一种具有二级反应器的反应装置的制作方法

本实用新型涉及反应设备领域，尤其涉及一种具有二级反应器的反应装置。

背景技术：

四氟化碳是目前微电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。四氟化碳合成方法很多，包括氢氟化碳与氟气、氯氟化碳在催化剂存在下与氟化氢以及氟气与碳源直接接触反应制备四氟化碳等。其中，目前成熟工艺采用氢氟化碳、氯氟化碳做碳源制备四氟化碳，原材料价格昂贵，易发生爆炸，且合成产物中有不易去除的杂质；氟碳直接接触反应法制备四氟化碳，该方法经过不断的发展与完善，已能够制备出四氟化碳。

但是，现有的反应器的反应效率低，反应物的利用率低，除尘效果差，不利于四氟化碳的制备。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种具有二级反应器的反应装置，能够克服现有技术中的不足，反应效率高，产物纯度高，除尘效果好。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种具有二级反应器的反应装置，包括依次连接的第一反应器、第一除尘器、第二反应器和第二除尘器；

所述第一反应器包括第一料仓管、预热管和反应管；

所述第一料仓管的底部设有喇叭状的扩容管，所述扩容管由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄；

所述第一料仓管、扩容管和预热管均为竖向设置，所述反应管为横向设置；

所述预热管的上端与所述扩容管下端的开口连接，所述预热管的下端连通于所述反应管；

所述反应管的两端设有第一进气口；

所述第一料仓管设有第一排气管，其连接于所述第一除尘器；

所述第二反应器包括第二料仓管、集气管、加热套管和第三排气管；

所述集气管设于所述第二料仓管的底部；

所述集气管的顶部设有开口且连通至所述第二料仓管的内部；

所述集气管的顶部开口处设有筛板；

所述集气管设有第三进气管，其连接于所述第一除尘器；

所述第三排气管连接于所述第二除尘器；

所述加热套管具有多个，其为中空的，其横向贯穿于所述第二料仓管；

所述加热套管内设置加热管。

进一步，所述第一料仓管的顶部设有第一加料管和放空管；

所述第一加料管的一端和放空管的一端分别连通于所述第一料仓管的顶部；

所述第一加料管的另一端和所述反应管的两端均设有法兰和法兰盖，所述法兰盖安装于所述法兰。

进一步，所述第一反应器还包括冷却箱；

所述反应管设于所述冷却箱内，所述反应管的两端凸出于所述冷却箱的外部。

进一步，所述冷却箱为矩形箱体，其顶部设有开口；

所述冷却箱的其中一侧壁的底部外壁至少设有一个进水管；

所述冷却箱的其中一侧壁的顶部近端处的外壁至少设有一个溢流管；

所述反应管设有至少一个温度计套管；

所述温度计套管的下端封闭且位于所述反应管内；

所述温度计套管内设有温度检测器。

进一步，所述第一除尘器包括除尘管和隔板；

所述隔板包括上隔板和下隔板，所述上隔板和下隔板的数量均至少为一；

所述上隔板和下隔板等间距地焊接于所述除尘管内；

相邻的所述上隔板和下隔板形成除尘气路；

所述除尘管的外壁设有连通于所述除尘管内部的第二进气管和第二排气管，所述第一排气管与所述第二进气管连接。

进一步，所述除尘管的两端均设有法兰盖和法兰，所述法兰盖安装于所述法兰以密封所述除尘管；

所述上隔板的顶部与所述除尘管顶端的所述法兰盖的下表面贴合，所述下隔板的底部与所述除尘管底端的所述法兰盖的上表面贴合；

所述第一除尘器还包括挡板；

所述挡板固定于所述法兰盖，并且分别位于所述上隔板或下隔板的焊接处的两侧；

所述除尘管的底端设有喇叭状的密封管；

所述除尘管的底端的所述法兰盖设有连通于所述除尘管内部的第一排污管，所述第一排污管设有阀门。

