一种四氟化碳捕集器的制作方法

本实用新型涉及捕集器技术领域，具体涉及一种四氟化碳捕集器。

背景技术：

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，由于它的化学稳定性极强，四氟化碳还可用于金属冶炼和塑料行业等。由于四氟化碳结构极其稳定，采用现有的捕集器捕集效率低下。

技术实现要素：

为解决现有技术问题，本实用新型通过将含有四氟化碳的混合气体均匀分布到多个液化支管中，且使液化支管通过注满有液化介质的液化槽中，利用四氟化碳的液化温度较混合气体其他成分较高的特性，将混合气体的其他成分高效的进行液化，提高了捕集效率，可捕集到较为纯净的四氟化碳气体。

本实用新型具体采用以下技术方案：

一种四氟化碳捕集器，包括捕集器本体；

所述捕集器本体两侧分别设置有进气口和出气口，所述进气口连接有进气管，所述出气口连接有出气管；

所述捕集器本体内设置有液化槽，所述液化槽通过支架固定在所述捕集器本体的底部；

所述捕集器本体上下端分别设置有进液口和出液口；所述进液口连接有进液管的一端，所述进液管的另一端与所述液化槽的上端相连通；所述出液口连接有出液管的一端；所述出液管的另一端与所述液化槽的下端相连通；

所述进气管位于所述捕集器本体内部的一端连接有液化总管的一端，所述液化总管呈t字型，所述液化总管的另一端间隔均匀设置有多个出口，多个所述出口均连接有液化支管的一端，所述液化支管的另一端穿过所述液化槽且与所述出气管相连通。

作为本实用新型的一种改进，所述液化支管内上下端均固定设置有导流板，所述导流板与水平面的夹角为20°-40°。

作为本实用新型的一种改进，所述捕集器本体的上端设置有温度计，所述温度计的测温探头插入所述液化槽中。

作为本实用新型的一种改进，所述捕集器本体的上端设置有液位计，所述液位计的测量端伸入到所述液化槽中。

作为本实用新型的一种改进，所述捕集器本体内设置有干燥箱，所述干燥箱的进气口连接与所述液化支管的出气口相连通；所述干燥箱的出气口连接有所述出气管。

作为本实用新型的一种改进，所述捕集器本体上端设置有控制箱，所述控制箱内设置有控制系统，所述控制箱表面设置有控制面板；所述进气管、出气管上均设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制系统电连接。

本实用新型的有益效果：

通过将含有四氟化碳的混合气体均匀分布到多个液化支管中，且使液化支管通过注满有液化介质的液化槽中，将混合气体的其他成分高效的进行液化，提高了捕集效率，可捕集到较为纯净的四氟化碳气体；

通过在液化支管内设置与水平面成一定夹角的导流板，使混合气体从液化支管进口运动至出口并横穿过液化槽内部；

通过设置温度计，并使温度计的测温探头插入到液化槽中，可实时监测液化槽中液化介质的温度，保证液化的效率。

附图说明

图1为本实用新型一种四氟化碳捕集器的结构示意图；

附图标注：1-捕集器本体；10-支架；11-进气管；12-出气管；13-液化槽；14-进液管；15-出液管；16-干燥箱；17-控制箱；171-控制面板；20-液化总管；21-液化支管；211-导流板；3-温度计；4-液位计；5-电磁阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1所示，本实用新型的一个实施例公开了一种四氟化碳捕集器，包括捕集器本体1，所述捕集器本体1两侧分别设置有进气口和出气口，所述进气口连接有进气管11，所述出气口连接有出气管12；所述捕集器本体1内设置有液化槽13，所述液化槽13通过支架10固定在所述捕集器本体1的底部；所述捕集器本体1上下端分别设置有进液口和出液口；所述进液口连接有进液管14的一端，所述进液管14的另一端与所述液化槽13的上端相连通；所述出液口连接有出液管15的一端；所述出液管15的另一端与所述液化槽13的下端相连通；所述进气管11位于所述捕集器本体1内部的一端连接有液化总管20的一端，所述液化总管20呈t字型，所述液化总管20另一端间隔均匀设置有多个出口，多个所述出口均连接有液化支管21的一端，所述液化支管21的另一端穿过所述液化槽13且与所述出气管12相连通。将一定配比的干冰与乙醇混合液通过进液管加注到捕集器本体内部的液化槽中并充满整个液化槽；然后将含有四氟化碳的混合气体通过连有进气管的进气口进入到捕集器本体内部的液化总管中，并均匀的进入到液化总管另一端的多个液化支管中并横穿液化槽的内部对混合气体的其他成分进行充分高效的液化，液化完毕后的气体即为纯净的四氟化碳气体可通过出气管排出，提升了捕集器捕集四氟化碳的效率。

