基于质量配气法的多组分静态配气系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种基于质量配气法的多组分静态配气系统，包括一个定容弹和至少两个进气过滤器，所述至少两个进气过滤器分别通过一个单向阀与所述定容弹的进气口连通，所述进气过滤器和单向阀之间设有质量流量控制器。本实用新型通过采用质量流量控制器控制气体的进气质量，该进气质量不受温度和压力的影响，从而提高了配气的精度。适用于气体的配比。
【专利说明】基于质量配气法的多组分静态配气系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及静态配气系统，具体地指一种基于质量配气法的多组分静态配气系统。
【背景技术】
[0002]目前，常用的静态配气系统大多采用体积配气法，该体积配气法是利用分压定律来进行配气的。具体为:按照理想气体状态方程pV=nRT (式中P为压力，V为体积，η为物质的量，R为气体常量，T为温度)，在已知容器的容积V和容器中环境温度T的前提下，利用压力传感器检测容器的压力，然后利用上式，将指定量的目标气体通入容器中，当达到预定的压力时停止配气，完成配气过程。
[0003]由于上述体积配气法的前提是需配送的气体为理想气体，所以这种配气法在低温或者高压下是不精确的，因为理想气体状态方程pV=nRT只适用于理想气体，而在低温或者高压下的气体严重偏离了理想气体的定义，不能当作理想气体来看待。因此，这种配气法适用范围不够广泛，在特定环境下会产生极大的误差。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是为了解决上述【背景技术】存在的不足，提出一种配气精确的基于质量配气法的多组分静态配气系统。
[0005]为实现上述目的，本实用新型所设计的一种基于质量配气法的多组分静态配气系统，包括一个定容弹和至少两个进气过滤器，所述至少两个进气过滤器分别通过一个单向阀与所述定容弹的进气口连通，所述进气过滤器和单向阀之间设有质量流量控制器。通过采用质量流量控制器控制气体的进气质量，该进气质量不受温度和压力的影响，从而提高了配气的精度。
[0006]在上述方案中，所述定容弹的进气口处设有背压阀，该背压阀起保证所述质量流量控制器正常工作的作用。
[0007]在上述方案中，所述背压阀和定容弹的进气口之间设有定容弹开关阀，所述背压阀和每个单向阀之间分别设有一个管道开关阀；所述背压阀和定容弹开关阀之间的管道以及背压阀和每个管道开关阀之间的管道分别与真空泵连通。通过控制所述定容弹开关阀和管道开关阀的开关，能将定容弹和管道中的空气或废气抽空，进一步地提高了配气的精度。
[0008]在上述方案中，所述背压阀和定容弹开关阀之间的管道通过第一开关阀与所述真空泵连通，所述背压阀和每个管道开关阀之间的管道通过第二开关阀与所述真空泵连通。
[0009]在上述方案中，所述管道开关阀均为气动阀，所述定容弹开关阀、第一开关阀和第二开关阀均为高压差阀。
[0010]在上述方案中，所述定容弹开关阀和定容弹之间的管道上设有压力变送器，该压力变送器能保证所述定容弹内的气体压力为所需压力。
[0011]在上述方案中，所述管道开关阀与第一开关阀之间的管道上设有压力表。[0012]本实用新型的优点在于:
[0013]1、通过采用质量流量控制器控制气体的进气质量，该进气质量不受温度和压カ的影响，从而提高了配气的精度；
[0014]2、通过控制所述定容弹开关阀和管道开关阀的开关，能将定容弹和管道中的空气或废气抽空，进一步地提闻了配气的精度；
[0015]3、加设的压力变送器能保证所述定容弹内的气体压カ为所需压力。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为实用新型的结构示意图。
[0017]图中:定容弹I，进气过滤器2，单向阀3，质量流量控制器4，背压阀5，定容弹开关阀6，管道开关阀7，真空泵8，第一开关阀9，第二开关阀10，压カ变送器11，压カ表12。
【具体实施方式】
[0018]以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进ー步的详细描述:
[0019]如图1所示的ー种基于质量配气法的多组分静态配气系统，包括ー个定容弹I和三个进气过滤器2，所述三个进气过滤器2分别通过ー个单向阀3与所述定容弹I的进气ロ连通，所述三个进气过滤器2和对应的三个单向阀3之间分别设有ー个质量流量控制器
