一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置的制作方法

文档序号:25308036发布日期:2021-06-04 14:57
一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置的制作方法

1.本发明特别涉及一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置。


背景技术:

2.单晶硅片在生产过程中需要进行酸洗过程,即通过稀硝酸对单晶硅料进行酸洗,去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅,目前单晶硅酸洗过程中单晶硅料和稀硝酸的接触不够充分,导致酸洗效果低,影响后续工艺。


技术实现要素:

3.本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,包括固定箱、固定板、驱动机构和移动机构,所述固定箱竖向设置,所述固定板水平设置在固定箱内,所述驱动机构和移动机构均设置在固定箱内;
5.所述驱动机构包括电机、转杆、搅拌组件、从动组件和震动组件,所述电机竖向朝上设置在固定箱内部的底端,所述转杆竖向设置在固定板上,所述转杆的底端通过固定板安装在电机上;
6.所述搅拌组件设置在转杆上,所述搅拌组件位于固定板的上方,所述搅拌组件包括搅拌杆、移动环、滑块、轴承和弹簧,所述轴承套设在转杆的顶端,所述移动环套设在转杆上,所述移动环与转杆滑动连接,所述转杆上设有竖向限位槽,所述滑块位于限位槽内,所述滑块与限位槽滑动连接,所述滑块远离限位槽的一端与移动环的内圈连接,所述移动环通过滑块与限位槽滑动连接,所述弹簧设置在轴承和移动环之间,所述弹簧套设在转杆上,所述弹簧的一端与移动环连接,所述弹簧的另一端与轴承的内圈连接,所述搅拌杆有两根,两根搅拌杆分别设置在移动杆的两侧,两根搅拌杆关于转杆的轴线对称设置;
7.所述震动组件有两个,两个震动组件分别设置在轴承的两侧,两个震动组件关于轴承的轴线对称设置,所述震动组件包括半圆形滤网板和支杆,所述滤网板的圆心位于转杆上,所述滤网板水平设置在轴承的一侧,所述滤网板靠近转杆的一侧设有半圆形凹槽,所述支杆设置在凹槽和滤网板之间,所述支杆的一端与凹槽的内壁铰接,所述支杆的另一端与轴承的外圈铰接;
8.所述从动组件有两个,两个从动组件分别设置在两根搅拌杆上,两个从动组件关于转杆对称设置,所述从动组件包括套环、滑动杆、连接环和从动单元,所述套环套设在搅拌杆上,所述套环与搅拌杆滑动连接,所述连接环设有滤网板远离转杆的一侧,所述滑动杆竖向设置在连接环上,所述滑动杆的底端通过连接环与套环的外圈连接,所述滑动杆与连接环滑动连接;
9.所述从动单元设置在固定箱内部的顶端,所述从动单元包括螺纹筒、丝杆、从动杆和轴承座,所述固定箱顶端的内壁上设有环形定位槽,所述定位槽内设有滑动块,所述轴承
座设置在滑块的上,所述轴承座通过滑动块与定位槽滑动连接,所述定位槽的截面为燕尾形,所述螺纹筒竖向设置在轴承座的下方,所述丝杆竖向设置在滑动杆和螺纹筒之间,所述丝杆与滑动杆同轴设置,所述丝杆与螺纹筒同轴设置,所述螺纹筒的底端设有与丝杆相匹配的内螺纹孔,所述丝杆的底端与滑动杆的顶端连接,所述丝杆的顶端位于螺纹孔内,所述丝杆与螺纹孔螺纹连接,所述螺纹筒的顶端通过轴承座与定位槽连接,所述从动杆有若干根,各从动杆沿着螺纹筒的外圈周向均匀设置;
10.所述移动机构设置在电机的一侧,所述移动机构包括气泵、出气管、进气管、单向阀、连杆和抵靠板,所述气泵设置在电机的一侧,所述出气管设置在气泵的上方,所述出气管的一端与气泵连通,所述出气管的另一端通过固定板与固定箱的顶端的内部连通,所述进气管设置在固定箱的一侧,所述进气管的一端通过固定箱底端的一侧与气泵连通,所述进气管的另一端通过固定箱顶端的一侧与固定箱内部的顶端连通,所述单向阀设置在出气管远离气泵的一端内,所述抵靠板设置在固定板上,所述抵靠板位于出气管的正上方,所述抵靠板与固定板滑动连接,所述连杆设置在搅拌杆和抵靠板之间,所述抵靠板通过连杆与搅拌杆连接。
