水处理装置及水处理装置的运行方法与流程

本发明涉及一种水处理装置及水处理装置的运行方法。

背景技术：

例如矿山废水中含有黄铁矿(FeS₂)，该黄铁矿被氧化而生成SO₄^2-。为了中和矿山废水而使用廉价Ca(OH)₂。因此，矿山废水中丰富地含有Ca²⁺及SO₄^2-。

并且，已知咸水、污水及工业废水中也丰富地含有Ca²⁺及SO₄^2-。并且，在冷却塔中，在从锅炉等排出的高温的排气与冷却水之间进行热交换。通过该热交换，冷却水的一部分成为蒸气，因此冷却水中的离子被浓缩。因此，从冷却塔排出的冷却水(排污水)的Ca²⁺及SO₄^2-等的离子浓度处于较高的状态。

大量含有这些离子的水被施予脱盐处理。作为实施脱盐处理的浓缩装置，例如已知有反渗透膜装置、纳滤膜装置及离子交换膜装置等。

然而，在利用这些装置进行脱盐处理时存在如下问题，即在高浓度的阳离子(例如钙离子(Ca²⁺))和阴离子(例如硫酸离子(SO₄^2-))获取其淡水时，若这些离子在膜表面浓缩，则有时超过难溶性矿物盐即硫酸钙(石膏(CaSO₄))的溶解限度而作为附着物析出于膜表面，从而透过水的渗透通量(通量)降低。

因此，以往提出有作为监控反渗透膜的方法，例如使用监控反渗透膜装置的反渗透膜的单元来进行肉眼判断，从而检测矿物盐的结晶生成(专利文献1)。

并且，提出有使来自淡水化装置的浓缩水的至少一部分透过监控用分离膜，并通过设置于该监控用分离膜的前后的测压计来监控浓缩水中所含有的附着物析出于监控用分离膜的膜表面(专利文献2)。根据该提出的内容，预先监控原水(海水)被浓缩而附着物析出于过滤膜的膜表面，从而有效地抑制附着物析出于淡水化装置的过滤膜的膜表面。

并且，专利文献2中提出有为了进一步促进附着物析出，向供给至监控用分离膜的浓缩水供给碱性药剂。

而且，在反渗透膜装置的技术手册中，反渗透膜装置的运行中，RO元件的膜表面有时被矿物垢、微生物、胶体状粒子及有机物污染，沉积物附着于膜表面，最终无法获得规定的透过水流量、脱盐率。提出有以系统启动起至最初的48小时的运行为基准，标准化的透过水流量降低10％以上时、标准化的盐分透过率上升10％以上时、或标准化的差压(供给水侧的压力-浓缩水侧的压力)增大15％以上时，需要清洗元件(非专利文献1)。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2009-524521号公报

专利文献2：日本特开2012-130823号公报

非专利文献1：“技术手册”Dow Water Solution“6.3 Cleaning Requirements”

(http：//dowac.custhelp.com/app/answers/detail/a_id/3428/kw/manual)

技术实现要素：

发明要解决的技术课题

然而，专利文献1中所提出的监控方法中，附着物(例如矿物盐结晶)的生成机制中，纳米级的结晶核生长而成为附着物。反渗透膜装置的反渗透膜表面的细孔孔径为纳米级，若超μm以下的附着物存在于膜表面，则堵塞反渗透膜。为了肉眼确认该超μm以下的附着物，通过光学摄像装置(例如，光学显微镜)进行拍摄，实质上较困难，需要如电子显微镜那样的摄像装置，存在无法进行连续观察的问题。

而且，在能够肉眼观察的反渗透膜的表面，反渗透膜装置的浓缩水进行流动，因此存在穿过流动的液体而高精度地连续观察反渗透膜的表面实质上较困难的问题。

并且，专利文献2所提出的内容中，由于需要检测监控用单元的前后的差压，因此存在流路被附着物堵塞，只有在差压发生变化的程度的附着物析出之后才能进行判断的问题。并且，检测附着物时需要一定程度的大小，例如原水的淡水化装置的过滤膜程度的大小的监控用装置，存在监控装置规模变大的问题。

即，淡水化装置的反渗透膜例如存储1个螺旋膜的单位为1m的多个(例如5～8个)螺旋膜，从而构成1个过滤膜用容器，并连结数百个以上该容器来进行原水的过滤时，监控装置的小型化有助于淡水化设备的小型化，因此期望出现实现尽可能小型化的监控附着物的装置。

并且，在供给碱性药剂的情况下，虽然对于通过供给碱性药剂而变得容易析出的附着成分(例如碳酸钙、氢氧化镁等)有效，但对于不依赖于pH的成分(例如石膏(CaSO₄)、氟化钙(CaF₂)等)并没有效果，因此存在无法应用的问题。

在非专利文献1中，视为反渗透膜装置的透过水流量降低10％以上时，需要清洗元件。反渗透膜装置中，一般在压力容器(容器)内例如直接连结有5～8个元件，并且，在连结两个压力容器的情况下，例如直接连结有10～16个元件。在此，一个元件的液体流动方向的长度例如为1m，例如直接连结8个元件时，液体流动方向上的膜的总长度例如成为16m。这种情况下，在透过水流量降低10％的情况下，成为在元件中液流动方向的较长的长度上析出水垢的状态，且水垢附着量也较多，通过清洗去除水垢较困难。

并且，由于水垢析出于反渗透膜而反渗透膜受损，成为膜的性能下降的原因。因此，为了轻松地清洗所附着的水垢，需要高灵敏度地检测水垢开始析出于反渗透膜的时刻的装置。

本发明的课题在于鉴于上述问题，提供一种能够通过小型装置检测附着物开始附着于反渗透膜装置的反渗透膜的时刻，而且还检测附着物开始附着于分离膜装置的分离膜的时刻的水处理装置及水处理装置的运行方法。

用于解决技术课题的手段

为了解决上述课题，本发明的第1发明的水处理装置的特征在于，具备：分离膜装置，具有从被处理水浓缩溶解成分和分散成分而获得透过水的分离膜；第1附着物检测部，设置于从排出非透过水的非透过水管路分支的非透过水分支管路，且具有第1检测用分离膜，所述第1检测用分离膜将分支的非透过水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水，所述非透过水浓缩溶解成分和分散成分而成；及第1检测用分离液流量测量装置，测量在所述第1检测用分离膜中分离的检测用透过水或检测用非透过水的任一者或两者的流量。

