一种简易硅片超声波清洗槽的制作方法

文档序号:10940284阅读:354来源:国知局
一种简易硅片超声波清洗槽的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种简易硅片超声波清洗槽。主要解决了超声波清洗槽清洗效果差、不能控制PH值的问题。所述的槽体上设有超声波换能器,超声波换能器以方形阵列的形式安装于槽体的底面和外壁四周,槽体的外壁上部安装有PH仪表,所述的进水管上连接增压泵和波纹管,增压泵和波纹管之间设有过滤装置,所述的波纹管连接有圆形喷头。该简易硅片超声波清洗槽空化效果和清洗效果好,能够满足更加精细的清洗要求,机器整体相对较为轻巧,耐腐蚀强,而且能够精准控制槽体内的PH值,具有结构简单,成本低廉,实用方便,易于推广的优点。
【专利说明】
一种简易硅片超声波清洗槽
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种清洗槽,具体涉及一种简易硅片超声波清洗槽。
【背景技术】
[0002]超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、对清洗物表面油污颗粒等污染物产生振动、剥离,使污物层被分散、乳化、搅拌而达到清洗目的。
[0003]目前,市场上的超声波清洗槽的超声波换能器一般安装在槽体的底部或者侧面,这种安装方式在工件稍大点或者几个面上有通孔、盲孔的时候,由于超声波被工件和承载装置阻挡,在背离超声波换能器的一面清洗效果较差,不能够满足更为精细的清洗要求,这时候常常就需要人工多次反复的翻转,不仅浪费了劳动力,而且生产效率低下。
[0004]另一方面市场上的清洗槽一般采用不锈钢制成,机器整体比较笨重,空化率较低,耐腐蚀性能底,而且硅片在清洗的时候一般对PH值有较高的要求,工人在清洗的时候一般都是用PH试纸或者工人的经验,这种控制PH的方法不仅繁琐而且准确度不高。
【实用新型内容】
[0005]为了克服【背景技术】的不足,本实用新型提供一种简易硅片超声波清洗槽,主要解决了超声波清洗槽清洗效果差、不能控制PH值的问题,该简易硅片超声波清洗槽空化效果和清洗效果好,能够满足更加精细的清洗要求,机器整体相对较为轻巧,耐腐蚀强,而且能够精准控制槽体内的PH值,具有结构简单,成本低廉,实用方便,易于推广的优点。
[0006]本实用新型所采用的技术方案是:一种简易硅片超声波清洗槽,包括槽体、位于槽体上部的进水管、位于槽体底部的出水口和位于槽体内的硅片承载装置,所述的槽体上设有超声波换能器,超声波换能器以方形阵列的形式安装于槽体的底面和外壁四周,槽体的外壁上部安装有PH仪表,所述的进水管上连接有增压栗和波纹管,增压栗和波纹管之间设有过滤装置,所述的波纹管连接有圆形喷头。
[0007]进一步的,所述的槽体为上端开口的正方体结构,上端开口处设有端盖,所述端盖与槽体通过合页铰接,所述的端盖由透明玻璃板制成,所述的槽体壁由石墨一体化加工而成。
[0008]进一步的,所述的进水管和出水口上均设有电磁阀。
[0009]进一步的,所述的PH仪表连接有PH探头,PH探头置于槽体内。
[0010]进一步的,所述的槽体壁上设有温度表,槽体下部设有加热装置。
[0011 ] 进一步的,所述的圆形喷头上设有通孔,所述通孔的直径为0.5mm?3_。
[0012]进一步的,所述的位于槽体一个面上的超声波换能器的个数为X(X多2)的平方。
[0013]本实用新型的有益效果是:由于采取上述技术方案,该简易硅片超声波清洗槽空化效果和清洗效果好,能够满足更加精细的清洗要求,机器整体相对较为轻巧,耐腐蚀强,而且能够精准控制槽体内的PH值,具有结构简单,成本低廉,实用方便,易于推广的优点。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构示意图。
[0015]图2为本实用新型俯视图。
[0016]图中1、槽体;2、进水管;3、出水口;4、硅片承载装置;5、超声波换能器;6、PH仪表;
7、增压栗;8、波纹管;9、过滤装置;1、圆形喷头;11、温度表;12、加热装置。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型实施例作进一步说明。