11.为了实现对内螺纹的保护,所述内螺纹孔内设有牙套。
12.为了实现对滤网的回复,所述支杆与轴承的铰接处设有扭簧。
13.为了实现对固定箱内壁的清洁,所述搅拌杆远离转杆的一侧设有竖向刮板,所述刮板的一端与固定箱的内壁抵靠,所述刮板的另一端与搅拌杆远离转杆的一端连接。
14.为了实现对滑动杆的回复,所述管板和滑动杆之间设有拉绳,所述拉绳的一端与滑动杆连接,所述拉绳的另一端与刮板连接。
15.为了减少摩擦,使得抵靠板更好的与固定板滑动,所述抵靠板靠近固定板的一端为镜面。
16.为了更好的滑动,所述滑动杆上涂有铬。
17.为了增加牢固度,提高使用寿命,所述丝杆和滑动杆为一体成型结构。
18.为了便捷,所述电机为伺服电机。
19.为了防止腐蚀,提高使用寿命,所述固定箱上涂有防腐镀锌层。
20.本发明的有益效果是,该酸洗效果好的单晶硅搅拌装置通过移动机构和驱动机构的配合实现对主体的搅拌,与现有的移动机构相比,该移动机构通过电机的转动实现对搅拌杆的转动,实现对主体的一级搅拌,通过移动机构的配合,实现对搅拌杆的上下移动和转动,实现对主体的二级搅拌,同时搅拌杆的移动驱动滑动杆在连接环内移动,从而实现对从动单元的运行,实现对主体的三级搅拌,因这里的滤网板是与轴承铰接的,所以这里滑动杆在连接环内移动时会使得滤网板产生细微的震动,同时驱动滤网板转动,实现对主体的四级搅拌,同时通过转动的离心力防止主体粘附在滤网板上,而且这里当抵靠板与出水管分离时,通过出气管向着固定箱内部顶端的吹气,使得固定箱内部位于固定板上的主体再次的被吹起,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的五级搅拌,提高搅拌效果,提高了使用的实用性。
附图说明
21.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
22.图1是本发明的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置的结构示意图;
23.图2是本发明的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置套环和滑块的连接结构示意图;
24.图3是图1的a部放大图;
25.图4是本发明的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置轴承和震动组件的连接结构示意图;
26.图5是本发明的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置从动单元的结构示意图;
27.图中:1.固定箱,2.固定板,3.搅拌杆,4.移动环,5.滑块,6.轴承,7.弹簧,8.滤网板,9.支杆,10.套环,11.滑动杆,12.连接环,13.螺纹筒,14.丝杆,15.从动杆,16.轴承座,17.滑动块,18.气泵,19.出气管,20.进气管,21.单向阀,22.连杆,23.抵靠板,24.刮板,25.拉绳,26.电机,27.转杆。
具体实施方式
28.现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
29.如图1所示,一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,包括固定箱1、固定板2、驱动机构和移动机构,所述固定箱1竖向设置,所述固定板2水平设置在固定箱1内,所述驱动机构和移动机构均设置在固定箱1内。
30.这里通过驱动机构和移动机构的配合实现对主体的多级搅拌,使得主体更好的与稀硝酸混合,提高酸洗的效果,提高使用的实用性。
31.如图2

