吸附处理装置的制作方法

本发明涉及一种利用密封部件固定结构固定密封部件的吸附处理装置，其中密封部件将使流体相对于圆筒状转子径向流动的流路形成部件与圆筒状转子气密或液密地连接。

背景技术：

以往，作为处理含有低浓度被处理物质的大流量被处理液体的方法，有吸附浓缩处理法。该处理方法中，在连续旋转的吸附体的吸附分区中通入大风量的被处理流体，将被处理流体中所含的被处理物质吸附除去。另一方面，从通入被处理流体的吸附分区至另外独立的脱附分区，通入少量加热流体，使大风量的被处理流体所含的被处理物质移动至小风量的加热流体。如此，生成含有高浓度被处理物质的小风量的所谓浓缩流体，将该浓缩流体另行处理2次，据此，可降低总的处理成本。

当被处理流体是气体，被处理流体中所含的被处理物质为有机溶剂(voc)时，利用了使用上述处理方法的voc废气处理装置。该voc废气处理装置中，主要使用了蜂窝形状的吸附材。

此外，当被处理流体为气体，被处理流体所含的被处理物质为水分时，利用了使用上述处理方法的除湿装置。该除湿装置中，主要使用了蜂窝形状的吸附材。

如上述的voc废气处理装置以及除湿装置，作为具备蜂窝形状吸附材的吸附处理装置，一般地，已知有利用特殊一体成型的圆盘状吸附体的圆盘形(碟型)吸附处理装置，或日本专利特开昭63-84616号公报(专利文献1)中公开的那样的，将多个固定形状吸附材嵌入圆筒状转子的圆筒状转子型(圆筒型)吸附处理装置。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开昭63-84616号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

例如，将含有voc的工厂废气通过吸附浓缩进行处理时，该废气中除了voc之外，还含有使吸附性能降低的气态物质。吸附性能降低的吸附体需要进行更换。

碟型吸附处理装置所具备的吸附体，由于是特殊一体成型，故制造成本相对高。进一步地，更换该吸附体时，需要整体更换，更换作业花费劳力。

另一方面，圆筒型吸附处理装置所具备的多个吸附体由于分别具有固定形状，因而其制造成本可降低。此外，更换该吸附体时，由于可以只更换一部分，更换作业也可以容易地进行。

气态物质以外的要因有时也会让吸附性能降低，例如，作为其中一个要因，可举出雾或粉尘。被处理流体包含雾或粉尘时，可导致吸附体发生孔堵塞。

碟型吸附装置中，是在划分吸附分区和脱附分区的密封材与吸附体直接接触的状态下旋转吸附体。因此有时被处理流体中所含的雾或粉尘通过密封材强行附着至吸附体上，助长了吸附体的孔堵塞。

另一方面，圆筒型吸附处理装置中，由于划分吸附分区和脱附分区的密封材没有直接接触吸附体，故不会助长雾或粉尘导致的吸附体的孔堵塞。

如上所述，若考虑吸附性能，处理含有对吸附体施加影响的物质的被处理流体时，可以说圆筒型吸附处理装置比碟型吸附处理装置更合适。

近年，伴随吸附处理装置的大型化，构成该吸附处理装置的部件也在变大。因此，关于上述的密封部件等的消耗材，要求可以容易地更换。

为了使在圆筒状转子的内侧以及外侧配置的内周侧流路形成部件以及外周侧流路形成部件与圆筒状转子气密地连通，圆筒型吸附处理装置可使用多个密封部件。多个密封部件以指定的间隔分别设置在圆筒状转子的内周侧以及外周侧，可设置为伴随圆筒状转子的旋转、在内周侧流路形成部件以及外周侧流路形成部件处滑动。

因此，密封部件因连续使用而磨损。为了维持内侧流路形成部件以及外侧流路形成部件与圆筒状转子气密，因而根据劣化状況需要更换密封部件。

吸附处理装置大型化时，密封部件可设置为沿着圆筒状转子的轴线方向相当程度长地延伸。作为固定密封部件的样式，可考虑在沿着延伸方向的多个地方，使用紧固部件将密封部件相对设置部件紧固固定。

在这种情况下，更换1个密封部件时也不得不在解除各个紧固件后，在将新密封部件在多个地方进行紧固。当更换多个密封部件时，不得不进一步多次重复该作业，更换作业相当花费工夫。

如专利文献1的图4所示，可以通过在将密封部件通过压板按压的同时进行紧固固定，由此可减少紧固部位。由于压板具有相当程度的长，因此难以一定程度地持续保持其在长度方向的平坦度。因此，在没有任何措施而用压板压住密封部件时，产生按压不均。据此，在密封部件中，存在通过设置部件和压板紧紧夹持的部分，以及通过设置部件和压板轻微夹持的部分。

