罐以及药液调制装置的制作方法

本实用新型涉及罐以及药液调制装置，该罐将调制规定浓度的各种药液的调制槽与贮存调制出的药液的贮存槽构成为一体，以便能够设置为有效地利用有限的设置空间，该药液调制装置具备这种构成为一体的罐，且能够自动地调制规定浓度的各种药液。

背景技术：

各种各样的药液在各个产业领域中使用。为了最大限度地发挥作为药液的性能，这些药液需要是将有效成分以规定的浓度溶解于溶剂中而成的溶液。并且，开发并使用了自动地调制这种药液的药液调制装置。

药液调制装置具备在调制规定的浓度的药液时使用的调制槽。在多数情况下，药液调制装置不仅具备调制槽，还同时具备暂时贮存调制出的药液的贮存槽。并且，这些调制槽与贮存槽为药液调制装置中需要最大的设置空间的设备。

然而，在导入药液调制装置时，从最初便能够准备充足的设置空间的情况较少。经常不得不考虑将具有所需的调制容量的药液调制装置巧妙地设置在有效的设置空间中。在这种情况下，要求设计为能够将需要大的设置空间的调制槽与贮存槽设置为能够有效地利用有限的设置空间。

在专利文献1中公开了调制在半导体或液晶显示器的制造工艺中使用的显影液的药液调制装置。在专利文献1中，公开了分别独立地具备调制槽与贮存槽的以往型的药液调制装置，此外，公开了药液调制罐呈同轴状配置在药液贮存罐的内部的圆筒状的双重结构罐。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2002-324754号公报

然而，在专利文献1的双重结构罐中，为了将药液调制罐配置在药液贮存罐的内部，必需缩小药液调制罐。因此，在采用该双重结构罐的药液调制装置中，存在不得不削减作为药液调制装置的装置规格非常重要的调制容量的问题。

另外，在专利文献1的双重结构罐中，由于将药液调制罐配置在药液贮存罐的内部，因此难以对最要求充分地进行搅拌的药液调制罐的内部的药液进行搅拌，难以迅速地调制均匀的药液。

技术实现要素：

实用新型所要解决的课题

本实用新型是鉴于在先技术中发现的上述诸课题而完成的。即，本实用新型的目的在于提供如下的罐以及药液调制装置，该罐将调制槽与贮存槽以容易对调制槽进行搅拌的方式构成为一体，以便不极力削减调制容量即能够设置为有效地利用有限的设置空间，该药液调制装置具备这种构成为一体的罐，且能够自动地调制规定浓度的各种药液。

用于解决课题的方案

为了达成上述目的，本实用新型的罐具备如下特征，调制所设定的浓度的药液的调制槽与贮存所调制出的药液的贮存槽构成为一体。

本实用新型的优选方式的罐通过将调制槽与贮存槽中的任一方配置在另一方的内侧，从而将调制槽与贮存槽构成为一体。

在更优选的方式中，是贮存槽配置在调制槽的内侧且调制槽与贮存槽构成为一体的罐。此外，更优选该构成为一体的罐具备同轴双重圆筒形状。

本实用新型的优选方式的罐将调制槽与贮存槽隔开的隔壁是调制槽以及贮存槽的侧面的一部分，从而将调制槽与贮存槽构成为一体。即，通过两槽共用其侧面的一部分而构成为一体的罐。

本实用新型的优选方式的罐通过以调制槽的底面成为贮存槽的上表面的方式将调制槽配置在贮存槽之上，从而将调制槽与贮存槽构成为一体。

本实用新型的优选方式的罐具备多个调制槽，上述多个调制槽与贮存槽构成为一体。

根据本实用新型的罐，与分别独立地具备调制槽与贮存槽的药液调制用罐相比，能够设置为有效地利用有限的设置空间。另外，本实用新型的罐能够容易地对调制槽进行搅拌，从而迅速地调制均匀的药液。此外，与以往的罐相比，能够在不极力削减调制容量的情况下将调制槽与贮存槽构成为一体。

此外，在本实用新型的优选方式的罐中，在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁形成有供药液在调制槽与贮存槽之间流通的流路。此外，更优选形成有供气体在调制槽的上部空间与贮存槽的上部空间之间流通的气体连通路。

通过在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁设置供药液流通的流路、供气体流通的气体连通路，从而在本实用新型的优选方式的罐中，无需配备以能够使药液、气体在贮存槽与调制槽之间流通的方式连接的配管、送液泵等设备。因此，与需要这些配管的以往的罐相比，能够形成能更加有效地利用设置空间的罐。

为了达成上述目的，本实用新型的药液调制装置具备：罐，该罐的调制所设定的浓度的药液的调制槽与贮存由调制槽调制出的药液的贮存槽构成为一体；调制槽浓度测定机构，其测定调制槽的药液的浓度；以及控制机构，其根据调制槽浓度测定机构测定出的浓度来控制向调制槽供给的药液的原料的供给量，以使得由调制槽调制出的药液的浓度成为所设定的浓度。

本实用新型的优选方式的药液调制装置具备调制槽与贮存槽中的任一方配置在另一方的内侧的罐。在更优选的方式中，是具备贮存槽配置在调制槽的内侧的构成为一体的罐的药液调制装置。此外，更优选是具备该构成为一体的罐具备同轴双重圆筒形状的药液调制装置。

本实用新型的优选方式的药液调制装置具备罐，在该罐中，将调制槽与贮存槽隔开的隔壁是调制槽以及贮存槽的侧面的一部分，从而调制槽与贮存槽构成为一体。即，是具备通过两槽共用其侧面的一部分而构成为一体的罐的药液调制装置。

本实用新型的优选方式的药液调制装置具备罐，在该罐中，通过以调制槽的底面成为贮存槽的上表面的方式将调制槽配置在贮存槽之上，从而调制槽与贮存槽构成为一体。

本实用新型的优选方式的药液调制装置具备多个调制槽与贮存槽构成为一体的罐，在上述多个调制槽的每一个配备有测定该调制槽中的药液的浓度的调制槽浓度测定机构。

根据本实用新型的药液调制装置，与分别独立地具备调制槽与贮存槽的药液调制装置相比，能够设置为有效地利用有限的设置空间。另外，本实用新型的药液调制装置能够容易地对调制槽进行搅拌，从而迅速地调制均匀的药液。此外，与具备以往的罐的药液调制装置相比，能够在不极力削减调制容量的情况下将调制槽与贮存槽构成为一体。

本实用新型的优选方式的药液调制装置还具备测定贮存槽的药液的浓度的贮存槽浓度测定机构。

根据该方式的药液调制装置，还能够监视贮存于贮存槽中等待供给的状态下的药液的浓度。此外，能够将由贮存槽浓度测定机构测定出的药液的浓度应用于使所设定的浓度的药液更高精度地成为设定浓度。

此外，在本实用新型的优选方式的药液调制装置中，在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁形成有供药液在调制槽与贮存槽之间流通的流路。此外，更优选形成有供气体在调制槽的上部空间与贮存槽的上部空间之间流通的气体连通路。

通过在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁设置供药液流通的流路、供气体流通的气体连通路，从而在本实用新型的优选方式的药液调制装置中，无需配备以能够使药液、气体在贮存槽与调制槽之间流通的方式连接的配管、送液泵等设备。因此，与需要这些配管的以往的药液调制装置相比，能够形成能更加有效地利用设置空间的药液调制装置。

