封闭式温度调节装置的制作方法

本实用新型涉及半导体测试设备技术领域，具体涉及一种封闭式温度调节装置。

背景技术：

高低温气流温度冲击系统(THERMO JET)的工作原理是先设定目标温度，机台内部温控设备将压缩气体温度调节到目标温度后，再由机台的封闭式温度调节装置对待测样品(比如待测集成电路)进行温度调节。

如图1所示，传统的封闭式温度调节装置包括加温风罩101、管状喷头102和气密圈103，所述加温风罩101为一端开口的圆柱形壳体，所述壳体上开设有一连接孔104，所述连接管102的一端与所述连接孔104连通，所述连接管102的另一端靠近所述开口，所述气密圈103设置于所述加温风罩101的开口处。

加温时，将所述封闭式温度调节装置压于待测样品上，保证其气密性。然后，机台内达到预设温度的压缩气体通过管道从所述连接孔104进入所述管状喷头102，再由管状喷头102将压缩气体喷射于待测样品上，就能在短时间内让待测样品达到预设温度。

然而，在实际使用中发现，待测样品距离管状喷头102较近的位置能够更快达到预设温度，但是其距离管状喷头102较远的位置需要较长时间才能达到预设温度，这就使得待测样品的整体温度要达到并稳定于预设温度，需要时间过长，导致测试效率不高；并且由于加温或者降温点只有管状喷头102处，导致待测样品的温度均一性较差，影响了测试结果的可靠性。

技术实现要素：

为解决传统封闭式温度调节装置使待测样品达到预设温度的时间过长，待测样品的温度均一性不高的问题，本实用新型提供了一种封闭式温度调节装置。

本实用新型提供了一种封闭式温度调节装置，其包括加温风罩以及连接管，所述加温风罩为一端开口的壳体，所述壳体上开设有一连接孔，所述连接管的一端与所述连接孔连通，所述连接管的另一端靠近所述开口，其还包括一具有多个喷气孔的盘状喷头，所述盘状喷头设置于所述加温风罩内并与所述连接管的另一端连通。

可选的，所述盘状喷头为圆盘状结构。

可选的，所述封闭式温度调节装置还包括一连接件，所述盘状喷头通过所述连接件与所述连接管的另一端连通。进一步，所述盘状喷头与所述连接件是一体成型的，所述连接件套设于所述连接管上，所述连接件与所述连接管通过内锁螺丝固定。

可选的，所述盘状喷头上的多个喷气孔呈同心圆状分布。

可选的，所述盘状喷头上的多个喷气孔是均匀分布的。

可选的，所述盘状喷头包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域，所述中心区域上的喷气孔的分布密度小于所述外围区域上的喷气孔的分布密度。

可选的，所述盘状喷头包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域，所述中心区域上的喷气孔的直径小于所述外围区域上的喷气孔的直径。

可选的，所述壳体为圆柱形壳体。

可选的，所述连接管为直管。

可选的，所述封闭式温度调节装置还包括一密封圈，设置于所述加温风罩的开口处。

采用本发明提供的封闭式温度调节装置，由于其包括一盘状喷头，机台内部温控设备将压缩气体温度调节到目标温度后，通过管道进入所述连接孔，再进入所述连接管，最后进入所述盘状喷头，由盘状喷头的喷气孔喷出。由于喷气孔为多个，即待测样品的加温或者降温源为多个，则待测样品受热更加均匀，整体达到一稳定温度也更快。

附图说明

图1是传统的封闭式温度调节装置的示意图；

图2是本实用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的示意图；

图3是本实用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的盘状喷头与连接件的侧视示意图；

图4是本实用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的连接部分的示意图。

图5是本使用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的盘状喷头的仰视示意图；

其中，附图1-附图5的标记说明如下：

101、201-加温风罩；102-管状喷头；202-连接管；103、203-气密圈；104、204-连接孔；205-盘状喷头；206-连接件；207-固定孔；208-喷气孔。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的封闭式温度调节装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