密封部件在内侧流路形成部件以及外侧流路形成部件这样的被滑动部件上滑动时，密封部件被拉向被滑动部件侧。此时，拉力集中作用于通过设置部件和压板紧紧夹持的部分，密封部件从该部分破损。据此，存在密封部件被拉向被滑动部件侧而无法维持气密状态的情况。

本发明是鉴于上述那样的问题而作出，本发明的目的在于，提供一种吸附处理装置，可以容易地更换在被滑动部件上滑动的密封部件，同时能够抑制密封部件向被滑动部件侧滑动，维持气密状态稳定。

解决问题的技术方案

基于本发明的吸附处理装置，其具备在圆周方向上划分为吸附区域与脱附区域的旋转体，上述旋转体在含有吸附体的同时可绕轴旋转，上述吸附处理装置通过使上述旋转体旋转的同时，使含有被处理物质的第1流体流入上述吸附区域，使第2流体从上述脱附区域的入口部向出口部流动，据此，被处理物质吸附于通过上述吸附区域的上述吸附体，在上述吸附区域吸附的被处理物质从通过上述脱附区域的上述吸附体脱附；上述吸附处理装置进一步具备：多个密封部件，并列设置在上述旋转体的旋转方向上，和多个设置面，设置在上述旋转体，用于设置多个上述密封部件中的每一个，和多个压板，将各个上述密封部件固定在上述设置面。上述吸附处理装置中，上述多个密封部件设置为：上述旋转体旋转时，其能在上述脱附区域的上述入口部配置的入口侧流路形成部件以及在上述脱附区域的上述出口部配置的出口侧流路形成部件上滑动；通过上述多个密封部件中的在入口侧流路部件以及出口侧流路部件上滑动的密封部件，入口侧流路形成部件、出口侧流路形成部件以及上述脱附区域气密或液密地连通；在上述密封部件、上述压板以及上述设置面中至少一个上设置有防滑部，在上述密封部件相对于入口侧流路形成部件以及出口侧流路形成部件滑动时，上述防滑部防止上述密封部件相对于上述设置面滑动。

基于上述本发明的吸附处理装置，上述防滑部可以通过橡胶部件构成，上述橡胶部件与上述设置面的与上述密封部件相对的部分以及上述压板的与上述密封部件相对的部分中的至少一方接合。

基于上述本发明的吸附处理装置，上述防滑部可以通过锉刀状部件构成，上述锉刀状部件与上述设置面的与上述密封部件相对的部分以及上述压板的与上述密封部件相对的部分中的至少一方接合。

基于上述本发明的吸附处理装置，上述防滑部可以通过设置于上述设置面的与上述密封部件相对的部分以及上述压板的与上述密封部件相对的部分中的至少一方上的齿加工部构成，上述齿加工部在上述密封部件相对于入口侧流路形成部件以及出口侧流路形成部件滑动时，在与上述密封部件被拉动的方向相对抗的方向上使摩擦力起作用。

基于上述本发明的吸附处理装置，上述防滑部可以由设置在上述密封部件上的隆起部构成，从上述密封部件看时，该隆起部向上述设置面所在侧的相反侧隆起。在这种情况下，优选上述隆起部被设置为：上述密封部件相对于入口侧流路形成部件以及出口侧流路形成部件滑动时，上述隆起部能与上述压板抵接。

基于上述本发明的吸附处理装置，上述压板通过铰链机构连接于上述旋转体，并可以被设置为能在以下2种状态间切换：与上述设置面夹持上述密封部件的状态和与上述密封部件相间隔的状态。

基于上述本发明的吸附处理装置，优选将上述压板的与上述旋转体的轴方向平行的方向上的两端侧，分别使用紧固部件紧固于上述设置面。

基于上述本发明的吸附处理装置，优选在上述设置面的法线方向上，密封部件被上述压板与上述设置面夹持的部分的厚度，在密封部件没有被上述压板与上述设置面夹持的部分的厚度的50％以上100％以下的范围内。