第2发明的水处理装置的特征在于，具备：分离膜装置，具有从被处理水浓缩溶解成分和分散成分而获得透过水的分离膜；第2附着物检测部，设置于从供给所述被处理水的被处理水供给管路分支的被处理水分支管路，且具有第2检测用分离膜，所述第2检测用分离膜将分支的被处理水的一部分作为检测液，并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水；及第2检测用分离液流量测量装置，测量在所述第2检测用分离膜中分离的检测用透过水或检测用非透过水的任一者或两者的流量。

第3发明的水处理装置的特征在于，具备：分离膜装置，具有从被处理水浓缩溶解成分和分散成分而获得透过水的分离膜；第1附着物检测部，设置于从排出非透过水的非透过水管路分支的非透过水分支管路，且具有第1检测用分离膜，所述第1检测用分离膜将分支的非透过水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水，所述非透过水浓缩溶解成分和分散成分而成；第1检测用分离液流量测量装置，测量在所述第1检测用分离膜中分离的分离液的流量；第2附着物检测部，设置于从供给所述被处理水的被处理水供给管路分支的被处理水分支管路，且具有第2检测用分离膜，所述第2检测用分离膜将分支的被处理水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水；及第2检测用分离液流量测量装置，测量在所述第2检测用分离膜中分离的分离液的流量。

第4发明为第1至3中任一发明所述的水处理装置，其特征在于，具备根据所述第1检测用分离液流量测量装置或第2检测用分离液流量测量装置的测量结果，实施所述分离膜装置的所述分离膜的清洗的控制装置。

第5发明为第4发明所述的水处理装置，其特征在于，具备根据所述第1检测用分离液流量测量装置或第2检测用分离液流量测量装置的测量结果，实施如下控制，即，将运行条件变更为附着物不附着于所述分离膜装置的所述分离膜的条件的控制装置。

第6发明的水处理装置，其特征在于，具备：分离膜装置，具有从被处理水浓缩溶解成分和分散成分而获得透过水的分离膜；第1附着物检测部，设置于从排出非透过水的非透过水管路分支的非透过水分支管路，且具有第1检测用分离膜，所述第1检测用分离膜将分支的非透过水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水，所述非透过水浓缩溶解成分和分散成分而成；第1检测用分离液流量测量装置，测量在所述第1检测用分离膜中分离的检测用透过水或检测用非透过水的任一者或两者的流量；及控制装置，根据所述第1检测用分离液流量测量装置的测量结果，实施如下控制，即，将运行条件变更为附着物不附着于所述分离膜装置的所述分离膜的条件。

第7发明的水处理装置，其特征在于，具备：分离膜装置，具有从被处理水浓缩溶解成分和分散成分而获得透过水的分离膜；第2附着物检测部，设置于从供给所述被处理水的被处理水供给管路分支的被处理水分支管路，且具有第2检测用分离膜，所述第2检测用分离膜将分支的被处理水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水；第2检测用分离液流量测量装置，测量在所述第2检测用分离膜中分离的检测用透过水或检测用非透过水的任一者或两者的流量；及控制装置，根据所述第2检测用分离液流量测量装置的测量结果，实施如下控制，即，将运行条件变更为附着物不附着于所述分离膜装置的所述分离膜的条件。

第8发明的水处理装置，其特征在于，具备：分离膜装置，具有从被处理水浓缩溶解成分和分散成分而获得透过水的分离膜；第1附着物检测部，设置于从排出非透过水的非透过水管路分支的非透过水分支管路，且具有第1检测用分离膜，所述第1检测用分离膜将分支的非透过水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水，所述非透过水浓缩溶解成分和分散成分而成；第1检测用分离液流量测量装置，测量在所述第1检测用分离膜中分离的分离液的流量；第2附着物检测部，设置于从供给所述被处理水的被处理水供给管路分支的被处理水分支管路，且具有第2检测用分离膜，所述第2检测用分离膜将分支的被处理水的一部分作为检测液并将该检测液分离为检测用透过水和检测用非透过水；第2检测用分离液流量测量装置，测量在所述第2检测用分离膜中分离的分离液的流量；及控制装置，根据所述第1检测用分离液流量测量装置或第2检测用分离液流量测量装置的测量结果，实施如下控制，即，将运行条件变更为附着物不附着于所述分离膜装置的所述分离膜的条件。

第9发明为第1至8中任一发明所述的水处理装置，其特征在于，通过透过水侧流量测量装置测量透过所述第1检测用分离膜或第2检测用分离膜的检测用透过水的流量时，测量流量成为规定阈值以下的情况下，判断为附着物附着于所述分离膜装置的所述分离膜的初始阶段。

第10发明为第1至8中任一发明所述的水处理装置，其特征在于，通过非透过水侧流量测量装置测量透过所述第1检测用分离膜或第2检测用分离膜的检测用非透过水的流量时，测量流量成为规定阈值以上的情况下，判断为附着物附着于所述分离膜装置的所述分离膜的初始阶段。

第11发明为第1或3或6或8发明所述的水处理装置，其特征在于，第1附着物检测部的流路的长度为所述分离膜装置中所使用的所述分离膜的供给液流动方向的总长度的1/10以下。

第12发明为第2或3或7或8发明所述的水处理装置，其特征在于，第2附着物检测部的流路的长度为所述分离膜装置中所使用的所述分离膜的供给液流动方向的总长度的1/10以下。

第13发明为第1至12中任一发明所述的水处理装置，其特征在于，具备使来自所述分离膜装置的所述非透过水的水分蒸发的蒸发器。

第14发明的水处理装置的运行方法，其特征在于，所述水处理装置的运行方法利用第1发明所述的水处理装置的第1附着物检测部；在所述分离液的流量相对于规定阈值发生变化的情况下，选定清洗附着于所述第1附着物检测部的第1检测用分离膜的附着物的附着物清洗液及抑制附着物的附着的附着物抑制剂的任一者或两者，并将该选定的所述附着物清洗液或所述附着物抑制剂供给至所述分离膜装置。

第15发明的水处理装置的运行方法，其特征在于，所述水处理装置的运行方法利用第2发明所述的水处理装置的第2附着物检测部；在所述分离液的流量相对于规定阈值发生变化的情况下，选定清洗附着于所述第2附着物检测部的第2检测用分离膜的附着物的附着物清洗液及抑制附着物的附着的附着物抑制剂的任一者或两者，并将该选定的所述附着物清洗液或所述附着物抑制剂供给至所述分离膜装置。