4。通过采用质量流量控制器4控制气体的进气质量，该进气质量不受温度和压カ的影响，从而提高了配气的精度。所述定容弹I的进气ロ处设有背压阀5，该背压阀5起保证所述质量流量控制器4正常工作的作用。
[0020]上述背压阀5和定容弹I的进气ロ之间设有定容弹开关阀6，所述背压阀5和每个单向阀3之间分别设有ー个管道开关阀7 ;所述背压阀5和定容弹开关阀6之间的管道以及背压阀5和每个管道开关阀7之间的管道分别与真空泵8连通。通过控制所述定容弹开关阀6和管道开关阀7的开关，能将定容弹I和管道中的空气或废气抽空，进ー步地提高了配气的精度。所述背压阀5和定容弹开关阀6之间的管道通过第一开关阀9与所述真空泵8连通，所述背压阀5和每个管道开关阀7之间的管道通过第二开关阀10与所述真空泵8连通。
[0021]上述管道开关阀7均为气动阀，所述定容弹开关阀6、第一开关阀9和第二开关阀10均为高压差阀。
[0022]上述定容弹开关阀6和定容弹I之间的管道上设有压力变送器11，该压カ变送器11能保证所述定容弹I内的气体压カ为所需压力。所述管道开关阀7与第一开关阀9之间的管道上设有压力表12。
[0023]本实用新型的工作过程如下:
[0024]1、定容弹抽真空:关闭第一开关阀9，并打开第二开关阀10和定容弹开关阀6，然后开启真空泵8，将定容弹I内的废气抽出；
[0025]2、管道抽真空:关闭定容弹开关阀6，并打开第一开关阀9和第二开关阀10，将管道中的空气或废气抽出；
[0026]3、第一种气体充入定容弹:首先，关闭第一开关阀9、第二开关阀10和定容弹开关阀6，通过控制第一种气体对应的质量流量控制器4向管道内通入一定量的第一种气体，紧接着重复步骤2，以达到清洗管道的目的；管道清洗完毕后，关闭第一开关阀9和第二开关阀10，并继续向管道内通入一定量的第一种气体，以达到向管道内预通入气体，消除管道误差的目的；然后，打开定容弹开关阀6，向管道内通入第一种气体，通过控制第一种气体对应的质量流量控制器4向定容弹I内充入所需质量的第一种气体即可；
[0027]4、第二种气体和第三种气体充入定容弹:参照步骤3向定容弹I内充入所需质量的第二种气体和第三种气体，从而完成第一种气体、第二种气体和第三种气体的配气。
[0028]本实用新型通过采用质量流量控制器4控制气体的进气质量，该进气质量不受温度和压力的影响，从而提高了配气的精度；通过控制所述定容弹开关阀6和管道开关阀7的开关，能将定容弹I和管道中的空气或废气抽空，进一步地提高了配气的精度；加设的压力变送器11能保证所述定容弹I内的气体压力为所需压力。
【权利要求】
1.ー种基于质量配气法的多组分静态配气系统，包括ー个定容弹和至少两个进气过滤器，所述至少两个进气过滤器分别通过一个单向阀与所述定容弹的进气ロ连通，其特征在干:所述进气过滤器和单向阀之间设有质量流量控制器。
2.根据权利要求1所述的基于质量配气法的多组分静态配气系统，其特征在于:所述定容弹的进气ロ处设有背压阀。
3.根据权利要求2所述的基于质量配气法的多组分静态配气系统，其特征在于:所述背压阀和定容弹的进气ロ之间设有定容弹开关阀，所述背压阀和每个单向阀之间分别设有一个管道开关阀；所述背压阀和定容弹开关阀之间的管道以及背压阀和每个管道开关阀之间的管道分别与真空泵连通。
4.根据权利要求3所述的基于质量配气法的多组分静态配气系统，其特征在于:所述背压阀和定容弹开关阀之间的管道通过第一开关阀与所述真空泵连通，所述背压阀和每个管道开关阀之间的管道通过第二开关阀与所述真空泵连通。
5.根据权利要求4所述的基于质量配气法的多组分静态配气系统，其特征在于:所述管道开关阀均为气动阀，所述定容弹开关阀、第一开关阀和第二开关阀均为高压差阀。
6.根据权利要求4或5所述的基于质量配气法的多组分静态配气系统,其特征在于:所述定容弹开关阀和定容弹之间的管道上设有压カ变送器。
7.根据权利要求4或5所述的基于质量配气法的多组分静态配气系统，其特征在于:所述管道开关阀与第一开关阀之间的管道上设有压力表。
【文档编号】B01F15/04GK203389602SQ201320487605
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年8月9日 优先权日:2013年8月9日
【发明者】李格升, 张尊华, 梁俊杰, 杨锐, 熊壮 申请人:武汉理工大学