化学铜清洗液过滤循环装置的制作方法

文档序号:11939544阅读:354来源:国知局
化学铜清洗液过滤循环装置的制作方法

本实用新型涉及一种过滤装置,特别是涉及一种化学铜清洗液过滤循环装置,属于过滤处理设备技术领域。



背景技术:

在一般的表面处理制程中,常常需要在目标物件上形成特定镀层,藉以提供具特殊性能的表面,比如用以增加导电特性以传导电力或传送电气信号,或用以表现出金属光泽以加强视觉美观,或用以防蚀、防锈或防止刮伤的保护作用。

针对需要增加导电特性或需要形成导电层的应用,常使用通电的电镀铜制程或不需通电的无电镀铜制程,可在目标物件上成长出特定厚度的金属铜层或合金铜层,尤其是印刷电路板中的导电层,以供后续蚀刻处理而形成所需的电路图案。不论是镀铜制程或无电镀铜制程,都需要在镀槽中灌注具有高浓度铜来源的镀液,藉以利用电力或化学反应将镀液中的铜离子还原成金属铜层或合金铜层,并沉积在浸泡于镀液中的目标物件上。由于镀液中的铜离子会随着制程的进行而逐渐消耗掉,因此需要适当的补充铜来源,比如硫酸铜。

此外,为了避免对后续制程的干扰,比如目标物件上残留镀液的可能污染,因此需要进行清洗处理,以去除残留的镀液。通常是使用去离子水当作清洗液,让目标物件浸泡在清洗液中以实现清洗处理,而清洗后的清洗液中会含有镀液成分,比如铜离子,而且还可能含有其他有用的或污染性的有机物或化学物质,比如有机酸或螯合剂,所以需要适当处理,而不可当作废水直接排放。

在现有技术中,常常是将酸洗、蚀刻或其他制程所产生的不同废水一起混合收集后,再利用复杂且昂贵的废水处理设备以去除废水中所有的有害物质或回收有用的物质,以符合环保法规所规范的排放标准,并产生需最终处置的污泥,比如利用掩埋处理。

然而,现有技术的缺点在于,化学铜清洗液的处理设备循环利用率差,尤其是处理过程中所使用的滤网一般在24小时即会严重结铜,造成设备零部件需要频繁更换,并有品质隐患问题长存。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的在于,克服现有技术中的不足,提供一种化学铜清洗液过滤循环装置,实现化学铜清洗液的循环利用,大幅降低设备零部件的结铜,不仅节省人力物力,而且不用频繁更换、降低品质隐患,装置整体具有结构紧凑、拆装方便、制作容易、安全可靠、实用性强等诸多优点。

为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:

一种化学铜清洗液过滤循环装置,包括化学铜主槽和化学铜副槽,连接于化学铜主槽和化学铜副槽之间并自化学铜主槽流向化学铜副槽的过滤溢流管,以及连接于化学铜副槽和化学铜主槽之间并自化学铜副槽流向化学铜主槽的回抽管网;所述化学铜主槽的槽壁顶部设置有主槽溢流口,所述化学铜副槽的开口顶面架设有尼龙网纱过滤盒,所述过滤溢流管的一端连接于主槽溢流口、过滤溢流管的另一端伸入尼龙网纱过滤盒。

本实用新型进一步设置为:所述尼龙网纱过滤盒包括顶面开口的外滤盒,嵌装入外滤盒中的内滤盒,以及铺设于外滤盒和内滤盒之间的尼龙滤网。

本实用新型进一步设置为:所述尼龙滤网为150目尼龙网纱制成。

本实用新型进一步设置为:所述外滤盒的顶面设置有朝外延伸的边缘。

本实用新型进一步设置为:所述外滤盒的侧壁开设有侧壁栅孔,外滤盒的底面包括栅孔区和药水出口缓冲区,栅孔区开设有底面栅孔,药水出口缓冲区开设有通孔;所述内滤盒的侧壁开设有方形窗,内滤盒的底面开设有沥水栅孔;所述方形窗、侧壁栅孔、底面栅孔、沥水栅孔和通孔的尺寸依次呈递减设置。

本实用新型进一步设置为:所述侧壁栅孔、底面栅孔和沥水栅孔均为长条孔,所述通孔为圆形孔。

本实用新型进一步设置为:所述回抽管网包括自化学铜副槽的底部槽壁引出的抽出管,依次通过单向阀门和回抽泵与抽出管相连的抽入管;所述抽入管的一端与回抽泵相连,抽入管的另一端伸入化学铜主槽的开口顶面。