进一步，所述第二料仓管的顶部设有第二加料管，所述第二加料管的一端连通于所述第二料仓管的内部，其另一端设有法兰和法兰盖，所述法兰盖安装于所述法兰；

所述第三排气管设于所述第二加料管的外壁；

所述第二反应器还包括温度检测器，其设于所述第二料仓管。

进一步，所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；

所述第四进气管连通至所述第三排气管；

所述第四进气管竖向设置，其底部位于所述集尘管内，其顶部贯穿于所述集尘管的顶部；

所述第四进气管的底部设有气体分布器，位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板；

所述第二排污管设于所述集尘管的底部；

所述集尘管设有第四排气管，其位于所述气体扰流板的上方。

进一步，所述气体分布器为喇叭状；

所述气体分布器由其上端的开口向其下端的开口逐渐向外扩张；

所述气体分布器在其上端开口处固定于所述第四进气管的底部；所述气体分布器上排列满气孔。

进一步，所述气体扰流板为喇叭状；

所述气体扰流板由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄，其上端的开口的边沿固定于所述集尘管的内壁；

所述第二排污管向外倾斜；

所述第二排污管一侧的顶部与所述集尘管的底部平面形成的角度A为钝角；

所述第二排污管另一侧的顶部与所述集尘管的底部平面形成的角度B为锐角；

所述第二排污管的底部设有排污口；

所述第四排气管设于所述集尘管靠近于顶部的外壁；

所述集尘管内设有半圆形挡板，其位于所述第四进气管内靠近于所述第四排气管的那一侧，且位于所述第四排气管的下方；

所述半圆形挡板为向下倾斜设置。

本实用新型根据上述内容，提出一种具有二级反应器的反应装置，其反应效率高，除尘效果好。

所述第一反应器用于氟气和碳反应生成四氟化碳，碳放置在所述第一料仓管、预热管和反应管内，所述第一进气口设于反应管的两端，一方面能够增加单位时间内氟气通入至所述反应管的量，使更多的氟气与碳充分接触，增加反应的效率；氟气与碳发生化学反应时放出热量，由于所述预热管的下端连通于所述反应管，大量的热量会由反应产物四氟化碳传递至所述预热管内的碳，对这些碳进行预热，保持反应温度稳定，使后续碳和氟气的反应效率更高。

随着反应的进行，所述反应管的碳逐渐被消耗，由于所述第一料仓管、扩容管和预热管均为竖向设置，在重力的作用下，所述预热管内的碳将会下落至所述反应管以保证反应的持续进行，提高其工作的稳定性和持续性；同样地，所述第一料仓管内的碳会下落至所述预热管内保证待反应的碳得到预热，为后续的反应做好准备。

喇叭状的所述扩容管具有扩大所述第一料仓管容积的作用，由于所述扩容管由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄，所以连接于所述扩容管上端开口的第一料仓管的横截面积会大于连接于所述扩容管下端开口的预热管的横截面积，假设所述第一料仓管和预热管在相同的长度下，所述第一料仓管的容积会大大增加，从而减少碳的加入次数，提高所述第一反应器工作的持续性。

氟气与碳进行反应时生成四氟化碳气体，但是，往往氟气的利用率不能达到百分之百，且会混有不完全反应的碳粉，变成主要含有四氟化碳、碳粉和氟气的混合气体，混合气体会从所述第一排气管排向所述第一除尘器进行除尘处理，进行初级除尘后，混合气体中碳粉的含量降低，四氟化碳气体的纯度提高，并且初级除尘后的混合气体通过所述第三进气管进入所述集气管，所述筛板是为了让混合气体中的碳粉落入所述集气管内，用以防止堵塞；氟气和四氟化碳气体则通过筛板进入至所述第二料仓管，由于所述集气管设于所述第二料仓管的底部，后续清理碳粉时会更加方便快捷。

