一种新型通用多晶铸锭坩埚喷涂台装置的制作方法

本实用新型涉及硅晶制作设备中喷涂装置，特别适用于喷涂坩埚内外壁用的新型通用多晶铸锭坩埚喷涂台装置。

背景技术：

坩埚喷涂用纯水把粉末喷料氮化硅分子式为Ｓi3Ｎ4，是一种重要的结构陶瓷材料。它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损；除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，抗腐蚀能力强，高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷冲击，有空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。等涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。坩埚喷涂是利用不同于其它喷涂技术和方法，坩埚喷涂是涂装坩埚通过加热使其液态混合物氮化硅迅速附着在坩埚表面。涂装坩埚的方法可分为加热喷涂与滚涂两种方法涂覆工艺，滚涂涂装其技术工艺简单，涂装涂层不均，时间长，氮化硅使用量大，成本高，所以公司现使用的是较先进工艺热喷涂技术。

喷涂坩埚对多晶铸锭制造至关重要，因现有的坩埚多为G6/G7两种尺寸，目前使用的喷涂台多为针对坩埚尺寸分别定制的喷涂台，成本高且实用性受局限，故需要一种新的技术方案，以解决上述问题。

技术实现要素：

实用新型目的，本实用新型针对上述现有的喷涂台笨重并且难以适应多种型号的问题，而提供了多晶铸锭坩埚喷涂台装置，其可以适应任何尺寸坩埚，不受限制，结构简单易用。

本实用新型所要解决的问题是由以下技术方案实现的：

一种新型通用多晶铸锭坩埚喷涂台装置，其包括支撑平台，在支撑平台上设有四个组成十字状的平台导轨，每个导轨上都配装有一竖直面板，每个竖直面板都设有一圆环，在支撑平台上还设有一驱动电机，驱动电机上配装有滚轮，在滚轮上设有绳索，绳索的自由端穿过每个竖直面板的圆环并固定在支撑平台上。

进一步的，在每个导轨上都配装有一限位块，限位块上连接有弹簧，弹簧连接至竖直面板上。

进一步的，所述的各个竖直面板形成方框状。

进一步的，所述的绳索为尼龙绳索。

本实用新型相对于现有而言具有的有益效果：

采用绳索配合电机进行紧缩和扩张，搭配不同坩埚可以卡合任何尺寸，配装上卡合件之后可以保证足够的伸缩扩张余量，以配合不同型号，整体结构简单高效。

采用弹簧配合燕尾槽和燕尾形导轨，受力均匀，防止出现磨损失效的情况

附图说明

图1是本实用新型的俯视图。

图2是本实用新型的侧视图。

其中，驱动电机1、竖直面板2、平台导轨3、弹簧4、绳索5、支撑平台6。

具体实施方式

参照图1、图2所示，提供了一种新型通用多晶铸锭坩埚喷涂台装置，其包括支撑平台6，在支撑平台上设有四个组成十字状的平台导轨3，每个导轨与相邻的导轨相垂直，每个导轨上都配装有一竖直面板2，各个竖直面板形成方框状，在每个导轨上都配装有一限位块，限位块上连接有弹簧4，弹簧连接至竖直面板上。每个竖直面板都设有一圆环，在支撑平台上还设有一驱动电机1，驱动电机上配装有滚轮，在滚轮上设有绳索5，绳索的自由端穿过每个竖直面板的圆环并固定在支撑平台上。

为保证连接强度，所述的绳索为尼龙绳索。

以下根据附图对本实用新型做进一步说明：

在使用过程中，由驱动电机带动滚轮，进而抽动绳索，绳索渐渐勒紧以将各个面板逐渐聚拢，当需要增加口径时，驱动电机翻转放开绳索，在弹簧的作用下各个面板逐渐分散，即可适应不同口径。