晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构的制作方法

本实用新型涉及晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，尤指一种新颖能在晶圆研磨液混搅筒出料结构中开关阀与固定架间的连接结构能受阻力微移，以缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道时产生管路侧力冲击的新颖结构。

背景技术：

各种集成电路及及中央处理器(cpu)的芯片，仰赖一块块尺寸相同地晶圆送入晶圆研磨机里，导入晶圆研磨液精细磨切分并抛光成一块块地细小芯片体，而芯片研磨液的产出要由多种原料(例如:二氧化硅、水等)以预定精确比例份量，分批送入晶圆研磨混搅机台内之混搅筒内混搅均匀而成，现有晶圆研磨液混搅机台的结构，如图1的立体结构简图所示，于晶圆研磨液混搅机台1架设的混搅筒2，其筒底架高出晶圆研磨液混搅机台1底壁适当高度，晶圆研磨液混搅机台1对应混搅筒2周围布设有多种自控及监控设备，作业过程由原料分批定量经进料管3,4送入混搅筒2内，由搅拌泵1b穿伸入混搅筒2内底的搅动部件对筒内料扰搅拌出晶圆研磨液，此搅拌泵1b可为喷流搅拌式之泵体，除了搅动端及搅动部件穿伸入混搅筒2内，其余部分穿出搅拌泵1b底，且开设有晶圆研磨液出料口1c，当搅拌完成后，搅拌泵1b停止搅拌，并开通晶圆研磨液出料口1c，使筒内晶圆研磨液经混搅筒2底穿出搅拌泵1b的晶圆研磨液出料口1c管接开关阀6再接管送出晶圆研磨液到晶圆研磨机9，整段过程都自动化完成，但现有晶圆研磨液混搅筒出料结构有下述缺失。

与现有晶圆研磨液混搅筒出料结构上，将开关阀6下端直接紧牢螺锁连固在固定架1a上，再由固定架1a固定到晶圆研磨液混搅机台1内底板，开关阀6与固定架1a的连接为不留游余间隙的螺锁硬接，造成开关阀6及开关阀6周围的管道不能受阻力微移缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道产生的管路侧力冲击，这种状态累积经过些许时间，容易造成流力震损出料管道结构，或造成局部回堵使整个出料流无法顺畅流到晶圆研磨机，影响晶圆研磨时程。

有鉴于现有晶圆研磨液混搅筒出料结构有上述缺失，本创作人乃积极构思解决之道，经过多次地实验探讨，终于有本创作产生。

技术实现要素：

因此，本创作即提供一种晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，设于晶圆研磨液混搅机台的混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方，由一阀底垫、数限位螺丝，及一固定架所构成，其中固定架底端固设于晶圆研磨液混搅机台内底板对应位置，而阀底垫对应开关阀底部透伸出的数个固定螺杆位置开设数螺孔，以锁固开关阀于阀底垫顶面，另于固定架顶壁开设数个锁接孔，而阀底垫对应数个锁接孔处开设数个沿出料口接管延伸方向拉长的长槽透孔，于每一长槽透孔中插设一限位螺丝，使限位螺丝头凸露出长槽透孔顶，且限位螺丝杆端以适当紧度锁入对应的锁接孔中，如同将开关阀连着阀底垫锚钉到固定架的容漂拘留架接，由此构成改进现有晶圆研磨液混搅筒出料结构上，由开关阀直接紧牢锁固在固定架上，不能受阻力微移缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道时产生的管路侧力冲击，降低流力震损出料管道结构，让出料管道结构更为耐用，且流路局部细处也不易堵塞，让整个出料流顺畅流到晶圆研磨机，维持晶圆研磨时程正常，此为本创作的目的。