第16发明为第14或15发明所述的水处理装置的运行方法，其特征在于，使来自所述分离膜装置的所述非透过水的水分蒸发。

发明效果

通过利用本发明的水处理装置，在利用基于分离膜的分离膜装置处理被处理水时，能够检测附着物开始附着于分离膜的时刻。

附图说明

图1为实施例1所涉及的脱盐处理装置的示意图。

图2为实施例1所涉及的第1附着物检测部的示意图。

图3为图2的第1附着物检测部的立体图。

图4为第1附着物检测部中使用螺旋型反渗透膜时的局部切开立体图。

图5为螺旋型反渗透膜装置的容器的局部切开示意图。

图6为连结两个容器的立体图。

图7为元件的局部分解示意图。

图8为第1附着物检测部与常备的反渗透膜装置的一部分对应的示意图。

图9为表示将第1附着物检测部的检测用反渗透膜的长度L设为16mm来实施时的通量(m³/h/m²)变化的图。

图10为表示将第1附着物检测部的检测用反渗透膜的长度L设为1000mm来实施时的通量(m³/h/m²)变化的图。

图11为表示随着实施例1中的运行时间的经过而流量发生变化的一例的图。

图12为实施例2所涉及的脱盐处理装置的示意图。

图13为实施例3所涉及的脱盐处理装置的示意图。

图14为表示实施例3所涉及的脱盐处理装置的运行条件变更的一例的示意图。

图15为实施例4所涉及的脱盐处理装置的示意图。

图16为实施例5所涉及的脱盐处理装置的示意图。

具体实施方式

以下，参考附图，对本发明的优选实施例进行详细说明。另外，本发明并不限定于该实施例，并且，在实施例有多个的情况下，也包含组合各实施例而构成的实施例。

实施例1

图1为实施例1所涉及的脱盐处理装置的示意图。图2为实施例1所涉及的第1附着物检测部的示意图。在以下实施例中，将使用反渗透膜作为分离膜的分离膜装置即反渗透膜装置为例子，对例如将盐分等的溶解成分进行脱盐处理的脱盐处理装置进行说明，但只要是使用分离膜来进行水处理的水处理装置，则本发明并不限定于此。

如图1所示，本实施例所涉及的脱盐处理装置10A具备：反渗透膜装置14，具有从被处理水11浓缩含有离子和有机物的溶解成分(也称为“附着成分”)而获得透过水的反渗透膜；第1附着物检测部24A，设置于从排出非透过水15的非透过水管路L₁₁分支的非透过水分支管路L₁₂，且具有将分支的非透过水15的一部分作为检测液15a，并将该检测液15a分离为检测用透过水22和检测用非透过水23的第1检测用反渗透膜21A，所述非透过水15浓缩含有离子和有机物的溶解成分而成；第1检测用分离液流量测量装置(第1检测用透过水侧流量计41A、第1检测用非透过水侧流量计41B)，测量在第1检测用反渗透膜21A中分离的分离液即检测用透过水22或检测用非透过水23的流量；判定装置40，根据第1检测用分离液流量测量装置(第1检测用透过水侧流量计41A、第1检测用非透过水侧流量计41B)的测量结果，在测量流量相对于规定阈值发生变化时，判断为附着物附着于反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段。另外，在本实施例中，设置判定装置40，但判定装置40只要根据需要设置即可。

在此，反渗透膜装置14为从被处理水11生成透过水13的装置，因此以下有时称为“常备的反渗透膜装置”。

另外，图1中，符号16表示将被处理水11供给至反渗透膜装置14的高压泵，17表示调整阀，L₁表示被处理水供给管路，L₂表示透过水排出管路，L₃表示透过水供给管路。

本实施例中，在从来自常备的反渗透膜装置14的非透过水管路L₁₁分支的非透过水分支管路L₁₂设置规模小于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的第1附着物检测部24A，调整为该第1附着物检测部24A的脱盐条件与常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的出口附近的脱盐条件相同，模拟该常备的反渗透膜装置14的最后的脱盐部分的膜的非透过水侧流速与压力，从而在第1检测用反渗透膜21A中掌握附着物附着开始时刻。由此，能够在附着物刚附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜之后进行清洗处理。

在此，作为在第1检测用反渗透膜21A中分离的分离液，有透过第1检测用反渗透膜21A的检测用透过水22和不透过第1检测用反渗透膜21A的检测用非透过水23。在本实施例中，作为第1检测用分离液流量测量装置，将测量检测用透过水22的流量的第1检测用透过水侧流量计41A设置在检测用透过水排出管路L₁₃，且将测量检测用非透过水23的流量的第1检测用非透过水侧流量计41B设置在检测用非透过水排出管路L₁₄。

另外，作为基于流量测量装置的流量测量方法，可以通过流量计直接测量流量，例如也可以通过基于电子天平的重量测量等间接地测量流量。对于以下的实施例，作为将流量计用作流量测量装置的例子进行说明。

并且，通过第1检测用透过水侧流量计41A、第1检测用非透过水侧流量计41B来测量检测用透过水22或检测用非透过水23的任一者或两者的流量。

在此，检测用透过水22与检测用非透过水23的流量的总和为向第1附着物检测部24A供给的检测液15a的流量，因此可以通过检测用非透过水23间接地求出检测用透过水22的流量。在以下的说明中，主要对通过第1检测用透过水侧流量计41A测量检测用透过水22的流量的情况进行说明。

在此，被处理水11为例如矿山废水、发电厂冷却塔的排污水、开采石油气体时的处理水、咸水、工业废水等含有例如有机物、微生物、矿物盐等的离子的附着物或者生成附着物的成分的物质。并且，作为被处理水11使用海水，且可以适用于海水淡水化。

作为从该被处理水11例如分离盐分等的溶解成分的分离膜，除了反渗透膜(RO：Reverse Osmosis Membrane)以外，可例示出例如纳滤膜(NF：Nanofiltration Membrane)、正渗透膜(FO：Forward Osmosis Membrane)。

在此，在分离膜变更为反渗透膜以外的其他膜的情况下，检测用分离膜也同样地变更而进行检测。

关于该被处理水11，操作设置于被处理水供给管路L₁的高压泵16及设置于来自反渗透膜装置14的非透过水排出管路L₁₁的调节流量的调整阀44B而上升至规定压力，并被导入至具备反渗透膜的反渗透膜装置14。