由于所述加热套管为中空的，方便所述加热管放入至所述加热套管的内部；由于所述加热套管具有多个，其横向贯穿于所述第二料仓管，能够有效地把更多的碳承载在所述第二料仓管内；加热管加热，使被所述加热套管支撑起的碳的温度升高，当氟气与温度升高的碳接触反应时，反应的效率会更高，能够更快地生成四氟化碳气体，然后从所述第三排气管排出至所述第二除尘器进行二级除尘，最终氟气的利用率达到百分之百，碳粉的含量也降到最低，大大提升四氟化碳气体的纯度。

附图说明

图1是本实用新型其中一个实施例的第一反应器的正面的局部剖面图。

图2是本实用新型其中一个实施例的第一反应器的侧面的局部剖面图。

图3是本实用新型其中一个实施例的第一除尘器的正面的局部剖面图。

图4是图3的C处的局部放大图。

图5是本实用新型其中一个实施例的第二反应器的正面结构示意图。

图6是本实用新型其中一个实施例的集气管的剖面结构示意图。

图7是本实用新型其中一个实施例的第二除尘器的透视图。

其中：第一反应器2、第一料仓管21、扩容管211、第一排气管212、第一加料管213、放空管214、支撑座215、预热管22、反应管23、第一进气口231、温度计套管232、法兰261、法兰盖262、冷却箱24、进水管241、溢流管242、第一除尘器25、除尘管251、密封管2511、隔板252、上隔板2521、下隔板2522、除尘气路253、第二进气管254、第二排气管255、挡板256、第一排污管257、第二反应器3、第二料仓管31、第三排气管311、第二加料管312、第二支撑脚313、集气管32、筛板321、第三进气管322、支撑柱323、加热套管33、温度检测器34、第二除尘器35、集尘管351、第四排气管3511、半圆形挡板3512、第二排污管352、排污口3521、第一支撑脚3522、第四进气管353、气体分布器354、气孔3541、气体扰流板355。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1至图7所示，一种具有二级反应器的反应装置，包括依次连接的第一反应器2、第一除尘器25、第二反应器3和第二除尘器35；

所述第一反应器2包括第一料仓管21、预热管22和反应管23；

所述第一料仓管21的底部设有喇叭状的扩容管211，所述扩容管211由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄；

所述第一料仓管21、扩容管211和预热管22均为竖向设置，所述反应管23为横向设置；

所述预热管22的上端与所述扩容管211下端的开口连接，所述预热管22的下端连通于所述反应管23；

所述反应管23的两端设有第一进气口231；

所述第一料仓管21设有第一排气管212，其连接于所述第一除尘器25；

所述第二反应器3包括第二料仓管31、集气管32、加热套管33和第三排气管311；

所述集气管32设于所述第二料仓管31的底部；

所述集气管32的顶部设有开口且连通至所述第二料仓管31的内部；

所述集气管32的顶部开口处设有筛板321；

所述集气管32设有第三进气管322，其连接于所述第一除尘器25；

所述第三排气管311连接于所述第二除尘器35；

所述加热套管33具有多个，其为中空的，其横向贯穿于所述第二料仓管31；

所述加热套管33内设置加热管。

本实施例的所述第一反应器2用于氟气和碳反应生成四氟化碳，碳放置在所述第一料仓管21、预热管22和反应管23内，所述第一进气口231设于反应管23的两端，一方面能够增加单位时间内氟气通入至所述反应管23的量，使更多的氟气与碳充分接触，增加反应的效率；氟气与碳发生化学反应时放出热量，由于所述预热管22的下端连通于所述反应管23，大量的热量会由反应产物四氟化碳传递至所述预热管22内的碳，对这些碳进行预热，保持反应温度稳定，使后续碳和氟气的反应效率更高。

随着反应的进行，所述反应管23的碳逐渐被消耗，由于所述第一料仓管21、扩容管211和预热管22均为竖向设置，在重力的作用下，所述预热管22内的碳将会下落至所述反应管23以保证反应的持续进行，提高其工作的稳定性和持续性；同样地，所述第一料仓管21内的碳会下落至所述预热管22内保证待反应的碳得到预热，为后续的反应做好准备。