实用新型效果

本实用新型所涉及的药液调制用的罐能够设置为有效地利用有限的设置空间。本实用新型所涉及的药液调制用的罐能够无需极力削减调制容量。另外，在本实用新型所涉及的药液调制用的罐中，容易对由调制槽调制出的药液进行搅拌。因此，能够迅速地得到均匀的药液。

同样，本实用新型的药液调制装置能够设置为有效地利用有限的设置空间。本实用新型的药液调制装置能够无需极力削减调制容量。另外，本实用新型的药液调制装置容易对由调制槽调制出的药液进行搅拌。因此，能够迅速地得到均匀的药液。

附图说明

图1是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的罐的立体图。

图2是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图3是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图4是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图5是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图6是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图7是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图8是通过在调制槽的内侧具备贮存槽而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图9是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的罐的立体图。

图10是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的另一罐的立体图。

图11是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的另一罐的立体图。

图12是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的另一罐的立体图。

图13是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的另一罐的立体图。

图14是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的另一罐的立体图。

图15是调制槽与贮存槽通过共用侧面的一部分而构成为一体的另一罐的立体图。

图16是通过将调制槽设置在贮存槽之上而将它们构成为一体的罐的立体图。

图17是通过将调制槽设置在贮存槽之上而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图18是通过将调制槽设置在贮存槽之上而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图19是通过将调制槽设置在贮存槽之上而将它们构成为一体的另一罐的立体图。

图20是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的罐的立体图。

图21是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图22是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图23是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图24是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图25是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图26是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图27是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图28是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图29是将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的另一罐的立体图。

图30是药液调制装置的示意图。

图31是罐的立体图。

图32是将罐沿水平方向切断的剖视图。

附图标记说明

1…计算机(控制机构)，2…贮存槽，3、3A、3B…调制槽，4…罐，5…药液供给配管，6…积算流量计，8…流路，9…气体连通路，10…药液调制装置，11、12…药液原料贮存罐，13、14、15、16、17、18、19…控制阀，21…贮存槽浓度测定机构，22…第二液面计，23、33…循环搅拌泵，24、34…循环管路，25…送液泵，26，35…喷流搅拌装置，31…调制槽浓度测定机构，32…第一液面计，41…纯水供给配管，42…药液原料补充配管，43…药液原料供给配管，44、45、46、47、48、49、92…信号线，51…纯水入口，52…药液原料入口，53…药液供给口，60…氮气入口，62、65…氮气供给配管，70…支承脚，90…药液使用设备，100…隔壁，102…底面，104…调制槽隔壁。

具体实施方式

以下，适当参照附图对本实用新型的优选实施方式进行详细说明。其中，上述实施方式所记载的装置的形状、大小、尺寸比、其相对配置等在无特别说明的情况下不将本实用新型的范围的限定于图示范围。作为单纯的说明例，仅仅是示意性地进行图示。

以下说明的第一实施方式至第四实施方式用于对本实用新型的罐的优选实施方式进行说明。作为这些实施方式中共用的特征，能够列举调制槽与贮存槽构成为一体。通过将两槽构成为一体，与将它们分别独立地设置的情况相比，能够有效地利用设置空间。

需要说明的是，为了对第一实施方式至第四实施方式的罐进行说明，使用图1～图29中记载的罐的立体图。对于这些附图中描绘的罐而言，着重对各实施方式中调制槽与贮存槽如何构成为一体进行说明，因此对于与罐的主要结构关联较少的其他结构、仪表类省略图示。

但是，这并不表示不需要这些附图中未图示的其他结构、仪表类。根据需要，在适当的位置，以适当的方式配备有未图示的其他结构、仪表类。作为这些附图中未图示的其他结构、仪表类，例如能够列举用于支承罐的脚部；用于向调制槽供给药液的原料的供给机构、配管等；用于搅拌药液的搅拌机构；用于管理药液的浓度、液量的各种测定机构、管理机构；用于将调制出的药液向罐外供给的供给机构、配管类；设置于隔壁的药液用的流路、气体连通路等。

另外，在图1～图29中描绘出非常简化的罐，但本实用新型的罐不限于这些附图中图示的简化方式。在不变更实用新型的本质的范围内，还包括罐的设计、在制作的现场经常进行那样的少量变更。

作为这种变更，例如能够列举如下变更。为了防止局部的搅拌不良、液体积存，将罐内部的角部形成为适当的曲率的曲面；为了提高罐的强度，使侧部的平面带有略微的曲率而形成为曲面，或将罐底面、上表面形成为大致碗型(bowl-shaped)的曲面；为了防止在从罐底部排出液体时的液体残留，将罐底部形成为漏斗状或曲面；在无需将罐形成为密封结构的情况下将罐上表面形成为开放状态；或者为了防止从密封的罐的上部空间排出气体时的气体残留，将上部形成为曲面等。

第一实施方式至第三实施方式示出针对一个贮存槽具备一个调制槽的情况下的构成为一体的罐的优选实施方式。

[第一实施方式]

本实施方式的罐是通过将调制槽与贮存槽中的一方配置在另一方的内侧从而将调制槽与贮存槽构成为一体的罐。哪一方在内侧哪一方在外侧并不特别限定。但是，若以在调制槽中配备有贮存槽的方式将调制槽与贮存槽构成为一体，则容易对需要充分的搅拌的调制槽中进行搅拌，从而更为优选。特别是，在与贮存容量相比调制容量大更为重要的情况下，通过将调制槽配置在贮存槽的外侧，从而比较容易将调制槽制作得较大，较为适合。

图1～8例示通过在调制槽的内侧配备贮存槽而将调制槽与贮存槽构成为一体的本实施方式的罐。但是，并非想要将本实施方式所涉及的构成为一体的罐限定为在调制槽的内侧配备有贮存槽的罐。也可以为使两槽的内、外的配置相反的方式的罐，即，在贮存槽的内侧配备有调制槽的罐。即便是在贮存槽的内侧配备有调制槽的罐，若与专利文献1所图示的同轴双重圆筒形状的罐不同，则与同轴双重圆筒形状的罐相比会起到更加优异的效果。即，即便是在贮存槽的内侧配备有调制槽的罐，例如，在不呈同轴状，或不呈圆筒形状而是呈大致立方体或大致长方体形状等的情况下，与以下使用图1～8说明的在调制槽的内侧配备有贮存槽的罐相同地，基于能够更加有效地利用设置空间的观点，具有比专利文献1所图示的同轴双重圆筒形状的罐更加优异的效果。

对于图1所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为纵置的同轴双重圆筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。即，以在圆筒形状的调制槽3的内侧同样呈圆筒形状的贮存槽2共用中心轴而配置的方式构成为一体的罐。罐4的水平方向的剖面中的调制槽3的半径与贮存槽2的半径的比率不限于图1，按照所需的调制槽的内容积、贮存槽的内容积等而适当地自由设计。在此，纵置的圆筒形状是指圆筒的中心轴沿着纵向(铅垂方向)。

根据该方式的罐，不仅容易对调制槽3内进行搅拌，而且能够得到非常顺畅的搅拌流，适于对调制槽3内的药液进行充分搅拌。特别是在采用通过喷流对调制槽3内的药液进行搅拌的喷流搅拌方式的情况下，容易引起搅拌流，较为适合。

对于图2所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为纵置的同轴双重筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。在图2中，调制槽3呈大致桶形状，贮存槽2呈圆筒形状，但不限于此。也可以调制槽3、贮存槽2这两方均呈大致桶形状(barrel-shaped)，还可以调制槽3呈圆筒形状而贮存槽2呈大致桶形状。贮存槽2与调制槽3同轴。与图1的情况相同，两槽的水平剖面中的半径比能够根据各种设计条件而适当地自由设计。对于大致桶形状的侧面的鼓起程度，也不限于图2而能够自由设计。