发明效果

根据本发明，可以提供一种吸附处理装置，其可以容易地更换在被滑动部件上滑动的密封部件，同时能够抑制密封部件向被滑动部件侧滑动，维持气密状态稳定。

附图说明

[图1]实施方式1涉及的吸附处理装置的纵向截面图。

[图2]沿着图1所示的ii-ii线的截面图。

[图3]图1所示的圆筒状转子的主要部分的放大截面图。

[图4]实施方式1涉及的密封部件固定结构的放大图。

[图5]图4所示的密封部件固定结构上的密封部件在被滑动部件上滑动时的样子的示意图。

[图6]实施方式2涉及的密封部件固定结构的放大图。

[图7]实施方式3涉及的密封部件固定结构的放大图。

[图8]图7所示的密封部件固定结构上的密封部件在被滑动部件滑动时的样子的示意图。

[图9]实施方式4涉及的密封部件固定结构的放大图。

符号说明

1处理室、2第1流路形成部件、2a开口部、3第2流路形成部件、4内周侧流路形成部件、4a内周侧开口端部、4b,4c内周侧弯曲面、5外周侧流路形成部件、5a外周侧开口端部、5b,5c外周侧弯曲面、6支持部件、10圆盘、11第1圆盘、11a开口部、12第2圆盘、20分隔体、21本体部、22设置部、23内周侧设置部、23a内周侧设置面、24外周侧设置部、24a外周侧设置面、30吸附体、40密封部件、41内侧密封部件、42外侧密封部件、45隆起部、45a抵接面、50压板、51齿加工部、60紧固部件、60a铰链机构、70锉刀状部件、80,80a,80b,80c密封部件固定结构、90圆筒状转子、90a中央空间部、100吸附处理装置。

具体实施方式

以下，关于本发明的实施方式，参考附图详细说明。此外，以下的实施方式中，对于同样或共通的部分，在附图中用同一符号表示，不再重复其说明。

(实施方式1)

图1为本实施方式涉及的吸附处理装置的纵向截面图。图2为沿着图1所示的ii-ii线的截面图。图3为图1所示的圆筒状转子的主要部分的放大截面图。参考图1至图3，对本实施方式涉及的吸附处理装置100作说明。

如图1所示，本实施方式涉及的吸附处理装置100中，将向处理室1内供给的大风量被处理流体f1所含的被处理物质，用后述的吸附体30吸附除去，排出洁净化后的洁净空气f2。此外，吸附处理装置100中，通过向吸附有被吸附除去的被处理物质的吸附体30吹附少量的加热流体f3，从该吸附体30使被处理物质脱附，作为浓缩流体f4排出。

被处理物质的吸附处理是在后述的圆筒状转子90的第2区域r2(参考图2)中进行。第2区域r2相当于吸附区域。被处理物质的脱附处理是在后述的圆筒状转子90的第1区域r1(参考图2)中进行。第1区域r1相当于脱附区域。圆筒状转子90通过围绕筒轴c旋转，对通过第1区域r1、位于第2区域r2的吸附体30进行吸附处理，吸附处理后对通过第2区域r2、位于第1区域r1的吸附体30进行脱附处理。如此，在吸附处理装置100中，连续实施吸附处理以及脱附处理。

如图1至图3所示，吸附处理装置100具备作为旋转体的圆筒状转子90、第1流路形成部件2、作为入口部侧流路形成部件的内周侧流路形成部件4，以及作为出口部侧流路形成部件的外周侧流路形成部件5。

圆筒状转子90设置在处理室1内。圆筒状转子90被设置为流体可在径向流动。圆筒状转子90被设置为可围绕筒轴c旋转。将筒轴c方向设为朝向铅直方向，圆筒状转子90以可以旋转的状态被支柱等多个支持部件6支撑。

圆筒状转子90由一对圆盘10、多个分隔体20以及多个吸附体30构成。

一对圆盘10被配置相互相对。一对圆盘10含有第1圆盘11和第2圆盘12。第1圆盘11的中央部上设有开口部11a。第1圆盘11和第2圆盘12被配置为从圆筒状转子90的筒轴c方向看时，中心位置重叠那样相互相对。第1圆盘11以及第2圆盘12被设置为间隔有距离，使其间可以配置分隔体20以及吸附体30。

多个分隔体20将一对圆盘10间的空间分隔为圆周方向相互独立的多个空间部s(参考图3)。具体而言，从筒轴c方向看时，多个分隔体20将第1圆盘11和第2圆盘12重叠部分中的一对圆盘10之间的空间，分隔为在圆周方向相互独立的多个空间部s。

多个分隔体20被配置为各自的中心o(参考图3)以指定的间隔在圆周方向并列。多个分隔体20以在筒轴c方向气密和/或者液密的方式安装在一对圆盘10之间。

多个吸附体30分别被容纳在相互独立的多个空间部s中。多个吸附体30以指定的间隔在圆周方向并列。吸附体30具有例如块状形状。

吸附体30由含有活性氧化铝、二氧化硅胶体、活性炭、沸石的任意一种的吸附材构成。较合适的是，吸附体30可利用粒状、粉体状、蜂窝状等的活性炭或沸石。活性炭或沸石善于吸附以及脱附低浓度的有机化合物。此外，通过用蜂窝状，可以降低流体的圧力损失，增大处理能力。进一步地，可抑制垃圾等固体物导致的孔堵塞。

在一对圆盘10之间，通过多个分隔体20和多个吸附体30交替在圆周方向上多个排列成为圆筒状，由此构成的圆筒状转子90中形成有与第1圆盘11的开口部11a连通的中央空间部90a。