图2是本实用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的示意图。如图2所示，本实施例提供了一种封闭式温度调节装置，其包括加温风罩201以及连接管202，所述加温风罩201为一端开口的壳体，所述壳体上开设有一连接孔204，所述连接管202的一端与所述连接孔204连通，所述连接管202的另一端靠近所述开口，其还包括一具有多个喷气孔208(如图5所示)的盘状喷头205，所述盘状喷头205设置于所述加温风罩201内并与所述连接管202的另一端连通。

本实施例所述加温风罩201为圆柱形壳体，优选采用耐高温玻璃制成，其内径例如为9cm～13cm；所述连接管202为直管，优选采用耐高温金属制成，其内径例如为0.5cm～2cm。所述封闭式温度调节装置还包括一气密圈 203，设置于所述加温风罩201的开口处，所述气密圈203优选采用耐高温橡胶，其内径与所述加温风罩201相同。当然在实际应用中，所述加温风罩201、连接管202、气密圈203的材质还可有其它选择，其尺寸也可根据设计进行调整。

本实施例所述连接孔204位于所述加温风罩201的圆形面的中心，当然在实际应用中，其位置也可进行调整。所述盘状喷头205优选为圆盘状，所述封闭式温度调节装置还包括一连接件206，所述盘状喷头205通过所述连接件206与所述连接管202的另一端连通。所述连接件206位于所述盘状喷头205的中心，所述连接件206与所述盘状喷头205均为中空结构，且内部联通。可以理解的是，所述盘状喷头205的形状可根据实际情况进行调整，所述连接件206的位置也可进行调整。

图3是本实用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的盘状喷头205与连接件206的侧视示意图。如图3所示，所述连接件206与所述盘状喷头205为一体成型结构，当然在实际应用中，所述盘状喷头205和所述连接件206也可为独立的两部分，只要保持其良好的气密性即可。

图4是本实用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的连接件206的示意图。如图4所示，本实施例提供的连接件206为一圆柱形中空管状结构，其侧壁上有一固定孔207，内锁螺丝穿过此固定孔207后，可将所述连接件206固定于所述连接管202上。所述连接件206能套设于所述连接管202。当然在实际应用中，所述固定孔207的个数也可为多个，所述固定方式也可选择其它方式，如通过螺纹旋紧。

图5是本使用新型优选实施例提供的封闭式温度调节装置的盘状喷头205的仰视示意图。如图5所示，本实施例提供的盘状喷头205的直径为8cm～10cm，其不与所述连接件206连接的圆形面上分布有喷气孔208。所述喷气孔208为圆形，其孔径为0.5cm～1cm，且所述喷气孔208是呈同心圆状均匀分布。所述盘状喷头205包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域，所述中心区域上的喷气孔208的分布密度小于所述外围区域上的喷气孔208的分布密度，且所述中心区域的喷气孔208的直径小于所述外围区域的喷气孔208。由于所述中心区域更接近连接管202，所以所述中心 区域的喷气孔208密度和/或直径小于所述外围区域的喷气孔208，更加有利于喷出气体的均一性。当然在实际应用中，所述盘状喷头205的直径也可根据设计进行调整，所述喷气孔208的形状、排布方式也可有其它选择，其尺寸也可根据实际情况进行调整。

采用本优选实施例提供的封闭式温度调节装置，由于所述盘状喷头205的喷气孔208呈同心圆状均匀分布，当预设温度的气体沿所述喷气孔208喷出时，这种分布方式相当于有多个加温或者降温源均匀分布于待测样品，能使待测样品达到更好的温度均一性，其整体达到一稳定温度的时间也更短，从而使检测结果更加可靠。

综上所述，采用本实用新型提供的封闭式温度调节装置，由于其包括一盘状喷头，机台内部温控设备将压缩气体温度调节到目标温度后，通过管道进入所述连接孔，再进入所述连接管，最后进入所述盘状喷头，由盘状喷头的喷气孔喷出。由于喷气孔为多个，即待测样品的加温或者降温源为多个，则待测样品受热更加均匀，整体达到一稳定温度也更快，从而使检测结果也更加可靠。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。