[0018]如图1结合图2所示,一种简易硅片超声波清洗槽,包括槽体1、位于槽体I上部的进水管2、位于槽体I底部的出水口3和位于槽体I内的硅片承载装置4,所述的槽体I上设有超声波换能器5,超声波换能器5以方形阵列的形式安装于槽体I的底面和外壁四周,槽体I的外壁上部安装有PH仪表6,所述的进水管2上连接增压栗7和波纹管8,增压栗7和波纹管8之间设有过滤装置9,所述的波纹管8连接有圆形喷头10,波纹管8由橡胶制成,可伸缩和360°旋转,纯水在增压栗7的增压效果下能形成稳定具有一定压力的水流,对硅片进行预清洗,冲走娃片上的油渍和颗粒。
[0019]优选的,所述的槽体I为上端开口的正方体结构,上端开口处设有端盖,所述端盖与槽体I通过合页铰接,所述的端盖由透明玻璃板制成,所述的槽体I由石墨一体化加工而成;端盖通过合页铰接,方便端盖的开合,端盖采用透明玻璃方便工人在机器工作的时候观察槽体I内的情况,通过肉眼初步确认是否清洗干净;选取石墨作为槽体I的制作材料,石墨材料具有质质量轻,耐高温,一定高温有利于超声波的空化效率,且石墨的化学性质稳定,耐腐蚀性强,能够容纳强酸强碱性质的洗涤溶液,使用寿命长。
[0020]优选的,所述的进水管2和出水口3上均设有电磁阀,所述的PH仪表6连接有PH探头,PH探头置于槽体I内,PH仪表6能准确实时的反映槽体I内PH值,工人可以通过查看PH仪表6及时调整槽体I内的PH值
[0021]优选的,所述的槽体I壁上设有温度表11,槽体I下部设有加热装置12,为了控制槽体I内液体的的温度,在槽体I上安装了温度表11、加热装置12以及控制加热装置12的感应开关,温度表11连接槽体I内的温度探头,实时放映槽体I的温度并显示在温度表11上,当槽体I内温度低于某个温度或者高于某个温度(此处的温度根据实际工况而定)的时候,通过感应开关控制加热装置12是否给液体加热。
[0022]优选的,所述的圆形喷头10上设有通孔,所述通孔的直径为0.5mm?3mm,所述的位于槽体I 一个面上的超声波换能器5的个数为X(X多2)的平方,圆形喷头10上较小的通孔能更容易的形成冲击水流。
[0023]该简易硅片超声波清洗槽空化效果和清洗效果好,能够满足更加精细的清洗要求,机器整体相对较为轻巧,耐腐蚀强,而且能够精准控制槽体内的PH值,具有结构简单,成本低廉,实用方便,易于推广的优点。
[0024]各位技术人员须知:虽然本实用新型已按照上述【具体实施方式】做了描述,但是本实用新型的发明思想并不仅限于此实用新型,任何运用本发明思想的改装,都将纳入本专利专利权保护范围内。
【主权项】
1.一种简易硅片超声波清洗槽,其特征在于:包括槽体、位于槽体上部的进水管、位于槽体底部的出水口和位于槽体内的硅片承载装置,所述的槽体上设有超声波换能器,超声波换能器以方形阵列的形式安装于槽体的底面和外壁四周,槽体的外壁上部安装有PH仪表,所述的进水管上连接有增压栗和波纹管,增压栗和波纹管之间设有过滤装置,所述的波纹管连接有圆形喷头。2.根据权利要求1所述的简易硅片超声波清洗槽,其特征在于:所述的槽体为上端开口的正方体结构,上端开口处设有端盖,所述端盖与槽体通过合页铰接,所述的端盖由透明玻璃板制成,所述的槽体壁由石墨一体化加工而成。3.根据权利要求1所述的简易硅片超声波清洗槽,其特征在于:所述的进水管和出水口上均设有电磁阀。4.根据权利要求1所述的简易硅片超声波清洗槽,其特征在于:所述的PH仪表连接有PH探头,PH探头置于槽体内。5.根据权利要求1所述的简易硅片超声波清洗槽,其特征在于:所述的槽体壁上设有温度表,槽体下部设有加热装置。6.根据权利要求1所述的简易硅片超声波清洗槽,其特征在于: 所述的圆形喷头上设有通孔,所述通孔的直径为0.5mm?3mm。7.根据权利要求1所述的简易硅片超声波清洗槽,其特征在于: 所述的位于槽体一个面上的超声波换能器的个数为X(X多2)的平方。
【文档编号】B08B3/08GK205628775SQ201620454733
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月18日
【发明人】瀛d附, 季丽
【申请人】浙江海顺新能源有限公司
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