第1流路形成部件2的一端侧被构成为：第1流路形成部件2的内部和圆筒状转子90的中央空间部90a保持气密，同时允许圆筒状转子90围绕筒轴c旋转。具体而言，例如，在第1流路形成部件2的一端侧设有法兰部，通过该法兰部和位于开口部11a的边缘部分的第1圆盘11，夹持环状的密封部件。第1流路形成部件2的另一端侧被引出到处理室1外。

圆筒状转子90的内周侧，即中央空间部90a中配置有内周侧流路形成部件4。圆筒状转子90的外周侧上配置有外周侧流路形成部件5。内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5被配置为：夹持圆周方向上圆筒状转子90的一部分，在圆筒状转子90的内周侧以及外周侧相互相对。

内周侧流路形成部件4设置为：中央空间部90a内沿着筒轴c方向延伸，从开口部11a向圆筒状转子90的外侧延出。

内周侧流路形成部件4的一端侧上，设有与圆筒状转子90的内周侧面对的内周侧开口端部4a。内周侧开口端部4a上的开口面设置为在圆周方向与圆筒状转子90的内周侧的部分区域相对。此外，该开口面被设置为横跨内周侧流路形成部件4的第1圆盘11以及第2圆盘12之间、在筒轴c方向上与圆筒状转子90的内周侧相对。内周侧流路形成部件4的另一端侧，从第1流路形成部件2上设置的开口部2a向第1流路形成部件2的外侧突出。

外周侧流路形成部件5的一端侧上，设有与圆筒状转子90的外周侧相对的外周侧开口端部5a。外周侧开口端部5a的开口面被设置为在圆周方向上与圆筒状转子的外周侧的部分区域相对。该开口面被设置为横跨第1圆盘11以及第2圆盘12之间、在筒轴c方向上与圆筒状转子90的外周侧相对。

如图2所示，圆筒状转子90包含在圆周方向上划分的第1区域r1(参考图2)以及第2区域r2(参考图2)。通过圆筒状转子90旋转，多个吸附体30在第1区域r1和第2区域r2中交替地移动。

如图3所示，第1区域r1划分为通过伴随圆筒状转子90的旋转而旋转的多个空间部s的一部分气密地连通内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5。如后所述，第1区域r1内流体从内周侧向外周侧流动时，第1区域r1中的内周侧相当于入口部e1，第1区域r1中的外周侧相当于出口部e2。

圆筒状转子90包含分别设置在多个分隔体20上的密封部件40。多个密封部件40并列设置在圆筒状转子90的旋转方向(图2、图3中箭头方向)上。密封部件40包含内侧密封部件41和外侧密封部件42。多个分隔体20分别包括，本体部21以及用于设置密封部件40的设置部22。本体部21，例如具有三角筒形状。设置部22具有内周侧设置部23以及外周侧设置部24。

内周侧设置部23具有板状形状。内周侧设置部23被设置为在筒轴c方向上延伸。内周侧设置部23被设置为从位于圆筒状转子90的内周侧的本体部21的顶边部，向圆筒状转子90的径向内侧突出。内周侧设置部23可与本体部21构成为一体，也可以构成本体部21之外的部件。内周侧设置部23具有用于设置后述的内侧密封部件41的内周侧设置面23a。内周侧设置面23a与圆筒状转子90的旋转方向相交。

外周侧设置部24具有板状形状。外周侧设置部24被设置为在筒轴c方向上延伸。外周侧设置部24被设置为从位于圆筒状转子90的外周侧的本体部21的侧面，向圆筒状转子90的径向外侧突出。外周侧设置部24可与本体部21构成为一体，也可以构成为本体部21之外的部件。此外，外周侧设置部24构成为本体部21之外的部件时，外周侧设置部24具有例如l字形状等的、可安装在本体部21上的形状。外周侧设置部24具有用于设置后述的外侧密封部件42的外周侧设置面24a。外周侧设置面24a与圆筒状转子90的旋转方向相交。

内侧密封部件41被设置在分隔体20所具有的设置面中位于圆筒状转子90的内周侧的内周侧设置面23a上。内侧密封部件41在一对圆盘10之间延伸，从一个圆盘(第1圆盘11)向另一个圆盘(第2圆盘12)横跨。内侧密封部件41朝向圆筒状转子90的径向内侧从分隔体20突出。

外侧密封部件42被设置在分隔体20所具有的设置面中位于圆筒状转子90的外周侧的外周侧设置面24a上。外侧密封部件42在一对圆盘10之间延伸，从一个圆盘(第1圆盘11)向另一个圆盘(第2圆盘12)横跨。外侧密封部件42朝向圆筒状转子90的径向内侧从分隔体20突出。

内周侧流路形成部件4上，分别在位于圆筒状转子90的旋转方向的前方侧的内周侧开口端部4a的旋转方向前方侧边缘部以及位于圆筒状转子90的旋转方向的后方侧的内周侧开口端部4a的旋转方向后方侧边缘部，设置有沿着旋转方向弯曲的内周侧弯曲面4b、4c。