至于本创作的详细构造﹑应用原理﹑作用与功效，则参照下列依附图所作的说明即可得到完全的了解。

附图说明

图1为习见晶圆研磨液混搅机台的立体结构简图。

图2为装设本创作晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构的晶圆研磨液混搅机台的结构简图。

图3为本创作晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构的立体分解图。

图4为标示a部位的放大图。

图5为开关阀安装本创作晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构的未出料状态侧视图。

图6为开关阀安装本创作晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构的出料缓冲动作示图。

其中：1、晶圆研磨液混搅机台，1a、固定架，1b、搅拌泵，1c、晶圆研磨液出料口，1d、晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，2、混搅筒，3,4、进料管，6、开关阀，6a,6b、固定螺杆，7、阀底垫，7a,7b、螺孔，7c,7d,7e、长槽透孔，8、固定架，8a,8b,8c、锁接孔，9、晶圆研磨机，10,11,12、限位螺丝，10a,11a,12a、限位螺丝头。

具体实施方式

请参阅图2和3所示，本创作此种晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构1d，设于晶圆研磨液混搅机台1的混搅筒2底穿出搅拌泵1b的晶圆研磨液出料口1c管接开关阀6下方，由一阀底垫7、数限位螺丝10,11,12及一固定架8所构成，其中固定架8底端固设于晶圆研磨液混搅机台1内底板对应位置，而阀底垫7对应开关阀6底部透伸出的数个固定螺杆6a,6b位置开设数个螺孔7a,7b，以锁固开关阀6于阀底垫7顶面，另于固定架8顶壁开设数个锁接孔8a,8b,8c，请同时并参图4所示，而阀底垫7对应数个锁接孔8a,8b,8c处开设数个沿出晶圆研磨液出料口1c接管延伸方向拉长的长槽透孔7c,7d,7e，于每一长槽透孔7c,7d,7e中插设一限位螺丝10,11,12，使限位螺丝头10a,11a,12a凸露出长槽透孔7c,7d,7e顶，且限位螺丝10,11,12杆端以适当紧度锁入对应的锁接孔8a,8b,8c中，如同将开关阀6连着阀底垫7锚钉到固定架8的容漂拘留架接，由此构成改进现有晶圆研磨液混搅筒出料结构起到的效用，一如从图5和6所示，开关阀6受控开通出料时，由启动出料瞬间惯性产生的流力反作用及流动时对管壁侧向推挤的总合成的侧力，会将固定架8上的开关阀6连着阀底垫7微移，产生缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道时产生的管路侧力冲击作用，得以降低流力震损出料管道结构，让出料管道结构更为耐用，且流路局部细处也不易堵塞，整个出料流顺畅流到晶圆研磨机9，维持晶圆研磨时程正常。

以上所述者乃是本创作较佳具体的实施例，若依本创作的构想所作的改变，或其产生之功能作用，仍未超出说明书与附图所涵盖的精神时，均应在本创作之范围内。

技术特征：

1.一种晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于，设于晶圆研磨液混搅机台的混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方，由一阀底垫、数限位螺丝，及一固定架所构成，其中固定架底端固设于晶圆研磨液混搅机台内底板对应位置，而阀底垫对应开关阀底部透伸出的数个固定螺杆位置开设数个螺孔，以锁固开关阀于阀底垫顶面，另于固定架顶壁开设数个锁接孔，而阀底垫对应数个锁接孔处开设数个沿出料口接管延伸方向拉长的长槽透孔，于每一长槽透孔中插设一限位螺丝，使限位螺丝头凸露出长槽透孔顶，且限位螺丝杆端锁入对应的锁接孔中。

技术总结
本实用新型公开一种晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，设于晶圆研磨液混搅机台的混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方，由一阀底垫、数限位螺丝，及一固定架所构成，其中固定架底端固设于晶圆研磨液混搅机台内底板对应位置，而阀底垫对应开关阀底部透伸出的数个固定螺杆位置开设数个螺孔，以锁固开关阀于阀底垫顶面，另于固定架顶壁开设数个锁接孔，而阀底垫对应数个锁接孔处开设数个沿出料口接管延伸方向拉长的长槽透孔，于每一长槽透孔中插设一限位螺丝，使限位螺丝头凸露出长槽透孔顶，且限位螺丝杆端以适当紧度锁入对应的锁接孔中。本申请能受阻力微移缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道时产生的管路侧力冲击。

技术研发人员：史紫柔;吴浚宇
受保护的技术使用者：宸沅国际股份有限公司
技术研发日：2020.10.21
技术公布日：2021.08.10