并且，作为附着于反渗透膜的附着物，例如有碳酸钙、氢氧化镁、硫酸钙、硅酸盐等的无机类附着物或源自天然有机物及微生物的有机类附着物、二氧化硅等的胶体成分、含有石油等的乳液的分散成分，但只要是对膜产生附着，则并不限定于这些。

在该反渗透膜装置14中，被处理水11在反渗透膜装置14的反渗透膜中被脱盐，从而获得透过水13。并且，在该反渗透膜中浓缩含有离子和有机物的溶解成分而成的非透过水15作为废弃物而被适当地废弃、处理或用于回收非透过水15中的有用物质而被使用。

在本实施例中，设有从排出该非透过水15的非透过水管路L₁₁中对其一部分进行分支的非透过水分支管路L₁₂。

并且，该非透过水分支管路L₁₂中设置有具有将分支的检测液15a分离为检测用透过水22和检测用非透过水23的第1检测用反渗透膜21A的第1附着物检测部24A。

在该非透过水分支管路L₁₂中，在第1附着物检测部24A的前游侧设置高压泵16a，并且在来自第1附着物检测部24A的检测用非透过水排出管路L₁₄中设置调节流量的调整阀44A，操作这些高压泵16a和调整阀44A来调整来自第1附着物检测部24A的检测用透过水22的流量。并且，调整分支的检测液15a的压力及流量，以使该第1附着物检测部24A的脱盐条件与常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的出口附近的脱盐条件相同。关于该规定压力及流量的确认，通过测压计42A、42B及流量计43A、43B进行监控。

而且，可以通过调整阀44A或高压泵16a的任一个来调整来自第1附着物检测部24A的检测用透过水22的流量。

另外，在排出检测用非透过水23的检测用非透过水排出管路L₁₄中设有测压计42C，在非透过水15的非透过水管路L₁₁中设有调整阀44B。

图3为图2的第1附着物检测部的立体图。

如图2及图3所示，第1附着物检测部24A导入从检测部主体24a的入口24b侧分支的检测液15a，第1检测用反渗透膜21A被夹在间隔件(非透过水侧)24c与间隔件(透过水侧)24d之间。并且，沿着该第1检测用反渗透膜21A，被导入的检测液15a进行流动(X方向)。并且，该检测液15a沿与检测液流动方向(X方向)正交的方向(Z方向)移动，由此穿过第1检测用反渗透膜21A而被脱盐，得到检测用透过水22。透过的检测用透过水22成为沿第1检测用反渗透膜21A的透过水流向(X方向)，并作为检测用透过水22从透过水出口24e排出。

图3中，检测液15a的流动方向(X方向)的长度(L)为第1附着物检测部24A的流路的长度，第1附着物检测部24A在图2中的纵深方向上的长度成为W。

图4为第1附着物检测部中使用螺旋型反渗透膜时的局部切开立体图。如图4所示，是将螺旋型的第1检测用反渗透膜21A作为第1附着物检测部24A的检测用膜的情况，检测液15a从第1检测用反渗透膜21A的两个面被供给，且沿着第1检测用反渗透膜21A与检测液15a的流动方向正交的方向(Z方向)移动，穿过膜并被脱盐而成为检测用透过水22。并且，由于为螺旋型反渗透膜，因此检测用透过水22朝向中心的集水管流动(Y方向)。另外，图4中，示出通过缺口部切开螺旋型反渗透膜21的状态，确认到内部的间隔件(透过水侧)24d。

该第1附着物检测部24A中，为了确保从入口24b经过非透过水出口24f形成均匀的流向(检测液流动方向(X方向))的流路，例如设有树脂制的间隔件(非透过水侧)24c。并且，在透过水侧也同样地，为了确保经过透过水出口24e形成均匀的流向(透过水流动方向(X方向))的流路，例如设有树脂制的间隔件(透过水侧)24d。在此，只要是能够确保均匀的流向的部件，则对间隔件并无限定。

并且，第1附着物检测部24A的流路的长度(L)优选设为常备的反渗透膜装置14中所使用的反渗透膜装置14的反渗透膜的供给液的流动方向上的总长度的1/10以下左右的长度，更优选设为1/50以下的长度，进一步优选设为1/100以下的长度。另外，作为试验例中所使用的第1附着物检测部24A的流路的长度(L)，使用了16mm、1000mm的长度。

在此，如后述，关于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的元件(长度例如为1m)，连结8个元件来作为1个容器。例如在元件8个/1个容器的情况下，串联连接两个容器时，反渗透膜装置14中所使用的供给液流动方向上的膜长度成为16m，使用流路长度为1000mm的反渗透膜作为检测膜的情况下，第1附着物检测部24A的流路长度成为1/16(1/10以下)。

同样地，使用16mm的反渗透膜作为检测膜的情况下，第1附着物检测部24A的流路长度成为0.016/16(1/100以下)。

并且，若将作为第1附着物检测部24A的检测膜的第1检测用反渗透膜21A的纵深方向上的长度W(与供给水流向垂直的方向)设为恒定，则膜长度(L)越短，膜面积变得越小。并且，成为“通过附着物的附着而膜表面的10％被堵塞＝降低10％的透过水流量”，膜面积越小，因附着引起的膜堵塞发生得越早，因此能够高灵敏度且迅速地检测附着引起的透过水流量的降低。

在此，作为第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A，使用分离膜，该分离膜发挥反渗透作用且与常备的反渗透膜装置14的反渗透膜为同一种类或类似种类且发挥脱盐性能。

在本实施例中，常备的反渗透膜装置14的反渗透膜在压力容器内存储有多个具备螺旋型反渗透膜的反渗透膜元件。

在此，对螺旋状的反渗透膜的一例进行说明。图5为螺旋型反渗透膜装置的容器的局部切开示意图。图6为连接两个图5的容器的立体图。图7为螺旋型反渗透膜元件的局部分解示意图。图7所示的螺旋型反渗透膜元件为日本特开2001-137672号公报中所公开的一例，但并不限定于此。在此，以下反渗透膜装置的容器100称为容器100，以下螺旋型反渗透膜元件101称为元件101。

如图5所示，容器100构成为串联连接多个(例如5～8)元件101并将其容纳于圆筒状的容器主体(以下称为“容器主体”)102内。被处理水11作为原水从容器主体102的一端侧的原水供给口103被导入，且透过水13从另一端侧的透过水输出口104输出，非透过水15从非透过水输出口105输出。另外，在图5中，被处理水11导入侧的透过水输出口104设为封闭状态。