喇叭状的所述扩容管211具有扩大所述第一料仓管21容积的作用，由于所述扩容管211由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄，所以连接于所述扩容管211上端开口的第一料仓管21的横截面积会大于连接于所述扩容管211下端开口的预热管22的横截面积，假设所述第一料仓管21和预热管22在相同的长度下，所述第一料仓管21的容积会大大增加，从而减少碳的加入次数，提高所述第一反应器2工作的持续性。

氟气与碳进行反应时生成四氟化碳气体，但是，往往氟气的利用率不能达到百分之百，且会混有不完全反应的碳粉，反应后的气体变成主要含有四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、一氧化碳、二氧化碳、碳粉、氟气、氟化氢的混合气体，混合气体会从所述第一排气管212排向所述第一除尘器25进行除尘处理，进行初级除尘后，混合气体中碳粉的含量降低，四氟化碳气体的纯度提高，并且初级除尘后的混合气体通过所述第三进气管322进入所述集气管32，氟气和四氟化碳气体通过筛板321进入至所述第二料仓管31，由于所述集气管32设于所述第二料仓管31的底部，后续清理碳粉时会更加方便快捷。

由于所述加热套管33为中空的，方便所述加热管放入至所述加热套管33的内部；由于所述加热套管33具有多个，其横向贯穿于所述第二料仓管31，能够有效地把更多的碳承载在所述第二料仓管31内；加热管加热，使被所述加热套管33支撑起的碳的温度升高，当氟气与达到温度的碳接触反应时，反应的效率会更高，能够更快地生成四氟化碳气体，然后从所述第三排气管311排出至所述第二除尘器35进行二级除尘，最终氟气的利用率达到百分之百，碳粉的含量也降到最低，大大提升四氟化碳气体的纯度，减少了堵塞后续管道、设备的发生。

进一步，所述第一料仓管21的顶部设有第一加料管213和放空管214；

所述第一加料管213的一端和放空管214的一端分别连通于所述第一料仓管21的顶部；

所述第一加料管213的另一端和所述反应管23的两端均设有法兰261和法兰盖262，所述法兰盖262安装于所述法兰261。

所述第一反应器2内的碳经过反应消耗后，从设于所述第一料仓管21顶部的第一加料管213加入碳，操作更加简单方便直接，因为所述第一加料管213的一端和放空管214的一端分别连通于所述第一料仓管21的顶部，所以碳会在重力的作用下下落至第一料仓管21、扩容管211、预热管22和反应管23，以保证反应的持续进行；因为所述第一加料管213的另一端所述反应管23的两端均设有法兰261和法兰盖262，所述法兰盖262安装于所述法兰261，所以在加料时只需拆卸所述法兰盖262，便能对所述第一反应器2进行加料操作。

所述放空管214的另一端连通至废气处理塔，操作时只需打开放空阀门就可以进行气体的放空。

进一步，所述反应管23的两端分别设有法兰261和法兰盖262，所述法兰盖262安装于所述法兰261以密封所述反应管23；

所述第一进气口231设于所述法兰盖262。

通过安装所述法兰261于所述法兰盖262，能够有效的密封所述反应管23，避免气体泄漏，如反应物氟气的泄漏和生成物四氟化碳气体的泄漏；通过拆卸所述法兰盖262，能够快速地清理所述反应管23内的反应留下的废渣，操作简单方便；所述第一进气口231设于所述法兰盖262，保证氟气有效地通入至所述反应管。

进一步，所述第一排气管212横向设于所述第一料仓管21顶部近端处的径向位置。

所述第一排气管212横向设于所述第一料仓管21顶部近端处的外壁，能够使混合气体上升的路程增加，有利于碳粉的在重力的作用下沉降，提高四氟化碳气体的纯度。

进一步，所述第一反应器2还包括冷却箱24；

所述反应管23设于所述冷却箱24内，所述反应管23的两端凸出于所述冷却箱24的外部。

氟气和碳反应时会放出大量的热，所述冷却箱24内装有冷却水，以降低所述反应管23的温度，从而增加其使用寿命。所述反应管23的两端凸出于所述冷却箱24的外部，方便安装在其两端的法兰盖262的拆装，避免冷却水进入到所述反应管23内。