根据该方式的罐，与图1的情况的罐相同，容易对调制槽3内的药液进行搅拌从而能够充分地进行搅拌，容易产生顺畅的搅拌流，容易引起搅拌流。此外，通过使外侧的调制槽3的侧面鼓起，从而与将侧面形成为圆筒形状的情况相比，能够增大调制槽3的内容积。此外，对于外观形状能够形成为更加优美的设计。

作为使用图1以及图2示出的实施方式的罐的变形例，能够列举罐的水平方向的剖面的形状为椭圆形的图1或者图2的罐。除外侧的调制槽3与内侧的贮存槽2均具有椭圆形的剖面形状的情况以外，也可以外侧的调制槽3具有椭圆形的剖面而内侧的贮存槽2具有圆形的剖面。在两槽均具有椭圆形的剖面的情况下，两槽的椭圆形剖面可以为彼此相似的形状，也可以不相似。两槽的椭圆形剖面的长轴以及短轴的方向可以相同，也可以不同。

根据该变形例的罐，在罐的设置空间的地面呈长方形的情况下，与设置图1、图2这样的剖面形状呈圆形的罐相比，能够尽可能地将调制槽的内容积等确保得较大，并且能够更加有效地利用罐的设置空间。

对于图3所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为双重筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。罐4的外形呈大致立方体或大致长方体形状，贮存槽2呈纵置的圆筒形状。

根据该方式的罐，在罐的设置空间的地面呈正方形、长方形的情况下，与设置圆筒形状的罐相比，能够尽可能地将调制槽的内容积确保得较大，并且能够更加有效地利用罐的设置空间。

对于图4所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为双重筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。罐4的外形呈大致立方体或大致长方体形状，贮存槽2呈大致立方体或大致长方体形状。需要说明的是，在图4中绘出外侧的调制槽3的水平方向的剖面形状的角的某一方向与内侧的贮存槽2的水平方向的剖面形状的角的某一方向相同的情况，换言之，绘出在俯视观察时调制槽3的对角线与贮存槽2的对角线重叠的情况，但不限于此。内槽与外槽的剖面的角的方向也可以不相同。

该方式的罐能够视为使用图3示出的实施方式的罐的变形例，具有与使用图3示出的实施方式同样的效果。即，在罐的设置空间的地面呈正方形、长方形的情况下，与设置圆筒形状的罐相比，能够尽可能地将调制槽的内容积确保得较大，并且能够更加有效地利用罐的设置空间。此外，在该方式的罐中，内侧的贮存槽2具有角，从而使外侧的调制槽3内的搅拌流产生适当的絮乱，从而促进了搅拌、混合。

对于图5所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为纵置的同轴双重筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。虽然以调制槽3呈水平剖面为六边形的筒状、贮存槽2呈圆筒形状的方式绘出，但不限于此。外侧的调制槽3的剖面也可以呈任意的多边形形状，另外，内侧的贮存槽2的剖面也可以呈任意的多边形形状、椭圆形形状。内侧的贮存槽2也可以呈大致桶型形状。需要说明的是，在图5中，贮存槽2与调制槽3同轴。

根据该方式的罐，即便罐的设置空间的地面是任意的形状，也能够形成能按照其设置空间而尽可能地将调制槽的内容积确保得较大、并且最大限度地有效利用罐的设置空间的罐。另外，根据该方式的罐，能够相对廉价且容易地制作罐。例如，存下如下情况等：因罐的高度高等理由，在分别准备内侧的贮存槽2与外侧的调制槽3后，无法采用将贮存槽2悬吊而插入调制槽3的内侧这样的制作工序。在这种情况下，在准备好贮存槽2后，通过采用以包围贮存槽2的方式通过焊接等将调制槽3的侧面的板材无漏液地接合而组成调制槽3这样的制作工序，能够相对廉价且容易地制作。

对于图6所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为纵置的双重圆筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。贮存槽2与调制槽3各自的水平方向的剖面呈圆筒形状，但并不同轴，各自的中心轴偏心。

对于图7所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为纵置的双重筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。调制槽3呈大致椭圆筒形状，贮存槽2呈圆筒形状。贮存槽2与调制槽3并不同轴，各自的中心轴偏心。

图6以及图7的罐能够视为图1的罐的变形例。由于内槽与外槽并不同轴，因此能够在外槽即调制槽3内的一侧得到宽阔的空间，在这一点上有时比同轴的罐优异。

例如，在想要在调制槽3内设置搅拌装置、浓度计、液面计等，但采用同轴形状的罐无法确保充分的设置空间时等有利。例如，有在设置时必须与容器的壁面隔开充分距离而设置的类型的液面计，在设置这种液面计的情况下，若限定为同轴形状而设计罐则必须增大外槽的调制槽3，难以形成收纳于罐的设置空间的大小。在这种情况下，通过放弃同轴形状而如图6、图7那样形成为中心轴错开的双重结构的罐，能够在不改变外槽即调制槽3的大小的情况下，在调制槽3内确保液面计等的设置空间。

同样，对于使用图2～图5的附图说明的方式的罐，也能够列举如图6、图7所示的中心轴错开的方式的罐来作为它们的变形例。具有与使用图6、图7说明的方式的罐同样的效果。

对于图8所示的罐4而言，以贮存槽2配置在调制槽3的内侧、并且形成为横置的同轴双重圆筒形状的方式将调制槽3与贮存槽2构成为一体。在图8中，绘出同轴双重圆筒的罐形状，但不限于此。也可以为以不同轴而中心轴错开的方式组合而成的罐形状。调制槽3、贮存槽2也可以如使用图2～图5的附图说明的方式的罐那样，形成为采取椭圆筒、桶型、多边形筒、长方体、立方体等各种形状的罐形状。横置的圆筒形状是指圆筒的中心轴沿着横向(水平方向)。

根据该方式的罐，在罐的设置空间在高度方向上受限而在横向上宽阔的情况下，能够形成为不增高高度而能够有效地利用横向的设置空间的罐。或者，通过脚部支承罐，能够在罐的下方的空间设置送液泵、配管类等。

需要说明的是，第一实施方式的罐是通过将调制槽与贮存槽中的一方呈嵌套状配置在另一方的内侧而构成为一体的罐。在该情况下，配置在内侧的槽的壁面成为将贮存槽2与调制槽3隔开的隔壁100。在此，根据需要适当形成供药液流通的流路、供气体流通的气体连通路。

[第二实施方式]

本实施方式的罐是通过使将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁100成为调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分而构成为一体的罐。即，调制槽3与贮存槽2将其侧面的一部分设为隔壁100共用而构成为一体的罐。根据本实施方式的罐，不仅能够有效地利用罐的设置空间，并且与将调制槽以及贮存槽以嵌套状组合而成的罐相比，在调制槽内和贮存槽内均容易进行搅拌，故而优选。

图9所示的罐4是将调制槽3与贮存槽2隔着隔壁100接合而一体化的罐，该调制槽3与贮存槽2呈将圆筒沿中心轴切成两半而成的半圆筒形状。隔壁100构成调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈纵置的圆筒形状。需要说明的是，隔壁100是平面。

