1.多频率的压电超声发生器，其特征在于，该压电超声发生器以硅为衬底，在硅衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极和MEMS悬臂梁桥墩；所述MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁阵列，所述MEMS悬臂梁阵列中的每个MEMS悬臂梁的一端固定在MEMS悬臂梁桥墩上，另一端为自由端；每个MEMS悬臂梁下方分别设置一个MEMS悬臂梁下拉电极，每个MEMS悬臂梁下拉电极上设置有压电材料层。
2.根据权利要求1所述的多频率的压电超声发生器，其特征在于，MEMS悬臂梁阵列中的每个MEMS悬臂梁长度均不相同。
3.根据权利要求1所述的多频率的压电超声发生器，其特征在于，MEMS悬臂梁阵列中的MEMS悬臂梁数目为5。
4.根据权利要求1所述的多频率的压电超声发生器，其特征在于，所述硅衬底为高阻硅SOI衬底。
5.根据权利要求1所述的多频率的压电超声发生器，其特征在于，压电材料为ZnO。