专利名称：液体化学品输送集中控制独立输液装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属半导体及太阳能制造技术领域，特别是涉及一种液体化学品输送集
中控制独立输液装置。
背景技术：
半导体及太阳能制造行业在生产时需要一些强腐蚀性质的化学品工艺液体，此工
艺液体包括氢氟酸、硝酸、盐酸、硫酸、氢氧化钾。这些酸碱液体经过不同的配比以满足生产
工艺上的需求。所以，这些工艺液体在输送时必须做到统一性、稳定性的特性要求。
目前，液体化学品输送系统中多采用独立控制输液装置模式。而在实际的使用过
程中，发现此模式由于是独立控制，在输送过程中每台设备每次都需要单独操作，调节流
量，编辑程序等工序，即浪费人工又很难做到液体配比时的稳定性。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种通过在集中控制模式下进行独立输送液体的装置，对所有工艺设备进行统一控制，使工艺液体稳定配比的液体化学品输送集中控制独立输液装置。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，包括控制单元和供液设备单元，所述的控制单元与至少2个相互并联的供液设备单元相连，所述的控制单元包括通过电器元件相互连接的中央可编程控制器(PLC)和侦测感应系统，供液设备单元包括通过气动阀门相互连接的气动隔膜泵和流量感应器，所述的中央可编程控制器控制整个集中输送装置及工艺设备上的开关组件；所述的侦测感应系统采集各工艺设备在工作时的感应输出信号，并将其反馈给中央可编程控制器(PLC)，同时传输中央可编程控制器(PLC)对各设备的动作指令，完成其间的信息传递；所述的流量感应器将液体工作和流量的传出信号传输给侦测感应系统；所述的气动隔膜泵为供液设备单元动力部件。 所述的电器元件为控制单元里所含的包括关电源、接线端子的电器部件。[0007] 所述的气动阀门为供液设备单元开关部件，主要为输送液体时的开启和关闭。[0008] 所述的流量感应器为电容式传感。 所述的气动隔膜泵包括气体驱动部分、测漏感应部分、隔膜工作部件，气体驱动部分为气动隔膜泵动力开启和关闭作用，测漏感应部分为侦测气动隔膜泵工作情况及漏液感应报警指示，隔膜工作部件为动作连接作用。[0010] 有益效果 —、操作方便采用集中控制后，只需对一个中央可编程控制器(PLC)进行程序编辑、输入各种工作指令即可。 二、统一性好采用本方法后，只需对控制单元操作，即可控制供液设备单元几种设备，统一调节每个设备输送不同的需求。[0013] 三、供液稳定本方法可以确保工艺设备使用时的稳定性要求，满足配比工艺要 求。 四、降低成本本方法可以大大的降低生产的成本，可以把几种供液设备单元 (Bl-B5)里的侦测感应系统和电器元件统一优化，一般电器控制部分可以节省4倍左右的 成本。
图1为本实用新型集中控制布置原理示意图； 图2为供液设备单元工作部件示意图。
图中A.控制单元 Bl-B5供液设备单元 1.气动隔膜泵 2.气动阀门 3.流量感应器
具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容 之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。
如图1、2所示，本实用新型方法的系统主要组成部分控制单元(A)和供液设备单
元(Bl-B5)两部分组成；其中控制单元包括中央可编程控制器(PLC)、侦测感应系统、电器
元件等，供液设备单元包括气动隔膜泵1、气动阀门2、流量感应器3等； 所述的中央可编程控制器控制整个集中输送装置，根据各工艺设备的液体配比需
求，统一编制供液程序，调节各工艺设备输送液体的流量，设定延迟时间，控制各工艺设备
上的开关组件。以达到只需对中央控制可编程控制器简便操作，即可完成此装置工艺的不
同需求。 所述的侦测感应系统为各工艺设备在工作时反馈给中央可编程控制器(PLC)的 感应输出信号和中央可编程控制器(PLC)对各设备的动作指令，完成其间的信息传递作 用。 所述的电器元件为控制单元里所含的其他电器部件，其中包含开关电源、接线端子等。 所述的气动隔膜泵为供液设备单元动力部件，它包含气体驱动部分、测漏感应部 分、隔膜工作部件组成。 所述的气动阀门为供液设备单元开关部件，主要为输送液体时的开启和关闭功 能。 所述的流量感应器为电容式传感原理，感应到液体工作和流量后，传出信号给侦 测感应系统，完成中间传递信号指令的功能。 本实用新型为控制单元(A)统一控制供液设备单元(Bl-B5)几种供液设备，完成 对其间的供液设备单元开关和流量大小的调节控制；既可以几种供液设备一起工作，又可 独立控制其中一种的正常运转；且每一台供液设备均可独立工作，这样把设备集中控制在 一起，既方便了实际操作，又可做到实际液体配比的稳定性。
权利要求一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，包括控制单元和供液设备单元，其特征在于所述的控制单元与至少2个相互并联的供液设备单元相连，所述的控制单元包括通过电器元件相互连接的中央可编程控制器(PLC)和侦测感应系统，供液设备单元包括通过气动阀门(2)相互连接的气动隔膜泵(1)和流量感应器(3)，所述的中央可编程控制器控制整个集中输送装置及工艺设备上的开关组件；所述的侦测感应系统采集各工艺设备在工作时的感应输出信号，并将其反馈给中央可编程控制器(PLC)，同时传输中央可编程控制器(PLC)对各设备的动作指令，完成其间的信息传递；所述的流量感应器将液体工作和流量的传出信号传输给侦测感应系统；所述的气动隔膜泵为供液设备单元动力部件。
2. 根据权利要求1所述的一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，其特征在于所述的电器元件为控制单元里所含的包括关电源、接线端子的电器部件。
3. 根据权利要求1所述的一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，其特征在于所述的气动阀门为供液设备单元开关部件，主要为输送液体时的开启和关闭。
4. 根据权利要求1所述的一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，其特征在于所述的流量感应器为电容式传感。
5. 根据权利要求1所述的一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，其特征在于所述的气动隔膜泵包括气体驱动部分、测漏感应部分、隔膜工作部件，气体驱动部分为气动隔膜泵动力开启和关闭作用，测漏感应部分为侦测气动隔膜泵工作情况及漏液感应报警指示，隔膜工作部件为动作连接作用。
专利摘要本实用新型涉及一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，包括控制单元和供液设备单元，所述的控制单元包括通过电器元件相互连接的中央可编程控制器(PLC)和侦测感应系统，供液设备单元包括通过气动阀门(2)相互连接的气动隔膜泵(1)和流量感应器(3)，所述的中央可编程控制器控制整个集中输送装置及工艺设备上的开关组件；所述的侦测感应系统采集各工艺设备在工作时的感应输出信号，并将其反馈给中央可编程控制器(PLC)，同时传输中央可编程控制器(PLC)对各设备的动作指令；所述的流量感应器将液体工作和流量的传出信号传输给侦测感应系统。本实用新型方便了实际操作，又可做到实际液体配比的稳定性。
文档编号B01J4/02GK201529516SQ20092021034
公开日2010年7月21日 申请日期2009年9月29日 优先权日2009年9月29日
发明者高珊珊 申请人:上海昕通半导体设备有限公司;上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司