根据该实施方式的罐，不仅能够有效地利用罐的设置空间，并且与将调制槽以及贮存槽2以嵌套状组合而成的罐相比，在调制槽内和贮存槽内均容易进行搅拌。

图10所示的罐4是将调制槽3与贮存槽2隔着隔壁100接合而一体化的罐，该调制槽3与贮存槽2呈将圆筒的一部分沿中心轴切除而成的形状。隔壁100构成调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈大致葫芦形状。隔壁100是平面。需要说明的是，在图10中绘出为调制槽3与贮存槽2隔着隔壁100对称，但不限于该情况。例如，也可以仅将贮存槽2形成为半圆筒形状等，适当变更调制槽3与贮存槽2的大小、形状等而组合。

该方式的罐能够视为图9所示的方式的罐的变形例，起到同样的效果。另外，在使用图10说明的方式的罐中，还能够自由地设计调制槽3、贮存槽2的内容积。

图11所示的罐4是将贮存槽2与圆筒形状的调制槽3的侧面接合而一体化的罐，该贮存槽2呈将圆筒的一部分沿中心轴切除而成的形状。调制槽3的侧面中的堵塞贮存槽2的侧面的切口部分的部分成为隔壁100。隔壁100构成调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈大致葫芦形状。调制槽3与贮存槽2也可以相反地设置。需要说明的是，在本实施方式中，隔壁100是弯曲面。

该方式的罐能够视为图10所示的方式的罐的变形例，具有同样的效果。另外，与使用图10说明的方式的罐相比，调制槽3可以保持圆筒形状而无需切断，因此制作的工时减少从而能够容易地制作。

图12所示的罐4是将呈长方体或立方体形状的调制槽3与贮存槽2以横向排列的方式接合而一体化的罐。隔壁100构成调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈大致长方体形状或大致立方体形状。需要说明的是，在本实施方式中，隔壁100是平面。

根据该方式的罐，在罐的设置空间的地面呈正方形、长方形等情况下，与剖面形状呈将圆组合而成的大致葫芦形状相比，能够更加有效地利用罐的设置空间。

图13所示的罐4是图9所示的罐4变形例，其剖面形状呈椭圆或长圆形状。隔壁100构成调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈大致椭圆筒形状。调制槽3与贮存槽2可以形成为隔着隔壁100对称。需要说明的是，在本实施方式中，隔壁100是平面。

根据该方式的罐，在罐的设置空间的地面呈长方形的情况下，与将剖面形状设为图9、10、11的形状相比，能够更加有效地利用罐的设置空间。

图14所示的罐4是将调制槽3与贮存槽2隔着隔壁100接合而一体化的罐，该调制槽3与贮存槽2呈将圆筒沿中心轴切成两半而成的半圆筒形状。隔壁100构成调制槽3以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈横置的圆筒形状。横置的圆筒形状是指圆筒的中心轴沿着横向(水平方向)。需要说明的是，在本实施方式中，隔壁100是平面。

根据该方式的罐，在罐的设置空间在高度方向上受限而在横向上宽阔的情况下，能够形成为不增高高度而能够有效地利用横向的设置空间的罐。若通过脚部支承罐，则能够在罐的下方的空间设置送液泵、配管类等。

图15所示的罐4是将调制槽3与大致立方体形状或大致长方体形状的贮存槽2的侧面接合而一体化的罐，该调制槽3呈将圆筒的一部分沿中心轴切除而成的形状。调制槽3也可以呈将椭圆筒的一部分切除而成的形状。贮存槽2的水平方向的剖面可以不呈四边形而是呈其他多边形。贮存槽2与调制槽3也可以相反地设置。需要说明的是，在本实施方式中，隔壁100是平面。

根据该方式的罐，调制槽3呈将圆筒的一部分切除而成的形状，因此容易在调制槽3内的药液中引起搅拌流，从而容易进行搅拌。特别是在通过喷流进行搅拌的情况下，容易通过喷流而使槽内的药液流动。另一方面，贮存槽2呈大致立方体或大致长方体的形状，因此在相同的设置面积内与设置圆筒形状的贮存槽相比，能够增大贮存槽的内容积，能够更加有效地利用罐的设置空间。

[第三实施方式]

本实施方式的罐以调制槽3的底面成为贮存槽2的上表面的方式将调制槽3配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3与贮存槽2构成为一体。根据本实施方式的罐，不仅能够有效地利用罐的设置空间，并且与将调制槽3以及贮存槽2以嵌套状组合而成的罐相比，在调制槽内和贮存槽内均容易进行搅拌，故而优选。

对于图16所示的罐4而言，以调制槽3的底面102成为贮存槽2的上表面的方式将调制槽3配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3与贮存槽2构成为一体。底面102也是将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁。罐4的外形呈纵置的圆筒形状。调制槽3与贮存槽2也可以不具有相同的直径。

该方式的罐适于罐的设置空间在水平方向上受限而在高度方向上不受限的情况等。与单独地设置调制槽与贮存槽的情况相比，能够通过与一个贮存槽相应的地板占有面积，设置与设置两槽同等的罐。另外，根据该方式的罐，与将调制槽3以及贮存槽2以嵌套状组合而成的罐相比，在调制槽内和贮存槽内均容易进行搅拌。此外，在该方式的罐中，将调制槽配备在贮存槽之上，因此若在底面102(隔壁)配备有供药液从调制槽3向贮存槽2流通的流路，则当因从贮存槽2向罐外供给药液而使贮存槽2内的液量减少时，减少量的药液自然地从调制槽3通过该流路向贮存槽2移送。贮存槽2内的药液无需送液泵等而自动地从调制槽3补给。

对于图17所示的罐4而言，以调制槽3的底面102成为贮存槽2的上表面的方式将调制槽3配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3与贮存槽2构成为一体。底面102也是将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁。罐4的外形呈大致长方体形状或大致立方体形状。调制槽3与贮存槽2可以不具有相同的大小。

根据该方式的罐，除得到与使用图16说明的方式的罐同样的效果以外，在罐的设置空间的地面呈正方形、长方形的情况下，与设置水平方向的剖面呈圆形、椭圆形的罐相比，能够有效地利用设置空间，能够增大两槽的内容积。

对于图18所示的罐4而言，以调制槽3的底面102成为贮存槽2的上表面的方式将调制槽3配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3与贮存槽2构成为一体。底面102也是将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁。罐4的外形呈大致椭圆筒形状。调制槽3与贮存槽2可以不具有相同的大小。

根据该方式的罐，除得到与使用图16说明的方式的罐同样的效果以外，在罐的设置空间的地面呈长方形的情况下，与设置水平方向的剖面呈圆形的罐相比，能够有效地利用设置空间，能够增大两槽的内容积。

对于图19所示的罐4而言，以调制槽3的底面102成为贮存槽2的上表面的方式将调制槽3配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3与贮存槽2构成为一体。底面102也是将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁。罐4的外形呈横置的圆筒形状。横置的圆筒形状是指圆筒的中心轴沿着横向(水平方向)。

根据该方式的罐，除得到与使用图16说明的方式的罐同样的效果以外，在罐的设置空间在高度方向上受限而在横向上宽阔的情况下，能够形成为不增高高度而能够有效地利用横向的设置空间的罐。若通过脚部支承罐，则能够在罐的下方的空间设置送液泵、配管类等。

[第四实施方式]

