外延炉废气净化器的制作方法

本发明涉及一种废气处理装置，尤其是一种对沉积的工艺废气进行净化处理的外延炉废气净化器。

背景技术：

在沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中有的能与水反应，生成sio2和hcl气体等，而hcl等气体和废气中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前，美国、俄罗斯、日本等国大多采用水吸收型尾气处理系统，采用水柱淋洗尾气和多孔填料吸收，但是在生产过程中外延炉的尾气排放量并不是始终一致，大部分的尾气是在一次外延沉积结束后在短期内排出，在大部分的时间内尾气排放量不是很大，而且外延炉对废气量和负压要求比较高，有的要求达到500pa，但国外的进口设备负压最高也只能达到400pa，有的用离心设备抽风，但体积较大，受各种条件限制，仍无法满足要求，现有的外延炉尾气净化器不能实时检测外延炉的尾气排放量、根据外延炉尾气排放量控制电机转速，而浪费能源。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题时：为了克服现有废气净化器进气口负压达不到、以及不能实时检测外延炉的尾气排放量、根据外延炉尾气排放量控制电机转速，而浪费能源的技术问题，本发明提供了一种外延炉废气净化器，它可提高设备自生的负压、根据废气的排放量控制电机的转速，以达到节能的效果。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种外延炉废气净化器，具有壳体，壳体下方设置有密闭的水箱，壳体内设置有横隔板和纵隔板，将壳体内腔分隔成初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，二次洗涤室设在初次洗涤室上方，横隔板中心开有通气口，横隔板与壳体间工作时形成水封，初次洗涤室底部和填料室底部与水箱间工作时形成水封，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道与初次洗涤室下部相通，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，填料室的上部设置有填料室横隔板，填料室横隔板上有孔，填料室横隔板下方的填料室内充填有填料，填料室的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置，排泄锥喷嘴喷淋装置下方设置有文丘里管，文丘里管底部与填料室横隔板固定连接，填料室横隔板在对应于文丘里管的管口处还开设有与文丘里管的管口相配的孔，水箱顶端装有向水箱补水的补水口、水箱的底部装有排污口和排净口，初次洗涤室下部装有通向壳体外地溢流管道，溢流管道的溢流口高于初次洗涤室的底面，壳体外装有循环泵组，循环泵组的进水口通入水箱液面下、出水口通过水管与大流量喷嘴喷淋装置、细雾高速喷嘴喷淋装置及排泄锥喷嘴喷淋装置相连，所述的填料室至少有两个，填料室分别通过一个通气管道与二次洗涤室相通，通气管道的进口位于二次洗涤室上部，出口正对填料室的排泄锥喷嘴喷淋装置，填料室外部装有排气管道，排气管道下端接入各填料室下部。

本发明还设有实时检测进气口的负压情况的负压检测装置、pid控制器和控制循环泵组电机转速的变频器，进气口处安装负压检测装置，负压检测装置接入pid控制器的输入端，变频器接入pid控制器的输出端，负压检测装置对进气口的负压情况进行实时检测，并不断的将检测的数据传入到pid控制器中，pid控制器对检测数据与工艺设定数据进行比较计算并结合变频器来控制循环泵组的电机的转速，实现对循环泵组的pid控制。这样一方面可以保证外延炉尾气排放口的负压满足工艺要求；另一方面，在外延沉积过程中外延炉的尾气排放量比较少的情况下，控制循环泵组的电机低速运转，达到节能的效果。

本发明的有益效果是：至少两个排泄锥喷淋装置同时工作，可提高设备的自生负压，最大可达到800pa，安装负压检测装置可对外延炉废气排放量实时检测，根据尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制循环泵组低速运转，以达到节能的效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1的侧视图。

图中：1、壳体，2、水箱，3、横隔板，4、纵隔板，5、初次洗涤室，6、二次洗涤室，7、填料室，8、进气口，9、进气管道，10、通气管道，11、大流量喷嘴喷淋装置，12、细雾高速喷嘴喷淋装置，13、填料，14、排泄锥喷嘴喷淋装置，15、排气管，15-1、排气口，16、文丘里管，17、补水口，18、排污口，19、排净口，20、溢流管道，21、循环泵组，22、水管，23、填料室横隔板，34、负压检测装置，35、pid控制器，36、变频器。

具体实施方式

如图1、2所示，一种外延炉废气净化器的最佳实施例，具有壳体1，壳体1下方设置有密闭的水箱2，壳体1内设置有横隔板3和纵隔板4，将壳体内腔分隔成初次洗涤室5、二次洗涤室6和填料室7，二次洗涤室6设在初次洗涤室5上方，横隔板3中心开有通气口，横隔板3与壳体1间工作时形成水封，初次洗涤室5底部和填料室7底部与水箱2间工作时形成水封，壳体1顶端装有进气口8，进气口8通过进气管道9与初次洗涤室5下部相通，初次洗涤室5内装有大流量喷嘴喷淋装置11，二次洗涤室6内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置12，填料室7的上部设置有填料室横隔板23，填料室横隔板23上有孔，填料室横隔板23下方的填料室7内充填有填料13，填料室7的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置14，排泄锥喷嘴喷淋装置14下方设置有文丘里管16，文丘里管16底部与填料室横隔板23固定连接，填料室横隔板23在对应于文丘里管16的管口处还开设有与文丘里管16的管口相配的孔，水箱2顶端装有向水箱2补水的补水口17、水箱2的底部装有排污口18和排净口19，初次洗涤室5下部装有通向壳体1外的溢流管道20，溢流管道20的溢流口高于初次洗涤室5的底面，壳体1外装有循环泵组21，循环泵组21的进水口通入水箱2液面下、出水口通过水管22与大流量喷嘴喷淋装置11、细雾高速喷嘴喷淋装置12及排泄锥喷嘴喷淋装置14相连，所述的填料室7至少有两个，填料室7分别通过一个通气管道10与二次洗涤室6相通，通气管道10的进口位于二次洗涤室6上部，出口正对填料室7的排泄锥喷嘴喷淋装置14，填料室7外部装有排气管道15，排气管道15下端接入各填料室7下部，排气管道15的上端为排气口15-1。

如图1所示，所述的进气口8处安装负压检测装置34，负压检测装置34接入pid控制器35的输入端，变频器36接入pid控制器35的输出端，负压检测装置34可对排气口15-1的负压实时检测，根据尾气排放量控制电机转速，实现对循环泵组21的控制。

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种废气处理装置，尤其是一种对沉积的工艺废气进行净化处理的外延炉废气净化器。至少两个填料室，填料室分别通过一个通气管道与二次洗涤室相通，通气管道的进口位于二次洗涤室上部，出口正对填料室的排泄锥喷嘴喷淋装置，填料室外部装有排气管道，排气管道下端接入各填料室下部。至少两个排泄锥喷淋装置同时工作，可提高设备的自生负压，最大可达到800Pa；负压检测装置还可对外延炉废气排放量实时检测，根据尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制循环泵组低速运转，以达到节能的效果。

技术研发人员：陈道斌
受保护的技术使用者：苏州博菡环保科技有限公司
技术研发日：2017.06.16
技术公布日：2017.09.12