一种电子级化学品盛装桶的清洗设备的制造方法
【专利说明】
[技术领域]
[0001]本实用新型涉及清洗机械技术领域，具体地说是一种电子级化学品盛装桶的清洗设备。
[【背景技术】]
[0002]在大规模集成电路(IC)制造中需要使用大量高纯度化学品，如RCA清洗、湿式蚀刻等。随着IC制程技术的不断进步，对高纯电子级化学品生产分装中的微粒子控制要求也越来越高。目前多数电子级化学品采用200L标准桶运输，储存。电子级化学品分装进200L桶前必须采用高纯去离子水和高纯氮气进行清洗。目前，用于电子级化学品所用200L桶均为进口产品，价格较高，故电子级化学品生产厂商都会回收。而回收桶内微粒子成分复杂，污染物含量高。现有200L桶清洗设备的微粒子控制能力弱，自动化程度低，清洗效果差，难以满足质量越来越高的高纯电子级化学品储存需求。因此，若能提供一种新的电子级化学品200L桶清洗设备，以满足上述需求，将具有非常重要的意义。
[【实用新型内容】]
[0003]本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种电子级化学品盛装桶的清洗设备，具有高效的清洗效果和氮气吹干效果，最大限度地减少了桶内液体残留，能够防止桶内残余酸气等有害气体挥发，且操作灵活，自动化程度高。
[0004]为实现上述目的设计一种电子级化学品盛装桶的清洗设备，包括设备主体I，所述设备主体I顶部安装有空气过滤器2和抽风口9，所述设备主体I内部设有用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒3，所述设备主体I上固定连接有清洗喷头及汲取管放置盒6，所述清洗喷头及汲取管放置盒6内置有清洗喷头4和汲取管5，所述设备主体I底部设有滚轮输送线13，所述滚轮输送线13由变频电机14驱动，所述滚轮输送线13下方设有桶顶升倾斜装置8。
[0005]所述设备主体I外侧装有条码识别器11和触摸屏操作面10，所述条码识别器11、变频电机14、桶顶升倾斜装置8分别通过线路连接触摸屏操作面10上的按键控制区。
[0006]所述设备主体I后侧设有后部管路区域12，所述后部管路区域12内安装有排废栗，所述排废栗与汲取管5连接。
[0007]所述设备主体I采用聚丙烯包覆高碳钢制成。
[0008]所述清洗喷头4采用特氟龙PTFE材质制成，所述清洗喷头4为360°自旋转式喷头。
[0009]所述汲取管5采用特氟龙PFA软管制成，所述汲取管5上设置有逆止阀。
[0010]所述清洗喷头及汲取管放置盒6采用聚偏氟乙烯PVDF材质制成。
[0011]所述滚轮输送线13采用聚氨酯或聚丙烯材质包覆不锈钢制成。
[0012]本实用新型同现有技术相比，具有如下优点:
[0013](I)主体设备采用聚丙烯包覆高碳钢制作，具有耐腐蚀和高洁净度的优点；
[0014](2)顶部安装有高效空气过滤器和抽风口，内部具有良好的回风流场设计，从而可以有效减少设备内微粒子数量，可能达到CLASS100(—立方英尺的空间内空气中直径为0.5微米的尘粒不得超过100颗)等级，也可以防止回收桶内残余酸气等有害气体挥发；
[0015](3)设备内用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒具有超声波和溢流清洗，能够快速排放和氮气鼓泡设计等多种清洗步骤，可灵活选择；
[0016](4)设备内清洗喷头采用特氟龙PTFE材质的360°自旋转清洗喷头，具有高效的清洗效果和氮气吹干效果；
[0017](5)汲取管采用特氟龙PFA软管加装逆止阀设计，可以防止液体回流，配合底部桶顶升倾斜装置，则能够最大限度地减少桶内液体残留；
[0018](6)清洗喷头及汲取管放置盒采用聚偏氟乙烯PVDF材质制作，具有溢流功能，使用去离子水能够保持清洗喷头和汲取管的高洁净度；
[0019](7)设备采用触摸屏操作面配合条码识别器，清洗配方编制方便，操作灵活，自动化程度高；
[0020](8)设备采用流水线设计，具有滚轮输送线，减少了操作人员的工作量，也利于减少设备微粒子颗粒的产生；
[0021](9)滚轮输送线采用聚氨酯或聚丙烯材质包覆不锈钢制作，能减少微粒子杂质的产生，具有高洁净度、防腐蚀、摩擦力大等优点，该滚轮输送线配合变频电机采用多分段设计，输送安全灵活。
[【附图说明】]
[0022]图1是本实用新型的结构不意图；
[0023]图中:丨、设备主体2、空气过滤器3、清洗盒4、清洗喷头5、汲取管6、清洗喷头及汲取管放置盒7、桶8、桶顶升倾斜装置9、抽风口 10、触摸屏操作面11、条码识别器12、后部管路区域13、滚轮输送线14、变频电机。
[【具体实施方式】]
[0024]下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明:
[0025]如附图1所示，本实用新型包括:设备主体I，设备主体I采用聚丙烯包覆高碳钢制成，设备主体I顶部安装有空气过滤器2和抽风口 9，内部具有良好的回风流场设计，设备主体I内部设有用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒3，设备主体I上固定连接有清洗喷头及汲取管放置盒6，清洗喷头及汲取管放置盒6内置有清洗喷头4和汲取管5，设备主体I底部设有滚轮输送线13，滚轮输送线13由变频电机14驱动，滚轮输送线13下方设有桶顶升倾斜装置8，设备主体I后侧设有后部管路区域12，后部管路区域12内安装有排废栗，排废栗与汲取管5连接。