在本实施方式中，作为具备多个调制槽的例子，例示将两个调制槽与一个贮存槽构成为一体的罐。多个调制槽以至少与贮存槽邻接的方式配置，或者上下配置，从而构成为一体。

对于图20所示的罐4而言，将贮存槽2配置在调制槽的内侧，从而将调制槽以及贮存槽2构成为一体。对于调制槽而言，两个调制槽3A与3B以调制槽3A的底面102成为调制槽3B的上表面的方式上下层叠。贮存槽2贯通调制槽3A与调制槽3B。罐4的外形呈纵置的圆筒形状。贮存槽2的侧面成为将调制槽3A、3B与贮存槽2隔开的隔壁100。需要说明的是，在图20中绘出将贮存槽配置在上下分成两层的调制槽的内侧的同轴双重圆筒形状的罐，但不限于此。也可以采用不同轴而中心轴错开的变形例、具有椭圆、多边形的剖面的变形例等第一实施方式中说明的各种变形例。另外，调制槽3A、3B可以不具有相同的大小。

根据该方式的罐，除能够得到与第一实施方式中说明的方式的罐同样的效果以外，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。

对于图21所示的罐4而言，通过将两个调制槽3A、3B配置在贮存槽2中，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。罐4的外形呈大致椭圆筒形状。调制槽3A、3B呈纵置的圆筒形状。

根据该方式的罐，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制。能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。

对于图22所示的罐4而言，以两个调制槽3A、3B与一个贮存槽2形成为一个圆筒形状的方式，将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。隔壁100构成调制槽3A、3B以及贮存槽2的侧面的一部分。罐4的外形呈纵置的圆筒形状。需要说明的是，在图22中，隔壁100由三个平面构成，各平面从罐4的中心轴朝向罐4的侧面延伸。在图22中以将圆筒三等分的方式绘出，但不限于此。也可以不三等分。该情况可以包括使隔壁100的中心轴上的接合的角度从120度起改变从而改变各槽的内容积的情况，也可以包括通过使隔壁100的接合位置偏离圆筒的中心轴从而改变各槽的内容积的情况。

根据该方式的罐，不仅能够有效地利用罐的设置空间，而且在外观上也能够如成为一个罐那样优美地设计。当然，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制。

对于图23所示的罐4而言，将调制槽3A、3B接合于大致长方体形状的贮存槽2的两侧面，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。隔壁100由贮存槽2与调制槽3A、3B相接的侧面构成。隔壁100均是平面。罐4的外形呈大致长方体形状或大致立方体形状。需要说明的是，在图23中绘出调制槽3A与3B配置为夹着贮存槽2的方式，但不限于此。

根据该方式的罐，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地供给所调制的药液。在罐的设置空间的地面呈正方形或长方形的情况下，与设置圆筒形状的罐相比，能够有效地利用设置空间，能够增大各槽的内容积。

对于图24所示的罐4而言，将半圆筒形状的两个调制槽3A、3B接合于大致长方体形状的贮存槽2的两侧面，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。隔壁100由贮存槽2与调制槽3A、3B相接的侧面构成。隔壁100均是平面。罐4的外形呈大致横长圆筒形状。也可以呈大致椭圆筒形状。需要说明的是，在图24中绘出调制槽3A与3B配置为夹着贮存槽2的方式，但不限于此。此外，也能够列举隔壁100不是平面而是曲面的变形例。例如，调制槽3A、3B呈圆筒形状的情况等(隔壁100为该圆筒的侧面的一部分)。

根据该方式的罐，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。在外观上也能够如成为一个罐那样优美地设计。

对于图25所示的罐4而言，使呈将圆筒的一部分沿着中心轴切除而成的形状的两个调制槽3A、3B与呈大致立方体或大致长方体形状的一个贮存槽2接合，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。隔壁100构成调制槽3A以及贮存槽2的侧面的一部分，另一隔壁100构成调制槽3B以及贮存槽2的侧面的一部分。需要说明的是，在图25中，隔壁100由两个平面构成，但不限于此。也能够列举隔壁100不是平面而是曲面的变形例。例如，调制槽3A、3B呈圆筒形状的情况等(隔壁100为该圆筒的侧面的一部分)。另外，在图25中绘出调制槽3A与3B配置为夹着贮存槽2的方式，但不限于此。

根据该方式的罐，调制槽3A、3B呈将圆筒的一部分切除而成的形状，因此容易在调制槽3A、3B内的药液中引起搅拌流，从而容易进行搅拌。特别是在通过喷流进行搅拌的情况下，容易通过喷流而使槽内的药液流动。另一方面，贮存槽2呈大致立方体或大致长方体的形状，因此在相同的设置面积内与设置圆筒形状的贮存槽相比，能够增大贮存槽的内容积，能够更加有效地利用罐的设置空间。另外，根据该方式的罐，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。

对于图26所示的罐4而言，以调制槽3A与调制槽3B的底面102成为贮存槽2的上表面的方式，将调制槽3A、3B配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。底面102也是将调制槽3A、3B与贮存槽2隔开的隔壁。罐4的外形呈纵置的圆筒形状。调制槽3A、3B与贮存槽2也可以不具有相同的直径。另外，罐4的外形也可以呈椭圆筒形状等。将调制槽3A与调制槽3B隔开的调制槽隔壁104构成调制槽3A与调制槽3B的侧面的一部分，从而将调制槽3A与调制槽3B构成为一体的罐。

该方式的罐适于罐的设置空间在水平方向上受限而在高度方向上不受限的情况等。与单独地设置调制槽与贮存槽的情况相比，能够通过与一个贮存槽相应的地板占有面积，设置与设置两槽同等的罐。另外，根据该方式的罐，与将调制槽以及贮存槽以嵌套状组合而成的罐相比，在调制槽内和贮存槽内均容易进行搅拌。此外，在该方式的罐中，将调制槽配备在贮存槽之上，因此若在底面102(隔壁)配备有供药液流通的流路，则当因向罐外供给药液而使贮存槽2内的液量减少时，减少量的药液自然地从调制槽3A、3B分别通过该流路向贮存槽2移送。贮存槽2内的药液无需送液泵等而自动地从调制槽3A、3B补给。此外，根据该方式的罐，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。

对于图27所示的罐4而言，以被调制槽隔壁104隔开的调制槽3A与调制槽3B的底面102成为贮存槽2的上表面的方式，将调制槽3A、3B配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。罐4的外形呈大致长方体形状或大致立方体形状。

根据该方式的罐，除得到与使用图26说明的方式的罐同样的效果以外，在罐的设置空间的地面呈正方形、长方形的情况下，与设置水平方向的剖面呈圆形、椭圆形的罐相比，能够有效地利用设置空间，能够增大两槽的内容积。

对于图28所示的罐4而言，被调制槽隔壁104隔开的两个调制槽3A、3B与一个贮存槽2以形成圆筒形状的外形的方式构成为一体。贮存槽2配置在调制槽3A、3B之下。调制槽3A与调制槽3B的底面102成为贮存槽2的上表面。底面102也是将调制槽3A、3B与贮存槽2隔开的隔壁。罐4的外形呈横置的圆筒形状。也可以呈椭圆筒形状。需要说明的是，在本实施方式中，隔壁100由三个平面构成，各平面从罐4的中心轴朝向罐4的侧面延伸。

根据该方式的罐，在罐的设置空间在高度方向上受限而在横向上宽阔的情况下，能够形成为不增高高度而能够有效地利用横向的设置空间的罐。若通过脚部支承罐，则能够在罐的下方的空间设置送液泵、配管类等。另外，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。

