一种改良的氢氮混合机的制作方法

文档序号:11030058阅读:1085来源:国知局
一种改良的氢氮混合机的制造方法与工艺

本实用新型涉及气体混合设备技术领域,具体涉及一种改良的氢氮混合机。



背景技术:

氢氮混合机是将氮气和氢气在一定压力下将两种气体混合,其氢、氮气比例为6:94,作为集成电路焊线工序的保护气体,通过氧化还原反应,氧气跟氢气反应生成水,起到隔绝氧气的作用,以防止焊点、线氧化来保护集成电路芯片。

氢氮混合机在使用过程中,氢气压力是0.5Mpa,氮气的压力是0.4Mpa,通过压力差将氢气加入氮气中,当终端用气不稳定时会出现氢氮比例波动的现象,若氢气浓度太高时,会出现燃烧爆炸现象,危及设备、人生安全。



技术实现要素:

为解决现有技术中存在的上述技术问题,本实用新型公开了具有更高安全性能的改良的氢氮混合机。

本实用新型通过以下技术方案来实现:

一种改良的氢氮混合机,包括混合罐,所述混合罐上连通设置有氮气进气管路、氢气进气管路以及混合气出气管路,所述混合气出气管路端部设置有混合气出口,在所述氮气进气管路与所述混合气出气管路之间连通有氮气调节管路,在所述氮气调节管路上设置有第一控制阀门,在所述混合气出气管路上设置有第二控制阀门,还包括控制系统,所述控制系统与所述混合气出气管路、第一控制阀门、第二控制阀门相连,并对所述第一控制阀门与所述第二控制阀门进行控制。

进一步地,还包括氮气传感器与氢气光纤传感器,所述氮气传感器与所述氢气光纤传感器与所述控制系统相连。

进一步地,在所述混合罐与所述第二控制阀之间的混合气出气管路上,还设置有不合格气放气管路,所述不合格气放气管路端部设置放空口。

进一步地,所述不合格气放气管路上设置有第三控制阀门,所述第三控制阀门与所述控制系统相连。

进一步地,还包括压缩空气管路,所述压缩空气管路与第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀连通以为其提供气压驱动力,并通过控制系统对第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀进行通断控制。

进一步地,在所述氮气进气管路与所述氢气进气管路上,均设置有截止阀。

进一步地,在所述控制系统与所述混合气出气管路相连通的控制管路上,设置有氢气分析仪。

进一步地,在所述氢气进气管路上,设置有质量流量控制器,所述质量流量控制器与所述控制系统相连。

本实用新型所公开的改良的氢氮混合机与现有技术相比,采用闭环控制系统后,无需人为控制,氢氮混合机会自动调节氢气含量的比例,以氢气设定值为标准,小范围波动,当终端用气量变化很大时,控制系统自动调节来不急时,会出现氢气浓度很高,此时改造后的保护系统开始工作,将保护氮气充满整个管道,阻止了燃烧爆炸现象的发生,确保整个装置的运行安全,实际效果良好。

附图说明

图1为本实用新型公开的改良的氢氮混合机结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图及实施例对本实用新型及其效果作进一步阐述。

如图1所示,本实用新型公开了一种改良的氢氮混合机,包括混合罐100,所述混合罐100上连通设置有氮气进气管路200、氢气进气管路300以及混合气出气管路400,氮气进气管路200一端为氮气进口201,与氮气气源连通,另一端与混合罐100连通,在氮气进气管路上从氮气进口201至混合罐100方向依次设置有减压阀202、外螺纹截止阀203、压力表205以及质量流量计204。氢气进气管路300一端为氢气进口301,与氢气气源连通,另一端与混合罐100连通,在氢气进气管路300从氢气进口301至混合罐100方向依次设置有压力表302,外螺纹截止阀303、质量流量控制器304、外螺纹截止阀305和玻璃转子流量计307,同时,还与外螺纹截止阀303、质量流量控制器304以及外螺纹截止阀305并联设置有外螺纹截止阀306。

所述混合气出气管路400一端与混合罐100连通,另一端设置有混合气出口403,在混合气出气管路400上,沿混合罐100至混合气出口403方向,依次设置有外螺纹截止阀401、第二控制阀402,在本例中,第二控制阀402为角式气动阀,在所述第二控制阀402上,还设置有压力表404。

在所述混合罐100与所述第二控制阀402之间的混合气出气管路400上,还设置有不合格气放气管路500,所述不合格气放气管路500端部设置放空口503。在所述不合格气放弃管路500沿远离混合罐100的方向,设置有外螺纹截止阀501以及第三控制阀502,在本例中,第三控制阀502为角式气动阀,在所述第三控制阀502上,设置有压力表504。

在所述氮气进气管路200与所述混合气出口403之间连通有氮气调节管路600,沿氮气进气管路200至混合气出口403方向的氮气调节管路600上,依次设置有外螺纹截止阀603以及第一控制阀门601,第一控制阀门601为角式气动阀,在第一控制阀门601上还设置有压力表602。

还包括控制系统900,控制系统900通过管路800与混合气出气管路400连通,在管路800上,沿混合罐100至控制系统900方向依次设置有球阀801、减压阀802以及氢气分析仪803,同时,控制系统900还与第一控制阀门601、第二控制阀门402、第三控制阀门502、质量流量控制器304依次进行连接,并通过控制系统900对第一控制阀门601、第二控制阀门402、第三控制阀门502、质量流量控制器304进行控制。同时,还包括氮气传感器901与氢气光纤传感器902,所述氮气传感器901与所述氢气光纤传感器902与所述控制系统900相连。

在本实施例中,还包括压缩空气管路700,所述压缩空气管路分别通过压力表602、404、504,并与第一控制阀601、第二控制阀402以及第三控制阀502连通以为其提供气压驱动力,在压缩空气管路700上,设置有球阀702、减压阀703。压缩空气管路700其目的是为气动阀即第一控制阀601、第二控制阀402以及第三控制阀502等提供气压驱动力。

当系统检测混合气出口管道中的氢、氮气比例超出设定值时,控制系统900将会发出负反馈指令,控制开大或关小第一控制阀602,以动态维持氢、氮气比例在设定值的允许波动范围内。

特殊情况下,当系统检测混合气出口管道中氢气含量超标时,控制系统900将会发出指令,控制关闭第二控制阀402停止向输出混合气出口输出混合气,开启第三控制阀502使混合罐100的混合气经不合格气放空口503释放,同时打开第一控制阀601,使送气管道整个冲满氮气,阻止管道燃烧,保证设备及人员的安全。

最后应说明的是,以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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