4所示,所述驱动机构包括电机26、转杆27、搅拌组件、从动组件和震动组件,所述电机26竖向朝上设置在固定箱1内部的底端,所述转杆27竖向设置在固定板2上,所述转杆27的底端通过固定板2安装在电机26上;
32.所述搅拌组件设置在转杆27上,所述搅拌组件位于固定板2的上方,所述搅拌组件包括搅拌杆3、移动环4、滑块5、轴承6和弹簧7,所述轴承6套设在转杆27的顶端,所述移动环4套设在转杆27上,所述移动环4与转杆27滑动连接,所述转杆27上设有竖向限位槽,所述滑块5位于限位槽内,所述滑块5与限位槽滑动连接,所述滑块5远离限位槽的一端与移动环4的内圈连接,所述移动环4通过滑块5与限位槽滑动连接,所述弹簧7设置在轴承6和移动环4之间,所述弹簧7套设在转杆27上,所述弹簧7的一端与移动环4连接,所述弹簧7的另一端与轴承6的内圈连接,所述搅拌杆3有两根,两根搅拌杆3分别设置在移动杆的两侧,两根搅拌杆3关于转杆27的轴线对称设置;
33.所述震动组件有两个,两个震动组件分别设置在轴承6的两侧,两个震动组件关于轴承6的轴线对称设置,所述震动组件包括半圆形滤网板8和支杆9,所述滤网板8的圆心位于转杆27上,所述滤网板8水平设置在轴承6的一侧,所述滤网板8靠近转杆27的一侧设有半圆形凹槽,所述支杆9设置在凹槽和滤网板8之间,所述支杆9的一端与凹槽的内壁铰接,所述支杆9的另一端与轴承6的外圈铰接。
34.这里电机26运行驱动转杆27转动,转杆27通过滑块5驱动移动环4转动,移动环4驱动搅拌杆3转动,从而实现对主体的一级搅拌,同时搅拌转动驱动套环10转动,套环10驱动滑动杆11转动,滑动杆11驱动连接环12转动,连接环12驱动滤网板8转动,从而使得滤网板8沿着轴承6的外圈转动。
35.如图5所示,所述从动组件有两个,两个从动组件分别设置在两根搅拌杆3上,两个从动组件关于转杆27对称设置,所述从动组件包括套环10、滑动杆11、连接环12和从动单元,所述套环10套设在搅拌杆3上,所述套环10与搅拌杆3滑动连接,所述连接环12设有滤网板8远离转杆27的一侧,所述滑动杆11竖向设置在连接环12上,所述滑动杆11的底端通过连接环12与套环10的外圈连接,所述滑动杆11与连接环12滑动连接;
36.所述从动单元设置在固定箱1内部的顶端,所述从动单元包括螺纹筒13、丝杆14、从动杆15和轴承座16,所述固定箱1顶端的内壁上设有环形定位槽,所述定位槽内设有滑动块17,所述轴承座16设置在滑块5的上,所述轴承座16通过滑动块17与定位槽滑动连接,所述定位槽的截面为燕尾形,所述螺纹筒13竖向设置在轴承座16的下方,所述丝杆14竖向设置在滑动杆11和螺纹筒13之间,所述丝杆14与滑动杆11同轴设置,所述丝杆14与螺纹筒13同轴设置,所述螺纹筒13的底端设有与丝杆14相匹配的内螺纹孔,所述丝杆14的底端与滑动杆11的顶端连接,所述丝杆14的顶端位于螺纹孔内,所述丝杆14与螺纹孔螺纹连接,所述螺纹筒13的顶端通过轴承座16与定位槽连接,所述从动杆15有若干根,各从动杆15沿着螺纹筒13的外圈周向均匀设置;
37.所述移动机构设置在电机26的一侧,所述移动机构包括气泵18、出气管19、进气管20、单向阀21、连杆22和抵靠板23,所述气泵18设置在电机26的一侧,所述出气管19设置在气泵18的上方,所述出气管19的一端与气泵18连通,所述出气管19的另一端通过固定板2与固定箱1的顶端的内部连通,所述进气管20设置在固定箱1的一侧,所述进气管20的一端通过固定箱1底端的一侧与气泵18连通,所述进气管20的另一端通过固定箱1顶端的一侧与固定箱1内部的顶端连通,所述单向阀21设置在出气管19远离气泵18的一端内,所述抵靠板23设置在固定板2上,所述抵靠板23位于出气管19的正上方,所述抵靠板23与固定板2滑动连接,所述连杆22设置在搅拌杆3和抵靠板23之间,所述抵靠板23通过连杆22与搅拌杆3连接。
38.这里电机26运行的同时,气泵18同时运行,通过进水管实现对固定箱1内部顶端的吸气,然后从出气管19流出,这里位于出气管19内的单向阀21是只能有出气管19向着固定箱1内部顶端进气,这里通过出气管19的出气,实现对抵靠板23的移动,使得抵靠板23向着远离电机26的方向移动,抵靠板23移动驱动连杆22移动,连杆22驱动搅拌杆3移动,搅拌驱动移动环4移动,这时的弹簧7处于压缩状态,这里搅拌杆3在移动的过程中还能转动,使得主体更好的混合,实现对主体的二级搅拌,同时搅拌移动驱动套环10移动,套环10驱动滑动杆11移动,使得滑动杆11在连接环12内移动,这里因为搅拌杆3是转动的,所以这里的抵靠板23并不是会一直的被出气管19吹气,通过搅拌杆3的转动,会使得抵靠板23慢慢的离开出气管19的位置,这时通过弹簧7的回复力,就会使得抵靠板23与固定板2抵靠,当抵靠板23与固定板2抵靠时会产生一定的敲击,从而产生微震动,同时这里滤网板8通过支杆9与轴承6铰接,所以这里在滑动杆11与连接环12滑动的过程中,滤网板8是会产生一定的移动的,同时滤网板8转动,实现对滤网板8上的主体进行震动,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的三级搅拌,同时滑动杆11移动驱动丝杆14移动,使得丝杆14推动螺纹筒13转动,螺纹筒13转动驱动从动杆15转动,从而实现对主体的四级搅拌,这里当抵靠板23与出气管19分离时,通过出气管19向着固定箱1内部顶端的吹气,使得固定箱1内部位于固定板2上的主体再次的被吹起,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的五级搅拌,提高搅拌效果,提高了使用的实用性。
