
[0011]再进一步的，所述过渡板上的贯穿孔的位置设置在所述第二密封槽的包围范围内。
[0012]再进一步的，所述上板包括上板主体，所述上板主体上粘合有垫片，所述垫片上设置有弹性垫圈，且所述弹性垫圈与所述吸附孔的位置对应设置。
[0013]与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果:
[0014]本实用新型一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，由底座、过渡板和上板组成，底座下方设置的通气孔与真空泵相连通，底座内设置有贯穿到底座上表面的网状通气槽，底座上固定有过渡板，过渡板上设置有多个贯穿孔，过渡板上方固定有上板，上板上设置有多个吸附孔，吸附孔与贯穿孔对应设置，上板上的吸附孔通过过渡板上的贯穿孔与底座上的通气槽相连通。在底座、过渡板和上板三者相互的接触面上，设置有第一、第二密封槽和第一、第二密封圈，以防止临界面气体渗透及保证夹紧力大小。同时，所述上板的上板主体上粘合有垫片，垫片上设置有弹性垫圈，且所述弹性垫圈与吸附孔的位置对应。工作时，选择适合于硅片尺寸的上板与过渡板安装在底座上，靠近清洗釜内壁固定，与真空泵相连，吸附孔周围产生负压，然后将硅片置于上板顶端，硅片即被固定在上板的弹性垫圈上，继续减压使弹性垫圈与硅片紧密接触，待压力稳定后即可开始进行清洗工作。待清洗完毕，需要对另一种尺寸的硅片进行清洗时，仅需将过渡板和上板更换为其他适合的规格即可。此外，根据需要也可以在吸附孔外围增加弹性垫圈的数量，以保证夹持装置的负压值和密封性。本实用新型设计巧妙，结构简单，安装使用方便快捷。
【附图说明】
[0015]下面结合【附图说明】对本实用新型作进一步说明。
[0016]图1为本实用新型适用于清洗釜的硅片夹持装置示意图；
[0017]图2为本实用新型上板结构剖视图；
[0018]附图标记说明:1、底座；11、通气孔；12、通气槽；13、螺纹孔；14、第一密封圈；15、第一密封槽；2、过渡板；21、第二密封槽；22、第二密封圈；23、贯穿孔；3、上板；31、吸附孔；
32、上板主体；33、垫片；34、弹性垫圈。
【具体实施方式】
[0019]如图1-2所示，一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，包括固定用的底座1，所述底座I上方设置有过渡板2，所述过渡板2上方设置有上板3，所述底座I下方设置有通气孔11，所述底座I内设置有通气槽12，所述通气槽12贯穿至所述底座I的上表面，且所述通气孔11和所述通气槽12相连通；所述过渡板2上设置有多个贯穿孔23，所述顶端的上板3上设置有多个吸附孔31，所述过渡板2上的贯穿孔23和所述上板3上的吸附孔31对应设置，所述吸附孔31通过所述贯穿孔23与所述通气槽12相连通。
[0020]所述底座I和所述过渡板2相接触的所述底座的面上设置有第一密封槽15，所述第一密封槽15内安装有第一密封圈14 ;所述底座I上的所述通气槽12的位置设置在所述第一密封槽15的包围范围内，以防止临界面气体渗透及保证夹紧力大小。
[0021]所述过渡板2和所述上板3相接处的所述过渡板2的面上设置有第二密封槽21 ;所述第二密封槽21内安装有第二密封圈22，所述过渡板2上的贯穿孔23的位置设置在所述第二密封槽21的包围范围内，以防止临界面气体渗透及保证夹紧力大小。
[0022]如图2所示。所述上板3包括上板主体32，所述上板主体32上粘合有垫片33，所述垫片33上设置有弹性垫圈34，且所述弹性垫圈34与所述吸附孔31的位置对应设置。
[0023]本实用新型使用过程:
[0024]如图1所示，一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，由底座1、过渡板2和上板3组成。底座I通过两侧的螺纹孔13与清洗釜旋转内壁相连接，底座I内设置有贯穿至底座上表面的网状的通气槽12，并通过底座I下的通气孔11与真空泵相连通。过渡板2固定在底座I上，过渡板2上设置有四个贯穿孔23 ;上板3固定在过渡板2上，上板3上设置有四个吸附孔31，四个吸附孔31分别通过4个贯穿孔23与通气槽12相连通。为保证夹持装置的负压值和密封性，如图2所示，上板本体32与垫片33粘合剂粘牢，垫片33上吸附孔31周边固定有弹性垫圈34，清洗时，硅片放在上板1，并与弹性垫圈34充分接触，根据需要也可以在吸附孔外围增加弹性垫圈的数量。此外，在底座1、过渡板2和上板3的相接处的临界面上均设置有密封槽和密封圈，以防止临界面气体渗透及保证夹紧力大小。