本实用新型进一步设置为:所述抽入管包括依次相连的主管、分流管和支管,所述主管和分流管垂直设置,所述主管与回抽泵相连,所述支管为若干根,每根支管的一端与分流管相连、每根支管的另一端与化学铜主槽相连。

本实用新型进一步设置为:所述化学铜副槽的槽壁中部设置有副槽溢流口,所述副槽溢流口连接有溢流管。

本实用新型进一步设置为:所述溢流管沿着化学铜副槽的槽壁垂直设置,溢流管的一端连接于副槽溢流口、溢流管的另一端靠近化学铜副槽的槽壁底部为自由端。

与现有技术相比,本实用新型具有的有益效果是:

通过化学铜主槽、化学铜副槽、过滤溢流管和回抽管网的设置,实现化学铜清洗液的循环利用;更重要的是,通过在化学铜副槽的开口顶面架设尼龙网纱过滤盒,过滤溢流管伸入尼龙网纱过滤盒,可大幅降低滤网这一设备零部件的结铜,不仅节省人力物力,而且不用频繁更换、降低品质隐患。

上述内容仅是本实用新型技术方案的概述,为了更清楚的了解本实用新型的技术手段,下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

附图说明

图1为本实用新型化学铜清洗液过滤循环装置的结构示意图;

图2为本实用新型化学铜清洗液过滤循环装置中外滤盒的结构示意图;

图3为本实用新型化学铜清洗液过滤循环装置中内滤盒的结构示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图,对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示的一种化学铜清洗液过滤循环装置,包括化学铜主槽1和化学铜副槽2,连接于化学铜主槽1和化学铜副槽2之间并自化学铜主槽1流向化学铜副槽2的过滤溢流管3,以及连接于化学铜副槽2和化学铜主槽1之间并自化学铜副槽2流向化学铜主槽1的回抽管网4;所述化学铜主槽1的槽壁顶部设置有主槽溢流口11,所述化学铜副槽2的开口顶面架设有尼龙网纱过滤盒5,所述过滤溢流管3的一端连接于主槽溢流口11、过滤溢流管3的另一端伸入尼龙网纱过滤盒5。

其中,主槽溢流口11的数量为若干个,根据具体设计需要,过滤溢流管3和尼龙网纱过滤盒5的组数可进行增减,图1中所示的过滤溢流管3和尼龙网纱过滤盒5为两组。

如图1所示,所述化学铜副槽2的槽壁中部设置有副槽溢流口21,所述副槽溢流口21连接有溢流管6;所述溢流管6沿着化学铜副槽2的槽壁垂直设置,溢流管6的一端连接于副槽溢流口21、溢流管6的另一端靠近化学铜副槽2的槽壁底部为自由端。

如图1所示,所述回抽管网4包括自化学铜副槽2的底部槽壁引出的抽出管41,依次通过单向阀门42和回抽泵43与抽出管41相连的抽入管;所述抽入管的一端与回抽泵43相连,抽入管的另一端伸入化学铜主槽1的开口顶面。其中,所述抽入管包括依次相连的主管44、分流管45和支管46,所述主管44和分流管45垂直设置,所述主管44与回抽泵43相连,所述支管46为若干根,每根支管46的一端与分流管45相连、每根支管46的另一端与化学铜主槽1相连。

如图1、图2和图3所示,所述尼龙网纱过滤盒5包括顶面开口的外滤盒51,嵌装入外滤盒中的内滤盒52,以及铺设于外滤盒51和内滤盒52之间的尼龙滤网(图中未示出);所述尼龙滤网为150目尼龙网纱制成,表面光滑的尼龙网纱,可以保证10天内不会严重结铜,从而改善化学铜滤网表面结铜造成的铜渣堵塞问题。

如图2所示,所述外滤盒51的顶面设置有朝外延伸的边缘510,便于铺设尼龙滤网和拿取。所述外滤盒51的侧壁开设有侧壁栅孔511,外滤盒51的底面包括栅孔区和药水出口缓冲区,栅孔区开设有底面栅孔512,药水出口缓冲区开设有通孔513。

如图3所示,所述内滤盒52的侧壁开设有方形窗521,内滤盒52的底面开设有沥水栅孔522。

如图2和图3所示,所述方形窗521、侧壁栅孔511、底面栅孔512、沥水栅孔522和通孔513的尺寸依次呈递减设置;所述侧壁栅孔511、底面栅孔512和沥水栅孔522均为长条孔,所述通孔513为圆形孔。

本实用新型的创新点在于,采用新型结构的尼龙网纱过滤盒,确保长时间不会结铜,从而节省人力物力,并降低品质隐患。

以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何的简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

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