进一步，所述冷却箱24为矩形箱体，其顶部设有开口；

所述冷却箱24的其中一侧壁的底部外壁至少设有一个进水管241；

所述冷却箱24的其中一侧壁的顶部近端处的外壁至少设有一个溢流管242；

所述反应管23设有至少一个温度计套管232；

所述温度计套管232的下端封闭且位于所述反应管23内；

所述温度计套管232内设有温度检测器34。

矩形的箱体容易生产，能够装载的冷却水亦更多，其顶部设有的开口起到观察和检查所述第一反应器2使用状况的作用。如图2所示，本实施例的所述进水管241的数量为一，所述溢流管242的数量为二，所述进水管241和溢流管242均设于所述冷却箱24的侧壁，更方便其安装；所述冷却箱24的其中一侧壁的底部外壁，当冷却水进入所述进水管241的进水口时，冷却水通入至所述冷却箱24时会更加缓慢稳定；所述溢流管242设于所述冷却箱24的其中一侧壁的顶部近端处的外壁，保证所述冷却箱24内的冷却水足够多以有效地冷却所述反应管23，避免冷却水过多溢出。

如图1所示，本实施例的所述温度计套管232的数量为二，且对称设于所述预热管22两侧的所述反应管23上，能够提高所述温度检测器34对反应管23内的温度检测的精准度，所述温度计套管232的下端封闭，既能密封所述反应管23也能保护所述温度检测器34。

进一步，如图3所示，所述第一除尘器25包括除尘管251和隔板252；

所述隔板252包括上隔板2521和下隔板2522，所述上隔板2521和下隔板2522的数量均至少为一；

所述上隔板2521和下隔板2522等间距地焊接于所述除尘管251内；

相邻的所述上隔板2521和下隔板2522形成除尘气路253；

所述除尘管251的外侧设有连通于所述除尘管251内部的第二进气管254和第二排气管255，所述第一排气管212与所述第二进气管254连接。

混合气体经过所述第二进气管254进入至所述除尘管251的除尘气路253时，在所述上隔板2521和下隔板2522的阻隔作用和重力的作用下，碳粉会沉降至所述除尘管251的底部，便于后续的清理，以提高四氟化碳气体的纯度，最终被进一步纯化的四氟化碳气体从所述第二排气管255排出至所述第三进气管322。

本实施例的所述上隔板2521的数量为二，所述下隔板2522的数量为一，通过焊接，使得所述上隔板2521和下隔板2522更加稳固地设于所述除尘管251内。

进一步，所述除尘管251的两端均设有法兰盖262和法兰261，所述法兰盖262安装于所述法兰261以密封所述除尘管251；

所述上隔板2521的顶部与所述除尘管251顶端的所述法兰盖262的下表面贴合，所述下隔板2522的底部与所述除尘管251底端的所述法兰盖262的上表面贴合；

所述第一除尘器25还包括挡板256；

所述挡板256固定于所述法兰盖262，并且分别位于所述上隔板2521或下隔板2522的焊接处的两侧；

所述除尘管251的底端设有喇叭状的密封管2511；

所述除尘管251的底端的所述法兰盖262设有连通于所述除尘管251内部的第一排污管257，所述第一排污管257设有阀门。

如图3和图4所示，通过拆装所述法兰盖262能够快速地清理所述除尘管251，所述上隔板2521的顶部与所述除尘管251顶端的所述法兰盖262的下表面贴合，所述下隔板2522的底部与所述除尘管251底端的所述法兰盖262的上表面贴合，尽量使混合气体沿着所述除尘气路253运动，而不是直接从所述法兰盖262与上隔板2521和下隔板2522的贴合处直接穿过，提高除碳粉的质量和四氟化碳气体的纯度。

