石英晶片硝酸清洗装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种石英晶片硝酸清洗装置，包括硝酸槽、纯水槽及喷淋槽，所述的硝酸槽、纯水槽及喷淋槽依次设置，硝酸槽、纯水槽及喷淋槽的上方设有步进电机光轴，步进电机光轴设有机械手臂，机械手臂抓取清洗提篮。本实用新型通过设置硝酸槽、纯水槽及喷淋槽利用硝酸槽对晶片进行酸洗，以有效去除晶片表面的金属分子物质；经酸洗后的晶片通过机械手臂输送到纯水槽进行水洗，去除晶片表面的粘附的酸液及金属物质；经过水洗的晶片再通过机械手臂输送到喷淋槽进一步冲洗；本装置采用单个机械臂进行工位转换动作，动作平稳可靠，对晶片表面的金属分子物质能有效去除，且整个设备清洗槽全封闭结构，大大减少酸性溶剂的挥发而导致的环境污染。
【专利说明】
石英晶片硝酸清洗装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及清洗装置，具体是一种石英晶片硝酸清洗装置。
【背景技术】
[0002]现有的石英晶片清洗装置，往往采用的都是使用超声波清洗槽逐个的进行纯水超声波清洗，这种清洗方式对于晶片表面所携带的金属分子物质不能彻底有效的去除，致使晶片表面吸附金属分子影响后续产品测试质量。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种石英晶片硝酸清洗装置，采用单个机械臂进行工位转换动作，动作平稳可靠，对晶片表面的金属分子物质能有效去除，且整个设备清洗槽全封闭结构，大大减少酸性溶剂的挥发而导致的环境污染。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0005]—种石英晶片硝酸清洗装置，包括硝酸槽、纯水槽及喷淋槽，所述的硝酸槽、纯水槽及喷淋槽依次设置，硝酸槽、纯水槽及喷淋槽的上方设有步进电机光轴，步进电机光轴设有机械手臂，机械手臂抓取清洗提篮。
[0006]本实用新型通过设置硝酸槽、纯水槽及喷淋槽利用硝酸槽对晶片进行酸洗，以有效去除晶片表面的金属分子物质;经酸洗后的晶片通过机械手臂输送到纯水槽进行水洗，去除晶片表面的粘附的酸液及金属物质;经过水洗的晶片再通过机械手臂输送到喷淋槽进一步冲洗;本装置采用单个机械臂进行工位转换动作，动作平稳可靠，对晶片表面的金属分子物质能有效去除，且整个设备清洗槽全封闭结构，大大减少酸性溶剂的挥发而导致的环境污染。
[0007]进一步的优选技术方案如下:
[0008]所述的硝酸槽的前部设有上料槽。通过设置上料槽，首先将晶片放置在清洗提篮内，将清洗提篮放于上料槽中，当传感器检测到有提篮时步进电机轴自动运行至该位置进行抓取操作，抓取完成后硝酸槽的门盖打开，提篮被放入硝酸槽的门盖关闭。上述设置，有利于进一步提高本装置的自动化程度。
[0009]所述的硝酸槽设有加酸管、排酸管及充氮管;加酸管设有栗，加酸管、排酸管及充氮管均设有控制阀。通过设置加酸管，利用加酸管向硝酸槽内添加酸液，进一步增加本装置的自动化程度。充氮管向硝酸槽内充氮气用于鼓泡，目的是使晶片在清洗提篮内部能够有效的翻滚，减少粘附现象。
[0010]所述的硝酸槽设有光电式液位开关，光电液位开关与PLC控制系统电连接，PLC控制系统设有声光报警器。当硝酸槽内的酸液的液位低于设定值时，会有声光报警，采用光电式液位开关，可以在不与酸直接接触的情况下监测液位高低，方便耐用，
[0011 ]所述的纯水槽设有加水管、充氮管，纯水槽通过加水管与纯水箱连通，加水管设有加水栗，加水管及充氮管均设有控制阀。充氮管向纯水槽内充氮气用于鼓泡，目的是使晶片在清洗提篮内部能够有效的翻滚，减少粘附现象。设置加水管，通过加水管、加水栗可以实现自动向纯水槽内加水。
[0012]所述的纯水箱设有进水管、进水阀，进水管连通喷淋管，喷淋管设有喷淋头、喷淋控制阀，喷水淋头设置在喷淋槽的正上方。
[0013]所述的纯水槽及喷淋槽均设有排水管、排水阀。通过设置排水管、排水阀，使用后的废水通过排水管收集进行集中处理。
[0014]所述的硝酸槽、纯水槽均设有加热装置，加热装置与PLC控制系统电连接。通过设置加热装置，可以通过PLC控制系统，根据设定的温度对硝酸槽、纯水槽内的液体进行加热，以进一步提高酸洗、水洗的效果。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型实施例的结构示意图；
[0016]附图标记说明:11一步进电机光轴;2—机械手臂;3—纯水箱;4一喷淋头;5—喷淋槽;6 —纯水槽;7 —硝酸槽;8 —上料槽。
【具体实施方式】
[0017]下面结合实施例，进一步说明本实用新型。
[0018]参见图1，一种石英晶片硝酸清洗装置，由硝酸槽7、纯水槽6及喷淋槽5组成，硝酸槽7、纯水槽6及喷淋槽5依次设置，硝酸槽7、纯水槽6及喷淋槽5的上方设有步进电机光轴I，步进电机光轴I设有机械手臂2，机械手臂2抓取清洗提篮;步进电机带动机械手臂2实现纵向移送和横向移动，由电机带动丝杠实现上下移动。电机带动机械手臂2在齿条上移动实现左右移动，机械手臂2在PLC的控制下，与清洗主机协调运作。