外周侧流路形成部件5上，分别在位于圆筒状转子90的旋转方向的前方侧的外周侧开口端部5a的旋转方向前方侧边缘部以及位于圆筒状转子90的旋转方向的后方侧的外周侧开口端部5a的旋转方向后方侧边缘部，设置有沿着旋转方向弯曲的外周侧弯曲面5b、5c。

伴随着圆筒状转子90的旋转，内侧密封部件41相对于内周侧弯曲面4b、4c滑动，外侧密封部件42相对于外周侧弯曲面5b、5c滑动，据此，多个空间部s的一部分(第1区域r1)与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通。

具体地，在位于内周侧弯曲面4b以及外周侧弯曲面5b之间的分隔体20和位于内周侧弯曲面4c以及外周侧弯曲面5c之间的分隔体20之间，位于该分隔体之间的空间部s与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通。

如此，圆筒状转子90被划分为与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通的第1区域r1，和不连通内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5、与第1区域r1构成不同流路的第2区域r2。

如图1以及图3所示，向第1区域r1以及第2区域r2分别导入流体。优选通过第2区域r2的流体流动的方向与通过第1区域r1的流体流动的方向，在圆筒状转子90的径向方向上是相反方向。

第2区域r2中，流体以通过位于内周侧流路形成部件4周围部分的圆筒状转子90的中央空间部90a，从第1圆盘11的开口部11a流出的方式，从圆筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入。

另一方面，第1区域r1中，流体从通过第1圆盘11的开口部11a的内周侧流路形成部件4通过之后，以从圆筒状转子90的内周侧朝向外周侧的方式被导入。

被导入第2区域r2的流体是废气等被处理流体。该被处理流体中，含有作为被处理物质的有机溶剂。在第2区域r2中，进行被处理流体的洁净化。

洁净化时，首先，对于圆筒状转子90的第2区域r2，从圆筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入废气。导入第2区域r2的废气沿着径向通过圆筒状转子90时，通过位于第2区域r2的多个吸附体30吸附除去有机溶剂，据此被洁净化。

洁净化的废气作为洁净空气，从第2区域r2流入圆筒状转子90的中央空间部90a。流入圆筒状转子90的中央空间部90a的洁净空气，通过位于内周侧流路形成部件4周围部分的圆筒状转子的中央空间部90a，从第1圆盘11的开口部11a流出。从开口部11a流出的洁净空气通过第1流路形成部件2被排出至处理室1外。

导入第1区域r1的流体是加热空气等加热流体。第1区域r1中，通过脱附吸附体30上吸附的有机溶剂，进行吸附体30的再生，与此同时，产生有机溶剂的浓度增高的浓缩流体。

为了进行有机溶剂的脱附，从内周侧流路形成部件4的另一端侧导入加热空气。从内周侧流路形成部件4的另一端侧导入的加热空气，从通过第1圆盘11的开口部11a的内周侧流路形成部件4的内部通过，从该内周侧流路形成部件4的一端侧被导入第1区域r1。

导入第1区域r1的加热空气从圆筒状转子90的内周侧朝向外周侧通过圆筒状转子90时，利用热度，从位于第1区域r1的多个吸附体30使其吸附的有机溶剂脱附。含有有机溶剂的加热空气作为浓缩流体，从第1区域r1排出至外周侧流路形成部件5。排出至外周侧流路形成部件5的浓缩流体，被导入可进行回收或燃烧等后处理的后处理装置。

图4是本实施方式涉及的密封部件固定结构的放大图。图4图示了位于圆筒状转子90的外周侧的密封部件固定结构。此外，位于圆筒状转子90的内周侧的密封部件固定结构，只有密封部件相对分隔体20突出的方向与位于外周侧的密封部件固定结构不同，其他结构是基本相同的结构。参考图4，对密封部件固定结构80进行说明。

密封部件固定结构80是用于固定使圆筒状转子90与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通的密封部件40的固定结构。密封部件40通过被压板50与分隔体20所具有的设置面夹持而固定，该压板50在与圆筒状转子90的筒轴c平行的方向上延伸。

具体地，如图4所示，外侧密封部件42通过被压板50与外周侧设置部24所具有的外周侧设置面24a夹持而固定。外侧密封部件42被固定在多个分隔体20所包含的各个外周侧设置部24上。

虽然未在图4中示出，内侧密封部件41通过被压板与内周侧设置部23所具有的内周侧设置面23a夹持而被固定。内侧密封部件41被固定在多个分隔体20所包含的各个内周侧设置部23上。

密封部件40以伴随着圆筒状转子90的旋转而相对内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5滑动的方式被固定。外侧密封部件42的外侧端部在外周侧流路形成部件5的外周侧弯曲面5b、5c上滑动。内侧密封部件41的内侧端部在内周侧流路形成部件4的内周侧弯曲面4b、4c上滑动。