所述挡板256能够阻挡混混合气体直接从所述法兰盖262与上隔板2521和下隔板2522的贴合处直接穿过，进一步提高除碳粉的质量和四氟化碳气体的纯度。

所述除尘管251底端的所述法兰盖262需定期拆下排放固态碳粉，但所述除尘管251底端的直径越大，越难密封，所以所述密封管2511设置为由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄的喇叭状的管，提高其密封程度。

本实施例的氟气是通过电解法生产的，所以氟气中会混杂有氟化氢气体，当其温度下降后会变成酸液，为了清理碳粉时的安全，先打开所述第一排污管257上的阀门，排清酸液，再拆卸法兰盖262粉尘。

进一步，所述第一料仓管21还包括有至少两个支撑座215；

所述支撑座215沿所述第一料仓管21的外壁圆周等间距地设置。

本实施例的所述支撑座215的数量为二，其沿所述第一料仓管21的外壁圆周等间距地设置，能够更好地支撑所述第一料仓管21，使所述第一料仓管21被支撑时的受力更加均匀。

进一步，所述第二料仓管31的顶部设有第二加料管312，所述第二加料管312的一端连通于所述第二料仓管31的内部，其另一端设有法兰261和法兰盖262，所述法兰盖262安装于所述法兰261；

所述第三排气管311设于所述第二加料管312外侧；

如图5所示，所述第二反应器3还包括温度检测器34，其设于所述第二料仓管31。

所述第二反应器3内的碳经过反应消耗后，从设于所述第二料仓管31顶部的第二加料管312加入碳，操作更加简单方便直接，所述第二加料管312的一端连通于所述第二料仓管31的内部，所以碳会在重力的作用下下落至所述第二料仓管31内，在加料时只需拆卸所述法兰盖262，便能对所述第二反应器3进行加料操作。

所述加热套管33附近的碳与氟气的反应效率更高，所述温度检测器34能够有效地检测所述第二料仓管31内靠近于所述加热套管33处的温度，从而更好地把控所述加热管的加热温度，以保证碳和氟气持续处于最佳的反应温度。

进一步，如图5所示，所述集气管32的底部设有法兰盖262和法兰261；

所述法兰盖262安装于所述法兰261以密封所述集气管32。

通过安装所述法兰盖262，更够能够有效的密封所述集气管32，避免气体泄漏；通过拆卸所述法兰盖262，能够快速地清理所述集气管32内的反应留下的粉尘。

进一步，如图6所示，所述集气管32内设有支撑柱323；

所述支撑柱323的两端分别抵住所述筛板321的底部和所述法兰盖262的顶部。

所述支撑柱323对所述筛板321具有支撑作用，能够有效地支撑所述筛板321，保证其工作的稳定性，使其能够稳定地过滤碳粉。

进一步，所述加热套管33设于所述第二料仓管31底部的近端处。

能够使尽量多的碳被所述加热套管33支撑起，一方面减少后续加碳的次数，另一方面也能够使氟气与更多的碳接触，提高其反应的效率。

所述第二反应器3还包括温度检测器34，其设于所述第二料仓管31，并靠近于所述加热套管33。

所述加热套管33附近的碳与氟气的反应效率更高，所述温度检测器34能够有效地检测所述第二料仓管31的反应温度，从而更好地把控所述加热管的加热温度，以保证碳和氟气持续处于最佳的反应温度。