对于图29所示的罐4而言，被调制槽隔壁104隔开的两个调制槽3A、调制槽3B与一个贮存槽2以形成圆筒形状的外形的方式构成为一体。以调制槽3A与调制槽3B的底面102成为贮存槽2的上表面的方式，将调制槽3A、3B配置在贮存槽2之上，从而将调制槽3A、3B以及贮存槽2构成为一体。罐4的外形呈横置的圆筒形状。也可以呈椭圆筒形状。

根据该方式的罐，在罐的设置空间在高度方向上受限而在横向上宽阔的情况下，能够形成为不增高高度而能够有效地利用横向的设置空间的罐。若通过脚部支承罐，则能够在罐的下方的空间设置送液泵、配管类等。另外，由于具备两个调制槽，因此即便任一方发生故障，也能够通过另一方的调制槽继续进行药液的调制，能够不中断而连续地向贮存槽供给由调制槽调制的药液。

以上，以针对一个贮存槽2具备两个调制槽3A、3B的罐4为例，对具备多个调制槽且构成为一体的罐进行了说明，但本实用新型不限于此。例如，也可以为针对一个贮存槽具备三个以上的调制槽且构成为一体的罐。例如，也可以为针对两个贮存槽具备三个调制槽且构成为一体的罐等。在上述情况下，也与之前参照附图说明的由一个贮存槽与两个调制槽构成为一体的罐的例子同样地考虑罐的结构即可。

调制槽与贮存槽构成为一体的上述各实施方式的罐优选至少在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁，形成有供药液在调制槽与贮存槽之间流通的流路。

作为这种流路，例如可以考虑设置于隔壁的开口、狭缝、切口等。流路可以为一个也可以为多个。流路总之是指设置于隔壁的药液的通道，以在贮存槽内的药液减少时使调制槽内的药液自然地流入贮存槽内。

在调制槽与贮存槽共用其侧面的一部分而构成为一体的罐的情况、在调制槽的内侧配置有贮存槽的双重结构的纵置型罐的情况下，优选在隔壁的下方设置切口等。更优选以在隔壁与罐的底面之间存在间隙的方式设置隔壁。这样一来，能够消除罐下部的液体残留、液体存积。

在以调制槽的底面成为贮存槽的上表面的方式在贮存槽之上设置调制槽而构成为一体的罐的情况下，调制槽的底面成为将调制槽与贮存槽隔开的隔壁。在该情况下，作为流路，优选使调制槽的底面向贮存槽侧弯曲并在其最下部附近设置开口。能够消除调制槽下部的液体残留、液体存积。

通过在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁设置供药液流通的流路，能够得到如下的效果。在因向罐外的设备供给药液而使贮存槽内的药液减少的情况下，在调制槽内调制的药液能够自然地流入贮存槽内，从而防止贮存槽变空。能够实现药液的连续供给。另外，不需要在没有这种流路的情况下所需的用于将调制槽的药液向贮存槽内移送的配管、送液泵等。因此，不需要这种配管、送液泵等所需的设置空间，能够进一步增大罐的设置空间。

调制槽与贮存槽构成为一体的上述各实施方式的罐优选至少在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁还形成有供气体在调制槽的上部空间与贮存槽的上部空间之间流通的气体连通路。

作为这种气体连通路，例如可以考虑设置于隔壁的开口、狭缝、切口等。气体连通路可以为一个也可以为多个。气体连通路总之是指设置于隔壁的气体的通道，以在调制槽与贮存槽之间使上部空间的气体能够自由来往。

在调制槽与贮存槽共用其侧面的一部分而构成为一体的罐的情况、在调制槽的内侧配置有贮存槽的双重结构的纵置型罐的情况下，优选在隔壁的上方设置切口等。更优选以在隔壁与罐的顶面之间存在间隙的方式设置隔壁。这样一来，在调制槽与贮存槽中使槽的内压相同。

在以调制槽的底面成为贮存槽的上表面的方式将调制槽设置在贮存槽之上而构成为一体的罐的情况下，作为气体连通路，优选使贯通成为隔壁的调制槽底面的配管沿着罐侧壁的内侧从贮存槽上部设置至调制槽上部。能够顺畅地进行药液相对于贮存槽的出入。

通过在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁设置气体连通路，能够得到如下的效果。不需要在没有气体连通路的情况下所需的设置于罐外的配管等。因此，不需要这种配管等所需的设置空间，能够进一步增大罐的设置空间。

接下来，对本实用新型所涉及的药液调制装置进行说明。

在以下的说明中，以半导体或液晶显示器基板的制造工艺为例进行说明。但是，本实用新型所应用的产业领域不限于此。在电池所使用的电解液的制造工艺等其他产业领域也能够应用本实用新型。另外，在以下的说明中，作为半导体或液晶显示器基板的制造工艺中使用的药液的具体例，适当使用在显影工序中主要作为显影液而使用的2.38％的四甲基氢氧化铵水溶液(以下，将四甲基氢氧化铵称作TMAH)来进行说明。

但是，本实用新型所应用的药液不限于此。作为本实用新型所能够应用的其他药液的例子，除显影液以外，能够列举蚀刻液、剥离液、防静电剂、或者清洗液等。

这些药液分别还存在多个种类、组成的药液。例如，作为显影液，此外能够列举氢氧化钾、氢氧化钠、磷酸钠、硅酸钠等无机化合物的水溶液、三甲基单乙醇氢氧化铵(胆碱)等有机化合物的水溶液等。例如，作为蚀刻液，能够列举草酸水溶液、硫酸与过氧化氢的混合水溶液、硫酸铜溶液、磷酸与醋酸与硝酸的混合水溶液、热磷酸、硝酸铈铵水溶液、氯化铁溶液等。例如，作为剥离液，能够列举二甲基亚砜系原液与纯水的溶液、N-甲基吡咯烷酮系原液与纯水的溶液、烷醇胺与乙二醇醚与纯水的溶液等水系抗蚀剂剥离液、单乙醇胺与丁基二甘醇与添加剂的混合溶液等非水系抗蚀剂剥离液等。

[第五实施方式]

图30是用于对本实施方式的药液调制装置进行说明的示意图。在本实施方式的说明中，对将浓度为20％的TMAH水溶液与纯水调配从而调制浓度为2.38％的TMAH水溶液的药液调制装置作为具体例来进行说明。

本实施方式的药液调制装置10包括：调制槽3与贮存槽2构成为一体的罐4、测定调制槽3的药液的浓度的调制槽浓度测定机构31、根据调制槽浓度测定机构31测定出的浓度来控制向调制槽3供给的药液的原料的供给量以使得由调制槽3调制出的药液的浓度成为设定的浓度的控制机构1、以及将调制出的药液向罐外的设备等送液的药液供给配管5等。

作为调制槽3与贮存槽2构成为一体的罐4，以贮存槽2配置在调制槽3的内部的同轴双重圆筒形状的罐为例进行说明。

但是，本实用新型所涉及的药液调制装置的罐不限于此。也可以通过在第一至第四实施方式的说明中列举的各种罐的方式，将贮存槽2与调制槽3构成为一体。关于本实用新型所涉及的药液调制装置的罐的贮存槽与调制槽如何构成为一体，与第一至第四实施方式的说明相同。在以下的说明中，省略关于药液调制装置的罐如何构成为一体的说明。

在罐4的调制槽3中设置有用于对调制槽3内的药液进行搅拌的喷流搅拌装置35。作为喷流搅拌装置35，优选使用喷嘴。喷流搅拌装置35与设置有循环搅拌泵33的循环管路34连接。