图6为串联连接两个该容器100的情况。例如在将一个元件101设为1m的情况下，若由8个元件构成1个容器，则总流路长度(供给液的流动方向上的总长度)成为8×2＝16m的长度。

例如，如图7所示，容器主体102内的各元件101具有如下结构，即，将围绕集水管111，将内含流路材料112的袋状的反渗透膜12通过流路材料(例如网状间隔件)114卷绕成螺旋状，并在其一端设置盐水密封圈115。并且各元件101通过流路材料(例如网状间隔件)114将从前方的盐水密封圈115侧供给的规定压力的被处理水(原水)11依次引导至袋状的反渗透膜12之间，且通过集水管111输出因反渗透作用透过反渗透膜12的透过水13。并且，非透过水15也可以从后方密封圈118侧输出。另外，被处理水11的移动方向上的膜长度为L。在此，图7所示的元件101的结构在图4所示的螺旋型的第1附着物检测部24A的结构中也相同。

聚集多个(例如50～100个)该压力容器作为1个单元，且调整该单元数，并根据进行处理的被处理水11的供给量来进行脱盐处理而制造产品水。

以往，使来自常备的反渗透膜装置14的非透过水的至少一部分透过监控用分离膜，并通过设置于该监控用分离膜的前后的测压计的差压来监控非透过水中所含有的附着物附着于监控用分离膜的膜表面。然而，在利用差压进行确认的情况下，存在流路被附着物堵塞，只有在差压发生变化的程度的附着物附着之后才能进行判断的问题。

并且，在利用该差压进行测量的情况下，若监控用分离膜的长度不够长，则存在无法高精度地进行检测的问题。

在反渗透膜装置14的运行中，通常设想被处理水11中存在含有规定的离子和有机物的溶解成分，并以含有离子的溶解成分等引起的附着物不附着于反渗透膜的条件为运行条件进行设计。然而，由于所供给的被处理水11的水质变动等，相较于设计条件，含有离子和有机物的溶解成分浓度变高，有时成为附着物容易附着于反渗透膜的状況。这种情况下，通过流量计确认来自反渗透膜装置14的透过水13的透过水流量，并将透过水13的流量降低至规定比例的时刻作为阈值来实施了反渗透膜的清洗，但在该时刻，附着物已经广范围地附着于反渗透膜，变得难以清洗反渗透膜。

因此，如图1所示，在本实施例中设置反渗透膜装置的附着物监控装置，其具备：非透过水管路L₁₁，从反渗透膜装置14排出浓缩含有离子和有机物的溶解成分而成的非透过水15，该反渗透膜装置14从被处理水11通过反渗透膜过滤透过水13；第1附着物检测部24A，设置于从该非透过水管路L₁₁分支的非透过水分支管路L₁₂，且具有将分支的检测液15a分离为检测用透过水22和检测用非透过水23的第1检测用反渗透膜21A；及第1检测用透过水侧流量计41A，测量检测用透过水22的流量。

图8为第1附着物检测部与常备的反渗透膜装置的一部分对应的示意图。如图8所示，使用第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A检测附着物附着状态是指，在常备的反渗透膜装置14的最末尾(例如元件101并联连结有8个的情况下，元件101-1～101-8中第8个元件101-8的出口末端附近)，模拟附着物成分(例如石膏)附着于第1检测用反渗透膜21A的状況。将第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A的膜长度L设为例如16mm的情况下，能够模拟最末尾部分的16mm的状态。

即，第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A成为被追加设置于常备的反渗透膜装置14的状态。因此，将第1检测用反渗透膜21A的长度设为例如1000mm的情况下，常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的长度成为+1000mm。

因此，第1检测用反渗透膜21A的长度L越短，则越能够模拟常备的反渗透膜装置14的末端部的极短的部分。

这从后述的试验结果中，第1检测用反渗透膜21A为16mm时，供给水即检测液15a的石膏过饱和度为4.7，非透过水15的石膏过饱和度也为4.7，因此能够模拟常备的反渗透膜装置14的出口附近。

在此，利用图9、图10对第1检测用反渗透膜21A中的运行的经过与透过水流量及供给压力之间的关系进行说明。

图9为表示将第1附着物检测部的检测用反渗透膜的长度L设为16mm来实施时的通量(m³/h/m²)变化的图。图10为表示将第1附着物检测部的检测用反渗透膜的长度L设为1000mm来实施时的通量(m³/h/m²)变化的图。在图9及10中，表示在第1附着物检测部中运行的经过时间与透过水量及供给压力之间的关系的图。在图9及10中左纵轴表示通量(m³/h/m²)，右纵轴表示供给压力(MPa)，横轴表示运行时间(小时)。在本试验例中，作为附着物使用了以附着有石膏的方式进行调整的检测液15a。在此，通量是指每单位面积的透过水流量。

在图9及10中为将向第1附着物检测部24A供给的检测液15a的供给压力设为例如2.0MPa，将向第1检测用反渗透膜21A供给的检测液15a的石膏过饱和度设为4.7的条件下，对随着运行时间的经过，石膏附着物附着于第1检测用反渗透膜21A而引起的透过水流量的降低的程度的结果进行确认的情况。

图9为将第1附着物检测部24A的检测用反渗透膜的长度L设为16mm来进行试验的情况，确认到将供给压力设为恒定即例如2.0MPa时，检测用透过水22的通量的变动在约1小时降低50％以下。并且，此时检测用非透过水23的石膏饱和度为4.7。

图10为将第1附着物检测部24A的检测用反渗透膜的长度L设为1000mm来实施的情况，将供给压力设为恒定即例如2.0MPa时，确认到在约1时间降低10％。

其结果，确认到在第1附着物检测部24A中，能够在极短的时间(反渗透膜的长度L为例如16mm时，约10分钟以下)检测到第1检测用反渗透膜21A中的透过水流量降低10％。

因此，利用本实施例所涉及的第1附着物检测部24A，在1小时以下，优选在10分钟以下，能够迅速检测到透过水流量降低约10％。

在此，过饱和度表示例如以石膏为例子将石膏以某种条件饱和溶解的状态(石膏的饱和浓度)设为“1”时的石膏浓度的比例，例如，过饱和度“5”表示比石膏饱和浓度浓5倍的浓度。