进一步，所述第二除尘器35包括集尘管351、第二排污管352和第四进气管353；

所述第四进气管353连通至所述第三排气管311；

所述第四进气管353竖向设置，其底部位于所述集尘管351内，其顶部贯穿于所述集尘管351的顶部；

所述第四进气管353的底部设有气体分布器354，位于所述气体分布器354的上方设有气体扰流板355；

所述第二排污管352设于所述集尘管351的底部；

所述集尘管351设有第四排气管3511，其位于所述气体扰流板355的上方。

所述第二料仓管31内的碳和氟气反应生成的四氟化碳气体中会混杂一些反应不充分的碳粉，当混杂有碳粉的四氟化碳气体经过第三排气管311进入至所述第四进气管353后从所述第四进气管353的底部排出，所述第四进气管353竖向设置，使其安装更加方便，所述第四进气管353的顶部贯穿于所述集尘管351的顶部，使其与所述第三排气管311的连接更加方便。

所述气体分布器354能够将混杂有碳粉的四氟化碳气体均匀分布，在所述气体扰流板355的作用下，混杂有碳粉的四氟化碳气体会在所述集尘管351内停留更长的时间，更加利于碳粉的沉降于所述第二排污管352中，所述第四排气管3511位于所述气体扰流板355的上方，使最终从其中排出的四氟化碳气体的纯度更加高，混杂更加少的碳粉。

进一步，所述气体分布器354为喇叭状；

所述气体分布器354由其上端的开口向其下端的开口逐渐向外扩张；

所述气体分布器354在其上端开口处固定于所述第四进气管353的底部；所述气体分布器354上排列满气孔3541。

由于所述气体分布器354的上端开口较小，所以能够与孔径较小的第四进气管353匹配固定，喇叭状的所述气体分布器354由其上端的开口向其下端的开口逐渐向外扩张，使得混合气体的分布更加均匀，更加利于碳粉的沉降。所述气孔3541进一步地使混合气体的分布更加均匀，更加利于碳粉的沉降。

进一步，所述气体扰流板355为喇叭状；

所述气体扰流板355由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄，其上端的开口的边沿固定于所述集尘管351的内壁；

所述第二排污管352向外倾斜；

所述第二排污管352一侧的顶部与所述集尘管351的底部平面形成的角度A为钝角；

所述第二排污管352另一侧的顶部与所述集尘管351的底部平面形成的角度B为锐角；

所述第二排污管352的底部设有排污口3521；

所述第四排气管3511设于所述集尘管351靠近于顶部的外壁；

所述集尘管351内设有半圆形挡板3512，其位于所述第四进气管353内靠近于所述第四排气管3511的那一侧，且位于所述第四排气管3511的下方；

所述半圆形挡板3512为向下倾斜设置。

所述气体扰流板355上端的开口的边沿固定于所述集尘管351的内壁，所以混杂有碳粉的四氟化碳气体能够有效地被所述气体扰流板355朝向所述集尘管351底部的外壁阻挡，使混合气体有更加多的时间停留在所述集尘管351内，有利于碳粉的沉降；所述气体扰流板355由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄，即使碳粉从所述气体扰流板355的上方沉降，也不会堆积在所述气体扰流板355上，也会顺着所述气体扰流板355上端的开口下落至其下端的开口，最终落入所述第二排污管352内。

如图7所示，本实施例的所述角度A为120°，角度B为30°，更加方便安全地清理所述第二排污管352内的碳粉，本实施例的所述排污口3521设有法兰盖262和法兰261，通过拆卸法兰盖262的方式，碳粉最终从所述排污口3521排出。

所述第四排气管3511设于所述集尘管351靠近于顶部的外壁，使混合气体有更多的时间停留在所述集尘管351内，有利于碳粉的沉降；所述集尘管351内设有半圆形挡板3512，其能够阻隔混合气体的上升，把混合气体赶往远离所述第四排气管3511出口处，进一步地让混合气体有更多的时间停留在所述集尘管351内，更利于有利于碳粉的沉降，所述半圆形挡板3512为向下倾斜设置，碳粉不容易堆积在其上，会顺势下落。

所述第二排污管352的外壁竖向设有三条第一支撑脚3522，能够支撑起所述第二排污管352，方便其安装。所述第二料仓管31的外壁至少竖向设置有三条第二支撑脚313，能够支撑起所述第二料仓管31，方便其安装。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。