密封部件固定结构80中设有防滑部，所述防滑部在密封部件40相对于被滑动部件之内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5滑动时，防止密封部件40相对于分隔体20的设置面滑动。

本实施方式中，防滑部例如通过压板50的与密封部件40相对的部分上接合的锉刀状部件70构成。锉刀状部件70是至少在接触密封部件40的表面上具有锉刀状凹凸的片状部件。锉刀状部件70与分别按压内侧密封部件41以及外侧密封部件42的各压板50接合。

压板50例如通过金属片构成。压板50分别在与筒轴c平行的方向上的两端侧，使用螺栓等紧固部件60紧固固定在分隔体20的设置面上。压板50分别紧固固定内周侧设置面23a以及外周侧设置面24a。

密封部件固定结构80优选为在设置面的法线方向上、通过压板50和设置面(在图4中为外周侧设置面24a)夹持的部分密封部件40(在图4中为外侧密封部件42)的厚度t1为没有通过压板50和设置面夹持的部分密封部件的厚度t2的50％以上100％以下范围内。

通过使厚度t1为厚度t2的50％以上，如后述，密封部件40向着被滑动部件侧被拉动时，可以降低通过压板50和设置面夹持的部分密封部件40上的施加负荷，防止该部分破损。

图5是图4所示的密封部件固定结构上的密封部件在被滑动部件上滑动时的样子的示意图。在图5中，图示出了作为密封部件的外侧密封部件42，图示出了作为被滑动部件的外周侧流路形成部件5。参考图5，对密封部件在被滑动部件上滑动时的样子进行说明。

如图5所示，外侧密封部件42在外周侧流路形成部件5的外周侧弯曲面5b上滑动时，位于外周侧流路形成部件5侧的外侧密封部件42的端部侧弹性弯曲变形，外侧密封部件42被拉向外周侧流路形成部件5。

本实施方式中，通过使锉刀状部件70所具有的锉刀状凹凸表面接触外侧密封部件42，外侧密封部件42被拉向被滑动部件时，相当大的摩擦力f2与向着被滑动部件作用的拉力f1对抗作用。据此，抑制外侧密封部件42朝向外周侧流路形成部件5、相对于外周侧设置面24a的滑动。

虽然未在图5中示出，同样地，内侧密封部件41在内周侧流路形成部件4的内周侧弯曲面4b上滑动时，位于内周侧流路形成部件4侧的内侧密封部件41的端部侧弹性弯曲变形，内侧密封部件41被拉向内周侧流路形成部件4。

通过使锉刀状部件70所具有的锉刀状凹凸表面面接触内侧密封部件41，内侧密封部件41被拉向内周侧流路形成部件4时，相当大的摩擦力与向着内周侧流路形成部件4作用的拉力对抗作用。据此，抑制内侧密封部件41朝向内周侧流路形成部件4、相对于内周侧设置面23a的滑动。

如此，通过使压板50上接合的锉刀状部件70所具有的锉刀状凹凸表面面接触密封部件40，可以使相当大的摩擦力作用对抗拉力，其结果，抑制了密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。

另外，如上述，通过使锉刀状部件的凹凸表面面接触密封部件40而作用摩擦力，即使当压板50按压密封部件40时，发生按压不均匀，密封部件40上存在在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分与通过设置面和压板50轻微夹持的部分的情况下，可以缓和紧紧夹持部分上作用的拉力。据此，也可以防止密封部件40的破损。

进一步地，通过压板50和分隔体20夹持固定密封部件40，同时在筒轴方向平行的方向的两端侧的2处区域紧固固定压板50，通过形成此结构，与在多数区域只用紧固部件固定密封部件40的情况相比，可以减少更换密封部件40时取下紧固部件的次数。据此，可以大幅削减更换作业的时间，容易进行更换作业。

如上所述，本实施方式涉及的密封部件固定结构80以及使用其的吸附处理装置100：可以容易地更换密封部件，同时可以抑制向被滑动部件侧的滑动。此外，抑制向被滑动部件侧的滑动时，可以缓和密封部件40上的在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分上作用的拉力。据此，可以防止密封部件40的破损，维持气密状态稳定。

另外，本实施方式中，示例说明构成防滑部的锉刀状部件70被接合在压板50的与密封部件40相对的部分上的情况，但不限于此，也可以被接合在分隔体20的设置面的与密封部件40相对的部分上，也可以被接合在压板50和上述设置面两者的与密封部件40相对的部分上。

即使在这种情况下，通过锉刀状的凹凸表面面接触密封部件40，使相当大的摩擦力f2作用以对抗拉力f1，其结果是，抑制了密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。此外，通过摩擦力作用，即使当压板50按压密封部件40时，发生按压不均匀，密封部件40上存在在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分与通过设置面和压板50轻微夹持的部分的情况下，可以缓和紧紧夹持的部分上作用的拉力。