用于对调制槽3内的药液进行搅拌的机构不限于喷流搅拌装置。能够采用各种搅拌手法。可以使用使搅拌叶片旋转的搅拌装置，也可以为在槽内使搅拌件旋转的搅拌装置。在将槽内的药液排出然后再次返回槽内的返回循环搅拌方式中，优选在排出口使用喷嘴进行喷流搅拌。优选以在循环搅拌的配管中汇合的方式供给药液的原料，然后立即进行搅拌。能够迅速地得到浓度均匀的药液。

由调制槽3调整为所设定的浓度的药液向贮存槽2供给。药液通过形成于贮存槽2的侧面(即，将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁)的流路8，从调制槽3向贮存槽2移动。贮存槽2贮存进行浓度调整后的药液。在图30的实施方式中，贮存槽2的侧面(隔壁)设置为在侧面与罐4的底面之间存在间隙，该侧面与罐4的底面的间隙作为流路8而发挥功能。

另外，在贮存槽2的侧面(隔壁)形成有气体连通路9，以使得气体在贮存槽2的上部空间与调制槽3的上部空间之间流通。

在贮存槽2的底面设置有用于对贮存于贮存槽2的药液进行搅拌的喷流搅拌装置26。作为喷流搅拌装置26，优选使用喷嘴。喷流搅拌装置26与设置有循环搅拌泵23的循环管路24连接。贮存槽2的搅拌机构也与调制槽3的搅拌机构同样地，不限于喷流搅拌装置。能够采用各种搅拌方式。

在将20％的TMAH水溶液与纯水调配而调制2.38％的TMAH水溶液的情况下，成为原料的是20％的TMAH水溶液，将其从药液原料入口52经由药液原料补充配管42贮存于药液原料贮存罐11或12。

控制阀13～18经由信号线44与计算机1(控制机构)连接。计算机1经由信号线44将控制信号向控制阀13～18传递，从而对控制阀13～18进行开闭控制。在向药液原料贮存罐11填充20％的TMAH水溶液时，将控制阀13打开。在向药液原料贮存罐12填充20％的TMAH水溶液时，将控制阀15打开。

药液原料贮存罐11以及12通过从氮气入口60经由氮气供给配管62供给的氮气而被加压。经由与调制槽3连接的药液原料供给配管43，输送所贮存的20％的TMAH水溶液。在输送药液原料贮存罐11内的20％的TMAH水溶液时，将控制阀14与控制阀17打开。在输送药液原料贮存罐12内的20％的TMAH水溶液时，将控制阀16与控制阀17打开。

在由20％的TMAH水溶液调制2.38％的TMAH水溶液时，向20％的TMAH水溶液混入纯水而进行稀释。纯水从纯水入口51经由纯水供给配管41供给至调制槽3。在输送纯水时，将控制阀18打开。

调制槽3具备调制槽浓度测定机构31以及第一液面计32。调制槽浓度测定机构31对调制槽3内的药液进行抽样，并测定其浓度。第一液面计32测定调制槽3内的药液的液面的位置。另外，调制槽3内的药液通过配备于循环管路34的循环搅拌泵33以及喷流搅拌装置35而被循环搅拌。由此，调制槽3内的药液成为均匀的浓度。

在图30中，贮存槽2配置在调制槽3的内侧。向调制槽3供给的原液以及纯水贮存在调制槽3的内侧且贮存槽2的外侧的空间。在该空间内药液的原料被搅拌而混合，调制出浓度均匀的药液。能够通过喷流搅拌装置35在调制槽3内的药液中产生搅拌流，从而充分地对药液进行搅拌。另外，通过使喷流搅拌装置35间歇地工作，能够利用惯性力对药液进行搅拌。

也可以将图30中示出的一台循环搅拌泵33例如形成为排列配置的多个循环搅拌泵。通过设置多个循环搅拌泵，即使在假设一台循环搅拌泵发生故障的情况下，也能够使药液调制装置10连续地运转。

调制槽浓度测定机构31以及第一液面计32经由信号线45以及46与计算机1(控制机构)连接。计算机1监视由调制槽浓度测定机构31测定出的药液的浓度、以及由第一液面计32测定出的药液的液面位置。计算机1根据浓度、液面位置等测定值，以如下方式对控制阀13～18进行开闭控制。由此，能够以始终为规定的液量以及供给量的方式自动地调制规定浓度的药液、2.38％的TMAH水溶液。

例如，在调制槽3内的TMAH浓度低于2.38％的情况下，计算机1将控制阀14或16中的任一方与控制阀17打开，补充20％的TMAH水溶液。控制阀17是调节开时流量的开闭控制阀，计算机1以将控制阀17打开规定时间的方式进行控制，从而补给所需量的20％的TMAH水溶液。

例如，在调制槽3内的TMAH浓度高于2.38％的情况下，计算机1将控制阀18打开，补充纯水。控制阀18是调节开时流量的开闭控制阀，计算机1以将控制阀18打开规定时间的方式进行控制，从而补给所需量的纯水。

例如，在调制槽3内的液面位置降低了的情况下，适当将控制阀14或16中的任一方与控制阀17以及控制阀18打开，增加药液的调制量。

另外，在药液原料贮存罐11变空时，计算机1将控制阀14关闭，将控制阀13打开，向药液原料贮存罐11补充药液原料。同样，在药液原料贮存罐12变空时，计算机1将控制阀16关闭，将控制阀15打开，向药液原料贮存罐12补充药液原料。这样，计算机1确保在药液原料贮存罐11或12中的任一方必然填充有药液原料的状态。

由调制槽3调制出的2.38％的TMAH水溶液经由形成于贮存槽2的侧面(隔壁)的流路8向贮存槽2移动并贮存。当从贮存槽2向药液使用设备90供给药液而使贮存于内部的药液量减少时，由调制槽3调制出的药液经由流路8向贮存槽2移动。

在本实施方式中，将贮存槽2的开口底面设为流路8，但不限于此。例如，在贮存槽2具有侧面与底面的情况下，能够将形成于侧面以及底面中的至少一方的贯通孔设为流路8。

流路8具有使在调制槽3中产生的药液浓度的变动不会波及贮存槽2内部的浓度变动的缓冲作用。对于流路8的大小、形状、形成的位置，能够根据调制槽3、贮存槽2的容量、所供给的原液的液量、所使用的药液的液量而适当确定。

在图30所示的实施方式中，在将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁具有供药液流通的流路8，因此无需设置用于连通药液的连通配管。

贮存槽2也与调制槽3同样地具备贮存槽浓度测定机构21与第二液面计22。上述的贮存槽浓度测定机构21与第二液面计22也经由信号线47以及48与计算机2(控制机构)连接。计算机1根据贮存槽浓度测定机构21测定出的贮存槽2内的药液的浓度、以及第二液面计22测定出的贮存槽2内的药液的液面位置，适当地对控制阀13～18进行控制。控制与调制槽3的情况相同。贮存槽2的浓度变动非常小，因此实际上不进行内部的药液的浓度的监视、液量管理、以及供给量管理。

另外，贮存槽2内的药液通过配备于循环管路24的循环搅拌泵23以及喷流搅拌装置26而被循环搅拌。由此，贮存槽2内的药液维持为均匀的浓度。

贮存于贮存槽2的药液利用送液泵25通过药液供给配管5以及积算流量计6而从药液供给口53供给至药液使用设备90。药液使用设备90经由信号线92与计算机1连接。计算机1经由信号线92接收从使用者侧的药液使用设备90发出的药液供给请求信号。控制阀19经由信号线49与计算机1连接。计算机1根据来自药液使用设备90侧的使用者的要求，对配备于药液供给配管5的控制阀19进行开闭控制。由此，药液使用设备90能够在需要药液时以所需的量接受药液的供给。

