技术总结
大孔径CMUT换能器阵列由多个相邻地设置的CMUT单元平铺件形成。平铺件的相邻边缘通过各向异性蚀刻工艺、优选是深反应离子蚀刻工艺而形成，其能够切穿切片及其衬底，且保持垂直边缘靠近在所述平铺件的边缘处的CMUT单元。这使得在多个CMUT单元平铺件上连续的行或列的CMUT单元能够呈现恒定的节距。所述平铺件还包含沿边缘的互连电极，所述互连电极用于形成所述平铺件与柔性电路的电连接。
技术研发人员：W·苏多尔;P·迪克森;V·A·亨内肯;R·德克尔;M·C·卢韦斯
受保护的技术使用者：皇家飞利浦有限公司
文档号码：201580038683
技术研发日：2015.07.13
技术公布日：2017.05.10