接着，进行了基于对第1检测用反渗透膜21A的清洗可否恢复透过水流量的确认试验。

具体而言，强制性地使石膏析出于第1检测用反渗透膜21A，清洗后，确认了是否返回附着物析出前的透过水流量。

利用第1检测用透过水侧流量计41A将透过水流量降低10％时的条件作为附着物即石膏的析出条件。

将运行条件示于表1。另外，作为供给液使用NaCl评价液(NaCl：2000mg/L)。

[表1]

(表1)

以如下方式进行了运行操作。

1)首先，将压力条件设为1.18MPa，且作为供给液使用NaCl评价液时的透过水量为24ml/h。

2)然后，将供给压力条件增加至2.0MPa，并且，将供给液从NaCl评价液变更为石膏过饱和液，且强制性地使水垢析出于膜中，从而确认到经10分钟透过水流量降低了10％。

3)然后，将供给液从石膏过饱和液变更为离子交换水并进行了清洗。

4)清洗后，将供给液从离子交换水变更为NaCl评价液，并以1)的操作条件(压力条件为1.18MPa)运行的结果，透过水量为24ml/h。

其结果，确认到在石膏析出于第1检测用反渗透膜21A的初始阶段，通过水清洗能够清洗石膏附着物，且通过进行清洗返回到附着物析出前的透过水流量。

还确认到清洗石膏时，能够使用纯水进行清洗。因此，清洗常备的反渗透膜装置14时，也能够使用透过水13进行清洗。由此，能够降低清洗工序中的成本且能够降低对膜的损伤。

接着，对随着脱盐处理装置的运行时间的经过而透过水流量的降低的一例进行说明。图11为表示本实施例中的运行时间的经过与透过水流量的变化的一例的图。如图11所示，在被处理水11中的水垢成分浓度没有变化的情况下，第1附着物检测部24A中的流量不会降低。并且，由于被处理水11的水质变动等而水垢成分浓度发生变化时，附着物开始附着于第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A。根据该附着物的附着，能够确认第1检测用透过水侧流量计41A中的流量降低。

并且，如图11所示，若确认了成为规定阈值(设为例如检测用透过水的流量降低10％时的阈值)，则判定装置40判断为附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段。另外，该判定装置40只要根据需要设置即可。

在此，本发明中阈值是检测用透过水的流量的变化比例，在图11的例子中，规定阈值表示检测用透过水的流量的降低率为10％。

并且，如图1所示，在脱盐处理装置10A运行时，利用第1附着物检测部24A，通过第1检测用透过水侧流量计41A测量分离水即检测用透过水22的流量的降低，该测量的结果，通过判定装置40判断相较于规定阈值测量流量是否发生变化。该判断的结果，相较于规定阈值发生变化时，判断为附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段。该判断的结果，由控制装置45对清洗液供给部52发送供给清洗液51的指令。根据该指令，停止常备的反渗透膜装置14的运行，接着，将清洗液51供给至被处理水供给管路L₁并进行清洗。作为该清洗，例如能够利用冲洗、倒吸清洗等。另外，该清洗中能够使用透过水13的一部分。

此时，作为清洗液51，将所生成的透过水13的一部分13a通过透过水供给管路L₃输送至清洗液供给部52，以进行清洗处理。由此，能够避免基于药品的清洗。

以上，通过第1检测用透过水侧流量计41A检测来自第1附着物检测部24A的检测用透过水22的透过水流量，并进行了判断，但使用检测用非透过水23的情况下，以如下方式进行。

通过第1检测用非透过水侧流量计41B检测来自第1附着物检测部24A的检测用非透过水23的非透过水流量，在检测到非透过水流量的增加的同时在判定装置40中判断为附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜。该判断的结果，在控制装置45中，通过清洗液51清洗常备的反渗透膜装置14的反渗透膜，由此能够防止因附着物附着于常备的反渗透膜装置14而引起的性能降低。

通过以上，根据本实施例，能够检测附着物附着于处理被处理水11的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段。

如此，利用第1附着物检测部24A，在检测用透过水22的流量成为预先设定的规定阈值以下时，能够判断为附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段，并且，该判断的结果，通过供给清洗液并进行清洗，能够抑制附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜。

一般在反渗透膜中附着有石膏等难溶性物质的情况下，视为通过清洗处理无法去除，但通过利用本实施例的第1附着物检测部24A，能够掌握极为初期的石膏的附着状态，因此在石膏的结晶处于容易溶解的微小状态下，能够通过清洗进行去除。

其结果，能够在附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段进行处理，因此不会如以往那样错过时机，并且无需使用以往的酸性、碱性清洗液，能够有助于提高反渗透膜的寿命。

以上的实施例中，将供给液的供给压力、供给液流量设为恒定时，若附着物附着于反渗透膜，则透过水流量(或通量)降低，由此将检测液的供给压力、供给流量设为规定的值，检测用透过水流量(或通量)成为阈值以下时，判断为附着物附着于检测用反渗透膜。

相对于此，将透过水流量(或通量)设为恒定时，若附着物附着于反渗透膜，则需要提高供给液的供给压力(提高通量)。

因此，以检测用分离液(检测用透过水、或检测用非透过水)的流量成为恒定的方式控制供给液的供给压力，在供给压力成为阈值以上的情况下，也能够判断为附着物附着于检测用反渗透膜。

实施例2

图12为实施例2所涉及的脱盐处理装置的示意图。另外，对于与实施例1相同的部件，标注相同符号并省略重复的说明。如图12所示，本实施例所涉及的脱盐处理装置10B对附着于第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A的附着物成分进行分析，并根据附着物实施清洗。

即，在本实施例中，附着物附着于第1附着物检测部24A的第1检测用反渗透膜21A时，另行进行该附着物的分析。

并且，分析的结果，预先选定的例如3种清洗液51(第1清洗液51A～第3清洗液51C)中，选定最适合的清洗液作为常备的反渗透膜装置14的清洗液，并由第1清洗液供给部～第3清洗液供给部52(52A～52C)进行供给。

对附着有附着物的第1检测用反渗透膜21A分别供给各种清洗液51，通过第1检测用透过水侧流量计41A测量第1检测用反渗透膜21A的检测用透过水流量，从而确认第1检测用反渗透膜21A的附着物的清洗效果。

通过测量检测用透过水流量，能够选定对第1检测用反渗透膜21A的附着物最有效的清洗条件(清洗液、温度等)。能够将该选定的结果作为常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的清洗条件进行设定。