[0019]硝酸槽7的前部设有上料槽8。通过设置上料槽8，首先将晶片放置在清洗提篮内，将清洗提篮放于上料槽8中，当传感器检测到有提篮时步进电机轴自动运行至该位置进行抓取操作，抓取完成后硝酸槽7的门盖打开，提篮被放入硝酸槽7的门盖关闭。上述设置，有利于进一步提高本装置的自动化程度。
[0020]硝酸槽7设有加酸管、排酸管及充氮管;加酸管设有栗，加酸管、排酸管及充氮管均设有控制阀。通过设置加酸管，利用加酸管向硝酸槽7内添加酸液，进一步增加本装置的自动化程度。充氮管向硝酸槽7内充氮气用于鼓泡，目的是使晶片在清洗提篮内部能够有效的翻滚，减少粘附现象。
[0021 ]硝酸槽7设有光电式液位开关，光电液位开关与PLC控制系统电连接，PLC控制系统设有声光报警器。当硝酸槽7内的酸液的液位低于设定值时，会有声光报警，采用光电式液位开关，可以在不与酸直接接触的情况下监测液位高低，方便耐用，
[0022]纯水槽6设有加水管、充氮管，纯水槽6通过加水管与纯水箱3连通，加水管设有加水栗，加水管及充氮管均设有控制阀。充氮管向纯水槽6内充氮气用于鼓泡，目的是使晶片在清洗提篮内部能够有效的翻滚，减少粘附现象。设置加水管，通过加水管、加水栗可以实现自动向纯水槽6内加水。
[0023]纯水箱3设有进水管、进水阀，进水管连通喷淋管，喷淋管设有喷淋头4、喷淋控制阀，喷水淋头设置在喷淋槽5的正上方。
[0024]纯水槽6及喷淋槽5均设有排水管、排水阀。通过设置排水管、排水阀，使用后的废水通过排水管收集进行集中处理。
[0025]硝酸槽7、纯水槽6均设有加热装置，加热装置与PLC控制系统电连接。通过设置加热装置，可以通过PLC控制系统，根据设定的温度对硝酸槽7、纯水槽6内的液体进行加热，以进一步提高酸洗、水洗的效果。
[0026]上述实施例通过设置硝酸槽7、纯水槽6及喷淋槽5利用硝酸槽7对晶片进行酸洗，以有效去除晶片表面的金属分子物质;经酸洗后的晶片通过机械手臂2输送到纯水槽6进行水洗，去除晶片表面的粘附的酸液及金属物质;经过水洗的晶片再通过机械手臂2输送到喷淋槽5进一步冲洗;本装置采用单个机械臂进行工位转换动作，动作平稳可靠，对晶片表面的金属分子物质能有效去除，且整个设备清洗槽全封闭结构，大大减少酸性溶剂的挥发而导致的环境污染。
[0027]以上所述仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护不限于此，任何本技术领域的技术人员所能想到的与本技术方案技术特征等同的变化或替代，都涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种石英晶片硝酸清洗装置，包括硝酸槽、纯水槽及喷淋槽，其特征在于:所述的硝酸槽、纯水槽及喷淋槽依次设置，硝酸槽、纯水槽及喷淋槽的上方设有步进电机光轴，步进电机光轴设有机械手臂，机械手臂抓取清洗提篮。2.根据权利要求1所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的硝酸槽的前部设有上料槽。3.根据权利要求1所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的硝酸槽设有加酸管、排酸管及充氮管;加酸管设有栗，加酸管、排酸管及充氮管均设有控制阀。4.根据权利要求3所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的硝酸槽设有光电式液位开关，光电液位开关与PLC控制系统电连接，PLC控制系统设有声光报警器。5.根据权利要求1所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的纯水槽设有加水管、充氮管，纯水槽通过加水管与纯水箱连通，加水管设有加水栗，加水管及充氮管均设有控制阀。6.根据权利要求5所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的纯水箱设有进水管、进水阀，进水管连通喷淋管，喷淋管设有喷淋头、喷淋控制阀，喷水淋头设置在喷淋槽的正上方。7.根据权利要求1所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的纯水槽及喷淋槽均设有排水管、排水阀。8.根据权利要求1所述的石英晶片硝酸清洗装置，其特征在于:所述的硝酸槽、纯水槽均设有加热装置，加热装置与PLC控制系统电连接。
【文档编号】B08B3/04GK205613769SQ201620405442
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年5月6日
【发明人】郝建军, 李永斌, 张贻建, 何庆利, 徐秀杰
【申请人】紫光国芯股份有限公司