一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置的制作方法

文档序号:11059844阅读:946来源:国知局
一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置的制造方法

本发明涉及微电子装配行业的胶接装置及其烘箱内部气体压力的控制装置。



背景技术:

在半导体封装工艺过程中,芯片与引线框架的连接(键合)采用金线、银线或铜线焊接或者胶接连接,连接时一般需要在N2保护的烘箱中进行焊接点或胶接层的固化。其中的N2 (氮气)的流量视烘箱大小进行设定控制,固化温度和固化时间由焊接或胶接的品种和用量确定。对固化工序的要求为充分固化,确保芯片和框架连接强度、减小连接层电阻;防止框架、芯片的表面氧化、胶挥发物沾污,既确保连接强度,提高焊点可靠性,又要防止挥发物沾污劈刀后降低劈刀使用寿命。但是,如何解决好焊接或交接材料挥发物沾污和氧化问题,一直是行业内的一道难题。智能烘箱用于涂层织物浆料涂刮后的固化烘燥,烘箱内部联通大气,非密闭环境,内部设备易于氧化腐蚀,胶接强度较低,不适合电子产品等精密器件的胶接固化使用。



技术实现要素:

根据上述缺陷,本发明的目的在于提供一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置,通过通过五个烘箱分时段对物料进行不同温度的烘干;保证了芯片与引线框架的连接电极的寿命。

本发明的技术方案是通过以下方式实现的:一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置,由烘箱Ⅰ、烘箱Ⅱ、烘箱Ⅲ、烘箱Ⅳ、烘箱Ⅴ、机架、输送带、输送齿轮装置Ⅰ、输送齿轮装置Ⅱ、电机、链带组成;所述的输送带与链带采用不锈钢材料制成,所述的机架中间部分依次固定安装有烘箱Ⅰ、烘箱Ⅱ、烘箱Ⅲ、烘箱Ⅳ与烘箱Ⅴ;电机带动输送齿轮装置Ⅰ旋转,带动输送带输送物料,物料依次进入烘箱Ⅰ、烘箱Ⅱ、烘箱Ⅲ、烘箱Ⅳ、烘箱Ⅴ进行烘烤,由机架右端出料。其特征在于:所述的烘箱Ⅰ的温度设定为650℃,烘箱Ⅱ的温度设定为680℃,烘箱Ⅲ的温度设定为690℃,烘箱Ⅳ的温度设定为700℃,烘箱Ⅴ的温度设定为720℃。

所述的烘箱Ⅰ、烘箱Ⅱ、烘箱Ⅲ、烘箱Ⅳ与烘箱Ⅴ上均安装有低噪音高压风机。

所述的输送带上设有输送网。

本发明,操作方便,使用快捷,节省能耗,大大提高了银浆固化的质量,保证了玻璃银浆电极的寿命。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

由图1知,是本发明的结构示意图,一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置,由烘箱Ⅰ1、烘箱Ⅱ2、烘箱Ⅲ3、烘箱Ⅳ4、烘箱Ⅴ5、机架6、输送带7、输送齿轮装置Ⅰ8、输送齿轮装置Ⅱ9、电机10、链带11组成;所述的机架6左端设有安装台12,输送齿轮装置Ⅰ8固定在安装台12上,输送齿轮装置Ⅰ8通过链带11与机架6下方的电机10连接,机架6右端设有固定台13,固定台13内固定安装有输送齿轮装置Ⅱ9,输送齿轮装置Ⅰ8与输送齿轮装置Ⅱ9通过输送带连接,所述的机架6中间部分依次固定安装有烘箱Ⅰ1、烘箱Ⅱ2、烘箱Ⅲ3、烘箱Ⅳ4与烘箱Ⅴ5;烘箱Ⅰ1、烘箱Ⅱ2、烘箱Ⅲ3、烘箱Ⅳ4与烘箱Ⅴ5上均安装有低噪音高压风机14;烘箱内胆采用优质镀锌板,外壁采用优质成型彩钢板制作,大梁用后成型钢板制作,保温层采用纤维石棉保温;电加热管为耐高温不锈钢无缝钢管。五个烘箱烘烤温度、烘烤时间等参数设定均由控制装置控制设定。输送带7与链带11采用不锈钢材料制成,输送带7上设有输送网;在进行银浆烘干时,电机10带动输送齿轮装置Ⅰ8旋转,带动输送带7输送物料,当物料进入烘箱Ⅰ1时烘箱Ⅰ1温度设定在650℃,当物料进入烘箱Ⅱ2时烘箱Ⅱ2温度设定在680℃,当物料进入烘箱Ⅲ3时烘箱Ⅲ3温度设定在690℃,当物料进入烘箱Ⅳ4时烘箱Ⅳ4温度设定在700℃,当物料进入烘箱Ⅴ5时烘箱Ⅴ5温度设定在720℃,每个烘箱烘烤时间为3分钟。

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