以往，即使确定了针对附着物推荐的清洗条件(清洗液、清洗步骤)，难以确定实际附着于反渗透膜的附着物，以根据被处理水11的水质进行的预测为依据，设想附着物并选定清洗液，因此有时无法进行适当的清洗。

相对于此，根据本实施例，能够对实际的附着物进行基于各种清洗液的清洗性能的评价。通过将该评价的结果反映于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜，能够进行适当的清洗。

其结果，能够对实际附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的附着物，简单地选定最有效的清洗液。

并且，能够有效地对常备的反渗透膜装置14的反渗透膜进行清洗，并能够实现清洗时间的缩短、清洗液的使用量的减少。

在此，作为附着物，例如、碳酸钙、氢氧化镁、氢氧化铁等能够通过使用酸性水溶液进行清洗，该酸性水溶液使用盐酸等。并且，二氧化硅、有机物等能够通过使用碱性水溶液进行清洗，该碱性水溶液使用氢氧化钠等。

也可以与该清洗作业一同将运行条件变更为附着物不附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的条件。另外，这些操作可以与清洗同时进行，也可以依次进行。

作为运行条件的变更内容，能够例示出以下内容。

1)在导入于常备的反渗透膜装置14之前，进行增加供给至被处理水11中的附着物抑制剂的添加浓度的运行。

2)进行降低针对常备的反渗透膜装置14的被处理水11的供给液压力的运行。

3)进行提高针对常备的反渗透膜装置14的被处理水11的供给液流量的运行。

通过变更为这种附着物不附着的运行条件，脱盐处理装置能够稳定地实施脱盐处理。

并且，不仅清洗液的选定，也可以以同样的方式进行附着物抑制剂的选定，并进行适当的附着物抑制剂的供给。

实施例3

图13为实施例3所涉及的脱盐处理装置的示意图。另外，对于与实施例1相同的部件，标注相同的符号并省略重复的说明。

实施例1的脱盐处理装置10A的情况下，使用来自反渗透膜装置14的非透过水15，检测该非透过水15中的基于水垢成分的附着物的附着开始的时刻，但如图13所示，在本实施例中，脱盐处理装置10C在反渗透膜装置14的近前(供给)侧，检测因被处理水11中所含有的有机成分引起的附着物或因微生物引起的生物淤积开始的时刻。另外，实施例1的第1附着物检测部24A与本实施例的第2附着物检测部24B的结构相同，因此省略其说明。

如图13所示，本实施例所涉及的脱盐处理装置10C具备：反渗透膜装置14，具有从被处理水11浓缩含有离子和有机物的溶解成分而获得透过水13的反渗透膜；第2附着物检测部24B，设置于从供给被处理水11的被处理水供给管路L₁分支的被处理水分支管路L₂₁，且具有将分支的被处理水11的一部分作为检测液11a，并将该检测液11a分离为检测用透过水22和检测用非透过水23的第2检测用反渗透膜21B；第2检测用分离液流量测量装置(第2检测用透过水侧流量计41C、第2检测用非透过水侧流量计41D)，测量在第2检测用反渗透膜21B中分离的分离液(检测用透过水22、检测用非透过水23)的流量；及判定装置40，第2检测用分离液流量测量装置(第2检测用透过水侧流量计41C、第2检测用非透过水侧流量计41D)的测量结果，测量流量相对于规定阈值发生变化时，判断为附着物附着于渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段。

在本实施例中，将测量检测用透过水22的流量的第2检测用透过水侧流量计41C设置在检测用透过水排出管路L₂₂，测量检测用非透过水23的流量的第2检测用非透过水侧流量计41D设置在检测用非透过水排出管路L₂₃。并且，与实施例1同样地，判定装置40只要根据需要设置即可。

另外，第2检测用反渗透膜21B可以为与实施例1的第1检测用反渗透膜21A相同材质的膜，也可以为不同材质的膜。

有机成分的附着或因微生物引起的生物淤积在反渗透膜装置14的反渗透膜的被处理水11的供给侧发生。

因此，通过在从被处理水供给管路L₁分支的被处理水分支管路L₂₁设置具有第2检测用反渗透膜21B的第2附着物检测部24B，能够模拟反渗透膜装置14的膜元件的前端部分中的附着物的附着状态。

利用本实施例的第2附着物检测部24B测量检测用透过水22的透过水流量，并通过第2检测用透过水侧流量计41C检测透过水流量的降低，从而能够检测常备的反渗透膜装置14的反渗透膜中的有机成分的附着或因微生物引起的开始生物淤积的初始阶段。

并且，通过第2检测用透过水侧流量计41C检测来自第2附着物检测部24B的检测用透过水22的透过水流量，在检测到透过水流量的降低的同时在判定装置40中判断为常备的反渗透膜装置14的反渗透膜中有附着物附着。该判断的结果，在控制装置45中，通过清洗液51清洗常备的反渗透膜装置14的反渗透膜，由此能够防止常备的反渗透膜装置14的有机成分的附着或因微生物引起的生物淤积导致的性能降低。

即，如图13所示，在运行脱盐处理装置10B时，利用第2附着物检测部24B，通过第2检测用透过水侧流量计41C测量作为分离水的检测用透过水22的流量的降低，该测量的结果，由判定装置40判断相较于规定阈值测量流量是否发生变化。该判断的结果，判断为附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段。

该判断的结果，由控制装置45发送从有机物用清洗液供给部52D供给有机物用清洗液51D的指令。根据该指令，停止常备的反渗透膜装置14的运行，接着，将有机物用清洗液51D供给至被处理水供给管路L₁并进行清洗。

并且，通过第2检测用非透过水侧流量计41D检测来自第2附着物检测部24B的检测用非透过水23的非透过水流量，在检测到非透过水流量的增加的同时判定装置40能够判断为常备的反渗透膜装置14的反渗透膜中有附着物附着。该判断的结果，在控制装置45中，通过有机物用清洗液51D能够清洗常备的反渗透膜装置14的反渗透膜，由此能够防止常备的反渗透膜装置14的有机成分的附着或因微生物引起的生物淤积导致的性能降低。

对于有机成分引起的附着物、源自微生物的生物淤积，例如能够通过使用在氢氧化钠水溶液中添加表面活性剂而成的有机物用清洗液51D来进行清洗。

也可以与该清洗作业一同将运行条件变更为附着物不附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的条件。另外，这些操作可以同时进行，也可以变更顺序。

