专利名称：一种化学液去气泡装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种化学液去气泡装置，具体涉及一种可满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的无气泡化学液输送要求、并改善化学液在线流量监测精度的化学液去气泡装置。
背景技术：
现有工业制造过程中，特别是半导体、太阳能和LED/IXD等行业对化学液添加主要是通过气动泵，相关阀门管件直接加至需液湿法处理机台的槽体里，但由于未去除液体中气泡，影响了在线流量计的精度，从而使得实际的加液量产生偏差，化学品的浓度变化，使得相关工艺得不到保证。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的无气泡化学液输送要求、并改善化学液在线流量监测精度的化学液去气泡装置。本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现一种化学液去气泡装置，包含液桶、去气泡容器、设于所述去气泡容器顶端的进液口、排气口、出液口以及设于其底端的排液口，所述液桶通过进液管道与所述进液口密封连接，其特征在于在所述进液管道上还依次设有通过压缩空气驱动的气动泵和气动隔膜进液阀，在所述排气口上设有一排气管道，所述出液口通过出液管道与湿法处理机密封连接，在所述排液口上设有一排液管道。在所述去气泡容器外表面上部还设有一高液位传感器；在所述去气泡容器外表面底部还设有一低液位传感器；在所述出液管道上还设有一气动隔膜出液阀；在所述排气管道上还设有一气动隔膜排气阀；在所述排液管道上还设有一排液阀；所述气动泵为一耐腐蚀气动泵，所述高液位传感器为一耐腐蚀高液位传感器；所述低液位传感器为一耐腐蚀低液位传感器。本实用新型具有的有益效果是通过本实用新型解决了管道中化学液含有气泡的问题，并且控制简单、方便可靠、检修方便。
图I为本实用新型一种化学液去气泡装置的整体结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。实施例参照图1，一种化学液去气泡装置，包含液桶I、去气泡容器4、设于去气泡容器4顶端的进液口 41、排气口 42、出液口 43以及设于其底端的排液口 44，液桶I通过进液管道31与进液口 41密封连接，在进液管道31上依次设有通过压缩空气驱动的气动泵2和气动隔膜进液阀3，在排气口 42上设有排气管道51，出液口 43通过出液管道61与湿法处理机密封连接，在排液口 44上设有排液管道71。在去气泡容器4外表面上部设有一高液位传感器8 ;在去气泡容器4外表面底部设有一低液位传感器9 ;在出液管道61上还设有一气动隔膜出液阀6 ;在排气管道51上还设有一气动隔膜排气阀5 ;在排液管道71上还设有一排液阀7 ;气动泵2为一耐腐蚀气动泵，高液位传感器8为一耐腐蚀高液位传感器，低液位传感器9为一耐腐蚀低液位传感器。液桶I中装有化学液，通过气动泵2将化学液从液桶I内抽出来， 经过打开的进液阀3输入到去气泡容器4内，排气阀5同时打开排气，出液阀6和排液阀7保持关闭。此时输入到去气泡容器4内的化学液可能含有大量气体，特别是液桶I新更换后从进液阀3到液桶I这段管道内含有较多气体。当化学液进入去气泡容器4后，由于浮力的作用，气泡会自动浮到密闭的去气泡容器4上部，通过打开的排气阀5排入排气管道51，而化学液留在下面，实现气液分离。气动泵2持续工作，直至去气泡容器4内液位达到高液位传感器8的位置后，排气阀5关闭，出液阀6根据湿法处理机台内槽体的需液信号打开，这样可将化学液输入至湿法处理机台的槽体里。随着化学液不断被输送，密闭的去气泡容器4内也会积聚大量气体，使得去气泡容器4内液面降至低液位传感器9位置，此时排气阀5打开排气，出液阀6关闭。去气泡容器4内会蓄积化学液，当液面增至高液位传感器8的位置，此时排气阀5关闭，出液阀6打开，继续将化学液输送至湿法处理机台的槽体里。当去气泡容器内液面再次降至低液位传感器9位置时，再次打开排气阀5和关闭出液阀6，以此循环往复，直至湿法处理机台内槽体液体容积达到工艺要求，机台会给气动泵2停止信号，气动泵2即停止输液。而留在去气泡容器4内的废液可以通过排液阀7排到排液管道71内。通过以上控制，实现了无气泡的化学液输送。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种化学液去气泡装置，包含液桶、去气泡容器、设于所述去气泡容器顶端的进液口、排气口、出液口以及设于其底端的排液口，所述液桶通过进液管道与所述进液口密封连接，其特征在于在所述进液管道上还依次设有通过压缩空气驱动的气动泵和气动隔膜进液阀，在所述排气口上设有一排气管道，所述出液口通过出液管道与湿法处理机密封连接，在所述排液口上设有一排液管道。
2.根据权利要求I所述的化学液去气泡装置，其特征在于在所述去气泡容器外表面上部还设有一高液位传感器； 在所述去气泡容器外表面底部还设有一低液位传感器。
3.根据权利要求I所述的化学液去气泡装置，其特征在于在所述排气管道上还设有一气动隔膜排气阀。
4.根据权利要求I所述的化学液去气泡装置，其特征在于在所述出液管道上还设有一气动隔膜出液阀。
5.根据权利要求I所述的化学液去气泡装置，其特征在于在所述排液管道上还设有一排液阀。
6.根据权利要求I所述的化学液去气泡装置，其特征在于所述气动泵为一耐腐蚀气动泵。
7.根据权利要求I或2所述的化学液去气泡装置，其特征在于所述高液位传感器为一耐腐蚀高液位传感器；所述低液位传感器为一耐腐蚀低液位传感器。
专利摘要一种化学液去气泡装置，涉及一种液体去气泡装置，包含液桶、去气泡容器、设于所述去气泡容器顶端的进液口、排气口、出液口以及设于其底端的排液口，所述液桶通过进液管道与所述进液口密封连接，其特征在于在所述进液管道上还依次设有通过压缩空气驱动的气动泵和气动隔膜进液阀，在所述排气口上设有一排气管道，所述出液口通过出液管道与湿法处理机密封连接，在所述排液口上设有一排液管道。有益效果是通过本实用新型解决了管道中化学液含有气泡的问题，并且控制简单、方便可靠、检修方便。
文档编号B01D19/00GK202682853SQ20122023876
公开日2013年1月23日 申请日期2012年5月24日 优先权日2012年5月24日
发明者王飞 申请人:上海旭熠电子技术有限公司