另外，本实施方式中，示例说明构成防滑部的锉刀状部件70被接合在压板50的与密封部件40相对的部分上的情况，但不限于此，也可以用橡胶部件替代锉刀状部件70，使其与设置面的与密封部件相对的部分以及压板50的与密封部件40相对的部分中的至少一方接合。此时，橡胶部件构成防滑部，密封部件40在被滑动部件上滑动时，抑制密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。此外，通过在橡胶部件和密封部件40之间作用摩擦力，即使当压板50按压密封部件40时，发生按压不均匀，密封部件40上存在在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分与通过设置面和压板50轻微夹持的部分的情况下，可以缓和紧紧夹持的部分上作用的拉力。据此，可以防止密封部件40的破损，维持气密状态稳定。

此外，本实施方式中，示例说明导入第2区域r2的流体是含有有机溶剂的废气，导入第1区域r1的流体是加热空气的情况，但并不限于此，导入第2区域r2的流体也可以是含有有机溶剂的废水，导入第1区域r1的流体也可以是水蒸气。如此，使液体流动时，内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5与第1区域r1构成为液密连通。

此外，本实施方式中，也可以在第2区域r2，从圆筒状转子90的内周侧朝向外周侧导入被处理流体，在第1区域r1，从圆筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入加热流体。此时，第1区域r1的外周侧相当于入口部，第1区域r1的内周侧相当于出口部。此外，内周侧流路形成部件4相当于出口部侧流路形成部件，外周侧流路形成部件5相当于入口部侧流路形成部件。

进一步地，也可以使通过第2区域r2的流体流动的方向与通过第1区域r1的流体流动的方向，在圆筒状转子90的径向方向上成为相同方向，将被处理流体导入第2区域r2，加热流体导入第1区域r1。

(实施方式2)

图6为本实施方式涉及的密封部件固定结构的放大图。参考图6，对本实施方式涉及的密封部件固定结构80a进行说明。

如图6所示，本实施方式涉及的密封部件固定结构80a与实施方式1涉及的密封部件固定结构80比较时，不同点为：设置为压板50通过铰链机构60a、可绕与圆筒状转子90的筒轴c平行的轴旋转地连接分隔体20，可以在与设置面一同夹持密封部件40的状态和与密封部件40相间隔的状态间切换。对于其他结构，基本是相同的。

即便如上构成时，通过设置作为防滑部的锉刀状部件70，密封部件40在被滑动部件上滑动时，可以抑制密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。此外，通过在密封部件40与锉刀状部件70之间作用摩擦力，即使当压板50按压密封部件40时，发生按压不均匀，密封部件40上存在在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分与通过设置面和压板50轻微夹持的部分的情况下，可以缓和紧紧夹持的部分上作用的拉力。据此，可以防止密封部件40的破损，维持气密状态稳定。

此外，压板50被紧固固定在筒轴方向平行的方向的两端侧的2处区域，由此可以减少更换密封部件40时取下紧固部件的次数。据此，可以大幅削减更换作业的时间，容易进行更换作业。

因此，即使在本实施方式中，也可得到与实施方式1基本相同的效果。进一步，通过形成设置有铰链机构60a的构成，通过压板50按压密封部件40时，可以防止压板50位置偏移，将密封部件40稳定地固定在预定位置。

另外，通过铰链机构60a，当压板50朝向分隔体20的设置面、以跟随的方式构成时，也可以省略藉由紧固部件60进行上述紧固固定，只通过压板50与设置面夹持密封部件40来固定密封部件40。

(实施方式3)

图7是本实施方式涉及的密封部件固定结构的放大图。参考图7，对本实施方式涉及的密封部件固定结构80b进行说明。

如图7所示，本实施方式涉及的密封部件固定结构80b与实施方式1涉及的密封部件固定结构80比较时，防滑部的结构不同。对于其他结构，基本是相同的。

本实施方式中，防滑部由密封部件40上设置的隆起部45构成，其向着分隔体20的设置面所在侧的相反侧隆起。隆起部45设置为当密封部件相对于内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5滑动时，可与上述压板50抵接。

具体地，密封部件40被设置为大致l形。从压板50看时，隆起部45设置在被滑动部件的相反侧。隆起部45设置为在筒轴c方向横跨地从密封部件40的一端侧向另一端侧延伸。另外，隆起部45也可以沿着筒轴c方向间断地设置。隆起部45具有朝向滑动对象侧的抵接面45a。

图8是图7所示的密封部件固定结构上的密封部件在被滑动部件滑动时的样子的示意图。图8中，图示了作为密封部件的外侧密封部件42，图示了作为被滑动部件的外周侧流路形成部件5。参考图8，对密封部件在外周侧流路形成部件上滑动时的样子进行说明。