1)进行减少杀菌剂(具有氯系杀菌剂(例如氯胺等)及过氧化氢等的具有氧化性能的药剂)的添加量的运行。

2)进行增加有机物用凝聚剂的添加量的运行。

3)以穿过有机物吸附塔(砂过滤器、活性炭吸附塔、加压气浮装置(DAF)、除菌过滤器等)的方式变更流路。

4)进行提高供给至反渗透膜装置14的被处理水11的pH的运行。

5)进行添加有机物用清洗液的运行。

通过变更为不附着这种附着物的运行条件，脱盐装置能够稳定地实施脱盐处理。

图14为表示实施例3所涉及的脱盐处理装置的运行条件变更的一例的示意图。

在图14中，通过第2检测用透过水侧流量计41C检测来自第2附着物检测部24B的检测用透过水22的透过水流量，在检测到透过水流量的降低的同时判定装置40判断为膜中有附着物附着。该判断的结果，在实施清洗的情况下，由有机物用清洗液供给部52D供给有机物用清洗液51D，从而进行清洗。

并且，在本实施方式中，如图14所示，在调整对被处理水11添加的有机物用凝聚剂61的添加量时，由有机物用凝聚剂供给部63对凝聚过滤部62供给有机物用凝聚剂61，并通过供给有机物用凝聚剂61而去除有机物。

并且，在调整对被处理水11添加的杀菌剂64的添加量时，在凝聚过滤部62的下游侧，由杀菌剂供给部65供给杀菌剂64。通过减少杀菌剂64的添加量来减少源自微生物的有机物。

并且，在调整导入于反渗透膜装置14的被处理水11的pH时，由酸或碱供给部68供给酸或碱的pH调整剂67，并通过调整pH来灭绝微生物，该酸或碱的pH调整剂67为供给至凝聚过滤部62的下游侧的pH调整部66的调整剂。并且，通过提高pH来抑制有机物的溶解、附着。

并且，在进一步去除被处理水11中的有机物时，在pH调整部66的下游侧，操作从被处理水供给管路L₁分支流路的切换部71、72，使被处理水11穿过夹装于旁通通路L₃₁的有机物吸附塔73，从而吸附去除被处理水11中的有机物。

并且，将筒式过滤器69设置在反渗透膜装置14的上游侧，进一步过滤被处理水11中的杂质。

在图14中，符号75为pH调整部，通过pH调整剂(酸或碱)67调整原水即被处理水11的pH。

实施例4

图15为实施例4所涉及的脱盐处理装置的示意图。另外，对于与实施例1至实施例3相同的部件，标注相同的符号并省略重复的说明。

在本实施例中，如图15所示，本实施例的脱盐处理装置10D使用来自实施例1的脱盐处理装置10A的反渗透膜装置14的非透过水15，检测该非透过水15中的基于水垢成分的附着物的附着开始时刻及使用供给至实施例3的脱盐处理装置10C的反渗透膜装置14之前的被处理水11，检测该被处理水11中的基于有机成分的附着物或因微生物引起的生物淤积的开始时刻。

在本实施例中，利用本实施例的第1附着物检测部24A，测量检测用透过水22的透过水流量，通过第1检测用透过水侧流量计41A检测透过水流量的降低，由此判断为附着物开始附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段，并且利用第2附着物检测部24B，测量检测用透过水22的透过水流量，通过第2检测用透过水侧流量计41C检测透过水流量的降低，由此判断为常备的反渗透膜装置14的反渗透膜中的基于有机成分的附着物或因微生物引起的开始生物淤积的初始阶段。

并且，根据该判断，通过由控制装置45从清洗液供给部52供给清洗液51，能够抑制附着物附着于常备的反渗透膜装置14及基于有机成分的附着物或因微生物引起的生物淤积导致的性能降低。关于在本实施例中的清洗液51的选定，可以预先选定，如实施例2，也可以分析附着物并每次选定清洗液。

另外，在图15中，作为清洗液51，设为可供给例如与水垢成分对应的第1清洗液51A～第3清洗液51C的任一个及防止有机成分的附着或因微生物引起的生物淤积导致的性能降低的有机用清洗液51D。而且，图14所示的运行控制中，除了有机物用清洗液51D的清洗以外，也可以实施例如添加有机物用凝聚剂61等的其他的运行控制。

其结果，能够对实际附着于常备的反渗透膜装置14的附着物，简单地选定最有效的清洗液51(第1清洗液51A～第3清洗液51C、有机物用清洗液51D的任一个)来实施清洗。因此，通过常备的反渗透膜装置14的有效地清洗而能够缩短清洗时间、减少清洗液的使用量。

而且，也可以与该清洗作业一同将运行条件变更为如上所述的附着物不附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的条件。

实施例5

图16为实施例5所涉及的脱盐处理装置的示意图。另外，对于与实施例1相同的部件，标注相同的符号并省略重复的说明。

在本实施例中，如图16所示，本实施例的脱盐处理装置10E中，将蒸发器81设置在非透过水管路L₁₁，该蒸发器81进一步浓缩来自实施例1的脱盐处理装置10A的反渗透膜装置14的非透过水15。

通过该蒸发器81，能够去除非透过水15中的水分，而且还能够回收非透过水15中所含有的固体。

如实施例1的说明，检测附着物附着于常备的反渗透膜装置14的反渗透膜的初始阶段，并通过实施清洗、变更为附着物不附着的运行条件，能够稳定运行常备的反渗透膜装置14。由此，能够稳定运行进一步浓缩设置于后游的非透过水15的蒸发器81。

在此，作为蒸发器81，例如能够例示出使水分蒸发的蒸发装置、蒸馏装置、结晶装置及废水喷雾干燥装置(Wastewater Spray Dryer)等。

符号说明

10A～10E-脱盐处理装置，11-被处理水，11a-检测液，13-透过水，14-反渗透膜装置，15-非透过水，15a-检测液，L₁₁-非透过水管路，L₁₂-非透过水分支管路，L₂₁-被处理水分支管路，21A-第1检测用反渗透膜，21B-第2检测用反渗透膜，22-检测用透过水，23-检测用非透过水，24A-第1附着物检测部，24B-第2附着物检测部，40-判定装置，41A-第1检测用透过水侧流量计，41B-第1检测用非透过水侧流量计，41C-第2检测用透过水侧流量计，41D-第2检测用非透过水侧流量计，45-控制装置。