[0026]本实用新型中，设备主体I外侧装有条码识别器11和触摸屏操作面10，条码识别器U、变频电机14、桶顶升倾斜装置8分别通过线路连接触摸屏操作面10上的按键控制区。清洗喷头4采用特氟龙PTFE材质制成，清洗喷头4为360°自旋转式喷头;汲取管5采用特氟龙PFA软管制成，汲取管5上设置有逆止阀；清洗喷头及汲取管放置盒6采用聚偏氟乙烯PVDF材质制成，具有溢流功能;滚轮输送线13采用聚氨酯或聚丙烯材质包覆不锈钢制成。
[0027]本实用新型的基本原理为:
[0028](I) 200L桶通过自动包覆滚轮输送线，自动运输到桶顶升倾斜装置；
[0029](2)通过条码识别器识别桶类别自动选择清洗配方；
[0030](3)人工将桶内连接管和桶盖放置到清洗盒内；
[0031 ] (4)通过空气过滤器和抽风口控制设备内洁净度，防止微粒子污染和有害气体挥发；
[0032](5)放置清洗喷头和汲取管到200L桶内，通过清洗喷头喷洒去离子水和高纯氮气，外加汲取管透过后部管路区域安装的排废栗将废液抽走；
[0033](6)采用触摸屏操作面操作设备，按之前配置好的清洗配方自动清洗；
[0034](7)清洗结束后将清洗喷头和汲取管放置到清洗喷头及汲取管放置盒内，保持洁净；
[0035](8)从清洗盒内将桶内连接管及桶盖安装到桶上，启动按钮结束清洗制程，桶自动运输到下一步制程设备中。
[0036]本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:包括设备主体(I)，所述设备主体(I)顶部安装有空气过滤器(2)和抽风口(9)，所述设备主体(I)内部设有用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒(3)，所述设备主体(I)上固定连接有清洗喷头及汲取管放置盒(6)，所述清洗喷头及汲取管放置盒(6)内置有清洗喷头(4)和汲取管(5)，所述设备主体(I)底部设有滚轮输送线(13)，所述滚轮输送线(13)由变频电机(14)驱动，所述滚轮输送线(13)下方设有桶顶升倾斜装置(8)。2.如权利要求1所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述设备主体(I)外侧装有条码识别器(11)和触摸屏操作面(10)，所述条码识别器(11)、变频电机(14)、桶顶升倾斜装置(8)分别通过线路连接触摸屏操作面(10)上的按键控制区。3.如权利要求1或2所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述设备主体(I)后侧设有后部管路区域(12)，所述后部管路区域(12)内安装有排废栗，所述排废栗与汲取管(5)连接。4.如权利要求3所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述设备主体(I)采用聚丙稀包覆高碳钢制成。5.如权利要求4所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述清洗喷头(4)采用特氟龙PTFE材质制成，所述清洗喷头(4)为360°自旋转式喷头。6.如权利要求5所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述汲取管(5)采用特氟龙PFA软管制成，所述汲取管(5)上设置有逆止阀。7.如权利要求6所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述清洗喷头及汲取管放置盒(6)采用聚偏氟乙烯PVDF材质制成。8.如权利要求7所述的电子级化学品盛装桶的清洗设备，其特征在于:所述滚轮输送线(13)采用聚氨酯或聚丙烯材质包覆不锈钢制成。
【专利摘要】本实用新型涉及一种电子级化学品盛装桶的清洗设备，包括设备主体(1)，设备主体(1)顶部安装有空气过滤器(2)和抽风口(9)，设备主体(1)内部设有用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒(3)，设备主体(1)上固定连接有清洗喷头及汲取管放置盒(6)，清洗喷头及汲取管放置盒(6)内置有清洗喷头(4)和汲取管(5)，设备主体(1)底部设有滚轮输送线(13)，滚轮输送线(13)由变频电机(14)驱动，滚轮输送线(13)下方设有桶顶升倾斜装置(8)；本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，具有高效的清洗效果和氮气吹干效果，最大限度地减少了桶内液体残留，能够防止桶内残余酸气等有害气体挥发，且操作灵活，自动化程度高。
【IPC分类】B08B9/30
【公开号】CN205183284
【申请号】CN201521004829
【发明人】岳佳佳, 简建至, 简水村
【申请人】冠礼控制科技（上海）有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年12月4日