一种干式蚀刻机用防护罩的制作方法

文档序号:10396922阅读:409来源:国知局
一种干式蚀刻机用防护罩的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及机械领域,特别是,涉及一种干式蚀刻机用防护罩。
【背景技术】
[0002]在实际生产中,由于干式蚀刻机L0ADL0CK端整个暴露在车间灰区,使得整个传送过程中,硅片也裸漏在灰区,容易造成硅片污染,降低后期加工的良品率,一定程度上增加了生产成本。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种干式蚀刻机用防护罩,其装置在干式蚀刻机LOADLOCia^,可以隔离灰区,将污染源隔离,减少颗粒沾污,提高产品良率,且PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)为透明材质,不影响关照亮度,不影响生产的正常进行。
[0004]为解决上述问题,本实用新型所采用的技术方案如下:
[0005 ] —种干式蚀刻机用防护罩,包括一块顶板和两块侧板,所述侧板对称固定在顶板两边,所述侧板底部设置有密封条,所述顶板和侧板均为PMMA材质。
[0006]优选的,所述顶板和侧板之间一体成型。
[0007]优选的,所述顶板和侧板之间通过粘接方式固定,所述顶板与侧板连接处顶板拐角α为45°,所述侧板与顶板连接处侧板拐角β为45°。
[0008]优选的,所述顶板上设置有提手。
[0009]优选的,所述侧板上设置有拉手,所述拉手靠近侧板底端。
[0010]优选的,所述顶板和侧板两面均为抛光面。
[0011 ]优选的,所述顶板和侧板厚度相同。
[0012]优选的,所述顶板厚度为0.5-1.5cm。
[0013]相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:本实用新型可以装置在干式蚀刻机L0ADL0CK端,可以隔离灰区,将污染源隔离,减少颗粒沾污,提高产品良率,且PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)为透明材质,不影响关照亮度,不影响生产的正常进行。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型结构不意图;
[0015]图2为实施例1中干式蚀刻机用防护罩结构示意图;
[0016]图3为图2中A处局部放大图;
[0017]图4为实施例2中干式蚀刻机用防护罩结构示意图;
[0018]其中,I为顶板,11为提手,2为侧板,21为密封条,22为拉手,α为顶板与侧板连接处顶板的拐角,β为侧板与顶板连接处侧板的拐角。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0020]如图1所示,为本实用新型中干式蚀刻机用防护罩,包括一块顶板I和两块侧板2,侧板2对称固定在顶板I两边,侧板2底部设置有密封条21,顶板I和侧板2均为PMMA材质。
[0021]实施例1
[0022]干式蚀刻机用防护罩包括一块顶板I和两块侧板2,侧板2对称固定在顶板I两边,侧板2底部设置有密封条21,顶板I和侧板2均为PMMA材质;顶板I和侧板2之间通过粘接方式固定,顶板I与侧板2连接处顶板I拐角α为45°,侧板2与顶板I连接处侧板2拐角β为45°,顶板I上设置有,顶板I和侧板2两面均为抛光面,顶板I和侧板2厚度相同,均为0.5cm。
[0023]密封条21可以阻止底部接触面灰尘的进入,PMMA材质可以保证干式蚀刻机用防护罩的透光度,顶板I和侧板2相同厚度和拐角α、β均为45°的设计,可以保证干式蚀刻机用防护罩结构的稳定性,顶板I和侧板2两面均为抛光面的设计可以有避免干式蚀刻机用防护罩沾上灰尘,提手11便于干式蚀刻机用防护罩的提取。
[0024]实施例2
[0025]干式蚀刻机用防护罩包括一块顶板I和两块侧板2,侧板2对称固定在顶板I两边,顶板I上设置有提手11,侧板2底部设置有密封条21,侧板2上设置有拉手22,拉手22靠近侧板2底端,顶板I和侧板2均为PMMA材质;顶板I和侧板2两面均为抛光面,顶板I和侧板2厚度相同,均为I.5cmο
[0026]密封条21可以阻止底部接触面灰尘的进入,PMMA材质可以保证干式蚀刻机用防护罩的透光度,顶板I和侧板2相同厚度和顶板I和侧板2之间一体成型的设计,可以保证干式蚀刻机用防护罩结构的稳定性,顶板I和侧板2两面均为抛光面的设计可以有避免干式蚀刻机用防护罩沾上灰尘,提手11便于干式蚀刻机用防护罩的提取,拉手22便于干式蚀刻机用防护罩的安装和拆卸。
[0027]对本领域的技术人员来说,可根据以上描述的技术方案以及构思,做出其它各种相应的改变以及形变,而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。
【主权项】
1.一种干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,包括一块顶板和两块侧板,所述侧板对称固定在顶板两边,所述侧板底部设置有密封条,所述顶板和侧板均为PMMA材质。2.如权利要求1所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述顶板和侧板之间一体成型。3.如权利要求1所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述顶板和侧板之间通过粘接方式固定,所述顶板与侧板连接处顶板拐角α为45°,所述侧板与顶板连接处侧板拐角β为45。。4.如权利要求1-3任一项所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述顶板上设置有提手。5.如权利要求1-3任一项所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述侧板上设置有拉手,所述拉手靠近侧板底端。6.如权利要求1-3任一项所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述顶板和侧板两面均为抛光面。7.如权利要求6所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述顶板和侧板厚度相同。8.如权利要求7所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,所述顶板厚度为0.5-1.5cm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种干式蚀刻机用防护罩,包括一块顶板和两块侧板,所述侧板对称固定在顶板两边,所述侧板底部设置有密封条,所述顶板和侧板均为PMMA材质。本实用新型装置在干式蚀刻机LOADLOCK端,可以隔离灰区,将污染源隔离,减少颗粒沾污,提高产品良率,且PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)为透明材质,不影响关照亮度,不影响生产的正常进行。
【IPC分类】B08B15/00
【公开号】CN205308931
【申请号】CN201521098885
【发明人】高清忠
【申请人】苏州同冠微电子有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2015年12月24日
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