[0025]工作时，选择适合于硅片尺寸的上板3与过渡板2安装在底座I上，靠近清洗釜内壁固定，底座与真空泵相连，过渡板2上的贯穿孔23和上板3上的吸附孔31对应设置，启动真空泵吸附孔31周围产生负压，然后将硅片置于上板3顶端，硅片即被固定在上板3的弹性垫圈34上，继续减压使弹性垫圈34与硅片紧密接触，待压力稳定后即可开始进行清洗工作。待清洗完毕，需要对另一种尺寸的硅片进行清洗时，仅需将过渡板2和上板3更换为其他适合的规格即可。此外，根据需要也可以在吸附孔31外围增加弹性垫圈34的数量，以保证夹持装置的负压值和密封性。
[0026]以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，包括固定用的底座(1)，其特征在于:所述底座(I)上方设置有过渡板(2 )，所述过渡板(2 )上方设置有上板(3 )，所述底座(I)下方设置有通气孔(11 )，所述底座(I)内设置有通气槽(12 )，所述通气槽(12 )贯穿至所述所述底座(I)的上表面，且所述通气孔(11)和所述通气槽(12 )相连通；所述过渡板(2 )上设置有多个贯穿孔(23)，所述顶端的上板(3)上设置有多个吸附孔(31)，所述过渡板(2)上的贯穿孔(23)和所述上板(3)上的吸附孔(31)对应设置；所述吸附孔(31)通过所述贯穿孔(23)与所述通气槽(12)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述底座(I)和所述过渡板(2 )相接触的所述底座的面上设置有第一密封槽(15)。
3.根据权利要求2所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述第一密封槽(15)内安装有第一密封圈(14)。
4.根据权利要求2所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述底座(I)上的所述通气槽(12)的位置设置在所述第一密封槽(15)的包围范围内。
5.根据权利要求1所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述过渡板(2 )和所述上板(3 )相接处的所述过渡板(2 )的面上设置有第二密封槽(21)。
6.根据权利要求5所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述第二密封槽(21)内安装有第二密封圈(22)。
7.根据权利要求5所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述过渡板(2)上的贯穿孔(23)的位置设置在所述第二密封槽(21)的包围范围内。
8.根据权利要求1所述的一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，其特征在于:所述上板(3 )包括上板主体(32 )，所述上板主体(32 )上粘合有垫片(33 )，所述垫片(33 )上设置有弹性垫圈(34)，且所述弹性垫圈(34)与所述吸附孔(31)的位置对应设置。
【专利摘要】本实用新型涉及一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，包括固定用的底座，所述底座上方设置有过渡板，所述过渡板上方设置有上板，所述底座下方设置有通气孔，所述底座内设置有通气槽，所述通气槽贯穿至所述底座的上表面，且所述通气孔和所述通气槽相连通，所述通气槽贯穿到底座上表面；所述过渡板上设置有多个贯穿孔，所述顶端的上板上设置有多个吸附孔，所述过渡板上的贯穿孔和所述上板上的吸附孔对应设置,所述吸附孔通过所述贯穿孔与所述通气槽相连通。本实用新型设计巧妙，结构简单，改善清洗效果，提高了生产效率，同时满足加工不同规格的硅片，硅片的安装、更换方便快捷。
【IPC分类】B25B11-00, B08B13-00
【公开号】CN204544933
【申请号】CN201520202937
【发明人】靳光亚, 王娅, 王佳鹏, 朱松阳, 吕媛, 程友良
【申请人】华北电力大学（保定）
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年4月7日