若贮存槽2的药液减少，则通过调制槽3与贮存槽2的水位压力差将调制槽3内的药液经由流路8自然地向贮存槽2供给。通过调制槽3的液面下降，贮存槽2的液面上升，从而调制槽3与贮存槽2的液面大致保持恒定。在液面大致恒定时，调制槽3的液面下降。计算机1监视由第一液面计32测定出的药液的液面位置，因此根据该液面位置而对控制阀13～18进行开闭控制，以始终成为规定的液量的方式自动地调制规定浓度的药液、2.38％的TMAH水溶液。

TMAH水溶液具有强碱性，若液面暴露于大气中则吸收大气中的二氧化碳，产生浓度变动而劣化。如该例子那样，在防止药液与大气接触的情况下，有时向调制槽3、贮存槽2的上部导入氮气等密封气体。

在图30中，经由氮气供给配管65向调制槽3与贮存槽2供给氮气。所供给的氮气在调制槽3、贮存槽2的上部空间与在槽内气化的药液混合，成为湿润的气体。与槽内的液面位置的上下移动相应地，适当向槽内供给氮气或向槽外排出氮气。

在贮存槽2的侧面(将调制槽3与贮存槽2隔开的隔壁)形成有气体连通路9，若氮气向贮存槽的上部空间的供给通过从调制槽3的上部空间优先地供给来进行，则由于药液的蒸气而湿润的氮气导入至贮存槽2，因此与导入干燥的氮气的情况相比，能够抑制贮存槽2内的无谓的蒸发，能够有效地抑制贮存槽2内的药液的因蒸发产生的浓度变动。

通过气体连通路9而使气体在贮存槽2与调制槽3的上部空间流通，因此调制槽3与贮存槽2的内部的压力大致保持恒定。当调制槽3与贮存槽2的液面下降时，调制槽3与贮存槽2的内部的气体空间的体积增大，从而调制槽3与贮存槽2的内部压力下降。由此，氮气自然地供给至调制槽3与贮存槽2。

当通过向调制槽3供给原液以及纯水中的至少一方而使调制槽3与贮存槽2的液面上升时，调制槽3与贮存槽2的内部的气体空间的体积减小，从而调制槽3与贮存槽2的内部压力上升。由此，调制槽3与贮存槽2的内部的氮气自然地返回氮气供给配管65。

在上述的药液调制装置10的实施方式中，对将通过20％的TMAH原液稀释调配显影液即2.38％的TMAH水溶液的装置作为具体例而进行了说明。在该实施方式中说明的药液调制装置10的药液调制部分是典型的例子，但不将本实用新型限定于此。只要能够由原料调制药液使用设备90所需的成分浓度的药液，则能够采用各种方式。当然，药液调制装置10的药液调制部分能够根据想要调制的药液的种类而采用各种变形例。除通过纯水对原液进行稀释调配的情况以外，可以应用实现对多个药液进行调配的情况、通过固体原料进行调制的情况等各种调制方法的装置的结构。

另外，信号线44～49、92表示来自计算机1的控制信号的传递(路线)，信号线44～49、92可以是信号电缆，也可以是无线通信。

在上述的药液调制装置的说明中，根据对优选实施方式的药液调制装置10进行图示的图30进行了说明。但是，对于本实用新型所涉及的药液调制装置而言，图30所记载的结构并非全部是必需的。作为本实用新型的药液调制装置，只要由药液的原料调制所设定的浓度的药液，则包括各种变形例。

另外，将贮存槽2配置在调制槽3的内部的同轴双重圆筒形状的罐4作为例子进行了说明，但罐4不限于此。在不脱离本实用新型的范围内，能够将具有其他结构的罐应用于药液调制装置10。能够在将构成罐4的贮存槽2与调制槽3隔开的隔壁设置流路8。流路8能够设置在比贮存于贮存槽2的药液的液面以及贮存于调制槽3的药液的液面这两方的液面靠下方的位置。

能够在将构成罐4的贮存槽2与调制槽3隔开的隔壁设置气体连通路9。气体连通路9能够设置在比贮存于贮存槽2的药液的液面以及贮存于调制槽3的药液的液面这两方的液面靠下方的位置。

本实用新型的药液调制装置10主要具备：调制槽3，其调制所设定的浓度的药液；贮存槽2，其贮存由调制槽3调制出的药液；调制槽浓度测定机构31，其测定调制槽3的药液的浓度；以及控制机构(计算机1等)，其根据调制槽浓度测定机构31测定出的浓度来控制向调制槽3供给的药液的原料的供给量，以使得由调制槽3调制出的药液的浓度成为所设定的浓度，药液调制装置通过将贮存槽2与调制槽3构成为一体，能够有效地利用设置空间。

接下来，对罐4的详细结构进行说明。图31是罐4的立体图。图32是将双重结构罐沿水平方向切断的剖视图。如图31所示，罐4通过将圆筒状的调制槽3与贮存槽2以贮存槽2位于调制槽3的内部的方式呈同轴状配置的所谓双重圆筒结构构成。罐4被配备于调制槽3的多个支承脚70支承。

在图31中，在贮存槽2的侧面形成有两个贯通孔。该两个的贯通孔作为流路8而发挥功能。流路8由与贮存槽2的高度方向大致平行的狭缝状的贯通孔形成。然而，流路8不限于狭缝状的贯通孔，例如也可以应用圆形状的贯通孔、多个圆形状的贯通孔等。

如图31以及图32所示，两个喷流搅拌装置35在调制槽3的侧壁设置在相互对置的位置。通过喷流搅拌装置35在调制槽3内产生搅拌流，从而对药液进行均匀地搅拌。特别是，通过将罐4形成为双重圆筒结构，能够顺畅地对药液进行循环搅拌。

如图31所示，喷流搅拌装置26在贮存槽2的底面上设置在喷流方向朝向斜上方的位置。通过喷流搅拌装置26对浓度调整后的药液在贮存槽2内部进行循环搅拌。喷流搅拌装置35与喷流搅拌装置26的喷流方向可以是相同方向也可以是相反方向。如上述那样，通过使喷流搅拌装置35间歇地工作，能够利用惯性力对药液进行搅拌。同样，通过使喷流搅拌装置26间歇地工作，能够利用惯性力对药液进行搅拌。

在上述的实施方式中，作为罐4，以贮存槽2配置在贮存槽3的内侧、并且调制槽3与贮存槽2构成为一体的同轴双重圆筒形状的罐为例进行了说明，但调制槽3与贮存槽2构成为一体的罐4的结构不限于此。

接下来，调制槽与贮存槽构成为一体的罐也包括将单独的调制槽与贮存槽连结成一体的情况、将调制槽与贮存槽隔开的隔壁是调制槽以及贮存槽的侧面的一部分的情况、或者以调制槽的底面成为贮存槽的上表面的方式将调制槽配置在贮存槽之上的情况。

在将图20～29所示的罐4应用于药液调制装置10的情况下，能够在多个调制槽3的每一个中分别配备调制槽浓度测定机构31。

以上，对于参照附图对各实施方式进行说明的内容而言，对于在半导体、液晶显示器的制造工艺中使用的各种药液、电池的制造中使用的各种电解液、进行调制供给的药液调制装置也同样能够实施。