39.为了实现对内螺纹的保护,所述内螺纹孔内设有牙套。
40.为了实现对滤网的回复,所述支杆9与轴承6的铰接处设有扭簧。
41.为了实现对固定箱1内壁的清洁,所述搅拌杆3远离转杆27的一侧设有竖向刮板24,所述刮板24的一端与固定箱1的内壁抵靠,所述刮板24的另一端与搅拌杆3远离转杆27的一端连接。
42.为了实现对滑动杆11的回复,所述管板和滑动杆11之间设有拉绳25,所述拉绳25的一端与滑动杆11连接,所述拉绳25的另一端与刮板24连接。
43.为了减少摩擦,使得抵靠板23更好的与固定板2滑动,所述抵靠板23靠近固定板2的一端为镜面。
44.为了更好的滑动,所述滑动杆11上涂有铬。
45.铬的作用是增加表面硬度,减少摩擦。
46.为了增加牢固度,提高使用寿命,所述丝杆14和滑动杆11为一体成型结构。
47.为了便捷,所述电机26为伺服电机。
48.伺服电机可以随意的调节转动,使用便捷。
49.为了防止腐蚀,提高使用寿命,所述固定箱1上涂有防腐镀锌层。
50.这里电机26运行驱动转杆27转动,转杆27通过滑块5驱动移动环4转动,移动环4驱动搅拌杆3转动,从而实现对主体的一级搅拌,同时搅拌转动驱动套环10转动,套环10驱动滑动杆11转动,滑动杆11驱动连接环12转动,连接环12驱动滤网板8转动,从而使得滤网板8沿着轴承6的外圈转动,这里电机26运行的同时,气泵18同时运行,通过进水管实现对固定箱1内部顶端的吸气,然后从出气管19流出,这里位于出气管19内的单向阀21是只能有出气管19向着固定箱1内部顶端进气,这里通过出气管19的出气,实现对抵靠板23的移动,使得抵靠板23向着远离电机26的方向移动,抵靠板23移动驱动连杆22移动,连杆22驱动搅拌杆3移动,搅拌驱动移动环4移动,这时的弹簧7处于压缩状态,这里搅拌杆3在移动的过程中还能转动,使得主体更好的混合,实现对主体的二级搅拌,同时搅拌移动驱动套环10移动,套环10驱动滑动杆11移动,使得滑动杆11在连接环12内移动,这里因为搅拌杆3是转动的,所以这里的抵靠板23并不是会一直的被出气管19吹气,通过搅拌杆3的转动,会使得抵靠板23慢慢的离开出气管19的位置,这时通过弹簧7的回复力,就会使得抵靠板23与固定板2抵靠,当抵靠板23与固定板2抵靠时会产生一定的敲击,从而产生微震动,同时这里滤网板8通过支杆9与轴承6铰接,所以这里在滑动杆11与连接环12滑动的过程中,滤网板8是会产生一定的移动的,同时滤网板8转动,实现对滤网板8上的主体进行震动,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的三级搅拌,同时滑动杆11移动驱动丝杆14移动,使得丝杆14推动螺纹筒13转动,螺纹筒13转动驱动从动杆15转动,从而实现对主体的四级搅拌,当抵靠板23与出气管19分离时,通过出气管19向着固定箱1内部顶端的吹气,使得固定箱1内部位于固定板2上的主体再次的被吹起,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的五级搅拌,提高搅拌效果,提高了使用的实用性。
51.与现有技术相比,该酸洗效果好的单晶硅搅拌装置通过移动机构和驱动机构的配合实现对主体的搅拌,与现有的移动机构相比,该移动机构通过电机26的转动实现对搅拌杆3的转动,实现对主体的一级搅拌,通过移动机构的配合,实现对搅拌杆3的上下移动和转动,实现对主体的二级搅拌,同时搅拌杆3的移动驱动滑动杆11在连接环12内移动,从而实
现对从动单元的运行,实现对主体的三级搅拌,因这里的滤网板8是与轴承6铰接的,所以这里滑动杆11在连接环12内移动时会使得滤网板8产生细微的震动,同时驱动滤网板8转动,实现对主体的四级搅拌,同时通过转动的离心力防止主体粘附在滤网板8上,而且这里当抵靠板23与出水管分离时,通过出气管19向着固定箱1内部顶端的吹气,使得固定箱1内部位于固定板2上的主体再次的被吹起,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的五级搅拌,提高搅拌效果,提高了使用的实用性。
52.以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
再多了解一些
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