如图8所示，当外侧密封部件42在外周侧流路形成部件5的外周侧弯曲面5b上滑动时，位于外周侧流路形成部件5侧的外侧密封部件42的端部侧弹性弯曲变形，外侧密封部件42被拉向外周侧流路形成部件5。

本实施方式中，通过设置从压板50看时处于被滑动部件的相反侧上的隆起部45，密封部件40(图8中为外侧密封部件42)被拉向被滑动部件(图8中为外周侧流路形成部件5)时，隆起部45的抵接面45a抵接压板50。

此时，与朝向被滑动部件作用的拉力f1相对抗的反作用力f3作用于密封部件40上。据此，抑制密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。

此外，通过作用反作用力f3，即使当压板50按压密封部件40时，发生按压不均匀，密封部件40上存在在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分与通过设置面和压板50轻微夹持的部分的情况下，可以缓和紧紧夹持的部分上作用的拉力。由此，也可以防止密封部件40的破损。据此，可以防止密封部件40的破损，维持气密状态稳定。

进一步地，通过压板50和分隔体20夹持固定密封部件40，同时在筒轴方向平行的方向的两端侧的2处区域紧固固定压板50，通过形成此结构，与在多数区域只用紧固部件固定密封部件40的情况相比，可以减少更换密封部件40时取下紧固部件的次数。据此，可以大幅削减更换作业的时间，容易进行更换作业。

如上所述，本实施方式涉及的密封部件固定结构以及使用其的吸附处理装置，与实施方式1同样地，可以容易地更换密封部件，同时可以抑制向被滑动部件侧的滑动，维持气密状态稳定。

(实施方式4)

图9是本实施方式涉及的密封部件固定结构的放大图。参考图9，对本实施方式涉及的密封部件固定结构80c进行说明。

如图9所示，本实施方式涉及的密封部件固定结构80c与实施方式1涉及的密封部件固定结构80相比，不同点为：未设置锉刀状部件，在压板50的与密封部件40相对的部分上设置齿加工部51。对于其他结构，基本是相同的。

齿加工部51被设置为在与密封部件40被拉向被滑动部件的方向相对抗的方向上作用摩擦力。齿加工部51的齿朝向与密封部件40被拉向被滑动部件的方向相对抗的方向。

如此，通过设置作为防滑部的齿加工部51，密封部件40在被滑动部件上滑动时，可以抑制密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。此外，通过设置齿加工部51，使摩擦力作用于设置面和密封部件40之间，即使当压板50按压密封部件40时，发生按压不均匀，密封部件40上存在在设置面和压板50之间紧紧夹持的部分与通过设置面和压板50轻微夹持的部分的情况下，可以缓和紧紧夹持的部分上作用的拉力。据此，可以防止密封部件40的破损，维持气密状态稳定。

此外，压板50被紧固固定在与筒轴方向平行的方向的两端侧的2处区域，由此可以减少更换密封部件40时取下紧固部件的次数。据此，可以大幅削减更换作业的时间，容易进行更换作业。

如上所述，本实施方式涉及的密封部件固定结构以及使用其的吸附处理装置，与实施方式1同样地，可以容易地更换密封部件，同时可以抑制向被滑动部件侧的滑动，维持气密状态稳定。

另外，本实施方式中示例说明了构成防滑部的齿加工部设置在压板50的与密封部件40相对的部分上的情况，但并不限于此，也可以设置在分隔体20的设置面的与密封部件40相对的部分上，也可以设置在压板50和上述设置面两者的与密封部件40相对的部分上。

即使在这种情况下，通过使齿加工部接触密封部件40，可以使相当大的摩擦力f2作用于对抗拉力f1，其结果，抑制了密封部件40朝向被滑动部件、相对于设置面的滑动。

如上所述，存在多个实施方式时，除有特别记载外，对各个实施方式的特征部分进行适当的组合是不言而喻的。例如，可以将实施方式2至4中涉及的密封部件固定结构，应用到实施方式1中涉及的吸附处理装置100中。此外，也可以在实施方式1、2、4中涉及的密封部件固定结构上应用实施方式3中涉及的密封部件固定结构。

上述的实施方式1至4中示例说明了分隔体20具有大致三角筒形状的情况，但并不限于此，只要具有可支持一对圆盘10的强度，且具有可设置密封部件40的设置面，其形状也可以是板状形状等，可以适当变化。

上述的实施方式1至4中示例说明了密封部件固定结构用于所谓的圆筒型吸附处理装置的情况，但并不限于此，也可以用于所谓的碟型的吸附处理装置。此时，在轴线方向上相互相对的圆盘状吸附体的主面上放射状地设置具有在轴线方向平行的设置面的设置部，通过该密封部件固定结构在该设置面上固定该密封部件。

以上，说明了本发明的实施方式。本次公开的实施方式中，全部的点都是示例而非限制性。本发明的范围由权利要求所示，包含与权利要求同等的意思以及范围内的全部变更。