在本实施例中，所述液化支管21内上下端均固定设置有导流板211，所述导流板211与水平面的夹角为20°-40°。通过在液化支管内设置与水平面成一定夹角的导流板，使混合气体从液化支管进口运动至出口并横穿过液化槽内部。

在本实施例中，所述捕集器本体1的上端设置有温度计3，所述温度计3的测温探头插入所述液化槽13中。通过设置温度计，并使温度计的测温探头插入到液化槽中，可实时监测液化槽中液化介质的温度，保证液化的效率。

在本实施例中，所述捕集器本体1的上端设置有液位计4，所述液位计4的测量端伸入到所述液化槽13中。通过液位计可测量液化槽中液面的高度，保证液化介质充满整个液化槽。

在本实施例中，所述捕集器本体1内设置有干燥箱16，所述干燥箱16的进气口连接与所述液化支管12的出气口相连通；所述干燥箱16的出气口连接有所述出气管12。对液化后的气体进行干燥。

在本实施例中，所述捕集器本体1上端设置有控制箱17，所述控制箱17内设置有控制系统，所述控制箱17表面设置有控制面板171；所述进气管11、出气管12上均设置有电磁阀5，所述电磁阀5与所述控制系统电连接。通过操作控制面板使控制箱内部的控制系统启动并控制进气管、出气管上的电磁阀通断，实现进气、出气的自动化控制。

最后说明的是，以上仅对本实用新型具体实施例进行详细描述说明。但本实用新型并不限制于以上描述具体实施例。本领域的技术人员对本实用新型进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都涵盖在本实用新型范围内。

技术特征：

1.一种四氟化碳捕集器，包括捕集器本体(1)，其特征在于：

所述捕集器本体(1)两侧分别设置有进气口和出气口，所述进气口连接有进气管(11)，所述出气口连接有出气管(12)；

所述捕集器本体(1)内设置有液化槽(13)，所述液化槽(13)通过支架(10)固定在所述捕集器本体(1)的底部；

所述捕集器本体(1)上下端分别设置有进液口和出液口；所述进液口连接有进液管(14)的一端，所述进液管(14)的另一端与所述液化槽(13)的上端相连通；所述出液口连接有出液管(15)的一端；所述出液管(15)的另一端与所述液化槽(13)的下端相连通；

所述进气管(11)位于所述捕集器本体(1)内部的一端连接有液化总管(20)的一端，所述液化总管(20)呈t字型，所述液化总管(20)的另一端间隔均匀设置有多个出口，多个所述出口均连接有液化支管(21)的一端，所述液化支管(21)的另一端穿过所述液化槽(13)且与所述出气管(12)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种四氟化碳捕集器，其特征在于：

所述液化支管(21)内上下端均固定设置有导流板(211)，所述导流板(211)与水平面的夹角为20°-40°。

3.根据权利要求1所述的一种四氟化碳捕集器，其特征在于：

所述捕集器本体(1)的上端设置有温度计(3)，所述温度计(3)的测温探头插入所述液化槽(13)中。

4.根据权利要求1所述的一种四氟化碳捕集器，其特征在于：

所述捕集器本体(1)的上端设置有液位计(4)，所述液位计(4)的测量端伸入到所述液化槽(13)中。

5.根据权利要求1所述的一种四氟化碳捕集器，其特征在于：

所述捕集器本体(1)内设置有干燥箱(16)，所述干燥箱(16)的进气口连接与所述液化支管(21)的出气口相连通；所述干燥箱(16)的出气口连接有所述出气管(12)。

6.根据权利要求1所述的一种四氟化碳捕集器，其特征在于：

所述捕集器本体(1)上端设置有控制箱(17)，所述控制箱(17)内设置有控制系统，所述控制箱(17)表面设置有控制面板(171)；所述进气管(11)、出气管(12)上均设置有电磁阀(5)，所述电磁阀(5)与所述控制系统电连接。

技术总结
本实用新型公开了一种四氟化碳捕集器，涉及捕集器技术领域，包括捕集器本体，所述捕集器本体两侧分别设置有进气口和出气口，所述进气口连接有进气管；所述捕集器本体内设置有液化槽，所述捕集器本体上下端分别设置有进液口和出液口；所述进气管位于所述捕集器本体内部的一端连接有液化总管的一端，所述液化总管呈T字型，所述液化总管的另一端间隔均匀设置有多个出口，多个所述出口均连接有液化支管的一端，所述液化支管的另一端穿过所述液化槽且与所述出气管相连通。将含有四氟化碳的混合气体均匀分布到多个液化支管中，且使液化支管通过注满有液化介质的液化槽中，可将混合气体的其他成分高效的进行液化，提高了四氟化碳的捕集效率。

技术研发人员：陈施华;林百志;李嘉磊;王雯霖;张国聪
受保护的技术使用者：福建德尔科技有限公司
技术研发日：2019.06.24
技术公布日：2020.04.07