一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具的制作方法

文档序号:28526735发布日期:2022-01-15 10:54阅读:171来源:国知局
一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具的制作方法

1.本实用新型涉及静电吸盘喷涂技术领域,尤其涉及一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具。


背景技术:

2.静电吸盘是广泛用于芯片加工过程中的一种工具,其主要作用之一是在加工过程中将晶圆用静电吸附住,防止其发生移动。由于芯片的加工有很多步骤是在等离子体环境中进行的(例如干刻、离子注入、化学气相沉积、物理气相沉积等),而等离子体有很强的侵蚀性,因此在静电吸盘的金属基体上往往需要通过等离子喷涂的方式覆上一层化学性质稳定的陶瓷涂层。静电吸盘吸附面和侧面都需要陶瓷涂层。在喷涂吸附面时,将金属基体平放于工作台,让等离子喷涂设备以一定的速率扫过整个吸附面即可形成厚度均匀的陶瓷涂层。但由于静电吸盘是圆形,上述的扫描式喷涂不能在侧面形成厚度均匀的涂层。
3.为在静电吸盘侧面通过等离子喷涂覆上厚度均匀的陶瓷涂层,可以固定静电吸盘,每隔一定时间调整等离子喷涂设备喷嘴的位置,从多个角度进行喷涂,或者固定等离子喷涂设备喷嘴的位置,每隔一定时间调整静电吸盘的角度,从而确保整个静电吸盘的侧面都可形成陶瓷涂层,再通过后续的机加工将侧面的陶瓷涂层厚度研磨至均匀的厚度。但这个方法效率低,因为调整喷嘴或静电吸盘的位置都需要暂停等离子体设备以防止操作人员被烧伤。另外,也增加了后续机加工的负担。因此,需要提供一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具解决上述问题。


技术实现要素:

4.为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具,在静电吸盘旋转的过程中对其侧面进行喷涂,提高喷涂效率,适用于不同尺寸的静电吸盘,有效避免在静电吸盘在旋转过程中飞出而造成过安全问题。
5.为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具,包括工作平台、位于所述工作平台下面的电机、卡爪以及宽度调整机构;所述电机转动轴贯穿工作平台且带动所述工作平台上端面的旋转平台转动,所述旋转平台上设置有三爪卡盘,每个所述卡爪上均竖直设置有一夹持立柱,通过所述宽度调整机构调整每个卡爪上夹持立柱的位置,所述夹持立柱上设置有用于支撑静电吸盘的支撑块,且所述支撑块通过高度调整机构调整在夹持立柱上的位置,所述夹持立柱顶部设置有旋转卡扣,且所述旋转卡扣与支撑块位置相对应。
6.优选地,所述夹持立柱呈l形,所述宽度调整机构位于夹持立柱的l形短边上,所述宽度调整机构包括螺丝一、位于夹持立柱l形短边上的滑槽以及固定于所述滑槽内的导向滑块,所述导向滑块远离滑槽的一端位于所述卡爪上的通槽内,所述导向滑块与卡爪上的通槽通过螺丝一锁附。
7.优选地,所述高度调整机构包括竖直设置在夹持立柱上的条形槽,所述支撑块通
过螺丝二可调整的固定在所述夹持立柱上。
8.优选地,所述旋转卡扣通过轴承座与夹持立柱活动连接。
9.优选地,所述卡爪卡盘中间设置有一升降机构,所述升降机构具体为气缸,且所述升降气缸外部设置有一防护罩。
10.优选地,所述工作台下端面设置有工作箱,且所述电机位于所述工作箱内。
11.本实用新型的有益效果:
12.本实用新型通过的相互配合,通过旋转的方式对静电吸盘侧面进行等离子喷涂,使静电吸盘表面快速的形成厚度均匀的陶瓷涂层。夹持立柱可在水平面和纵向范围进行调节,从而可适用于不同直径和高度的静电吸盘;通过在夹持立柱的顶部增加旋转卡扣,可防止静电吸盘在旋转过程中飞出而造成安全问题。
附图说明
13.图1为本实用新型一较佳实施例的整体结构主视图;
14.图2为图1中a的放大结构示意图;
15.图中:1、工作平台;2、工作箱;3、电机;4、旋转平台;5、三爪卡盘; 6、卡爪;7、夹持立柱;8、宽度调整机构;81、导向滑块;82、螺丝一;9、支撑块;10、旋转卡扣;11、轴承座;12、升降机构;13、防护罩;14、高度调整机构;141、条形槽;142、螺丝二。
具体实施方式
16.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
17.参见附图1至图2所示,本实施例中的一种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具,包括工作平台1、位于所述工作平台1下面的电机3、卡爪6以及宽度调整机构8;所述电机3转动轴贯穿工作平台1且带动所述工作平台1上端面的旋转平台4 转动,通过电机3转动带动旋转平台4转动,所述静电吸盘固定在旋转平台4上,从而可以在静电吸盘旋转的过程中对其侧面进行喷涂,以形成厚度均匀的陶瓷涂层;所述旋转平台4上设置有三爪卡盘5,每个所述卡爪6上均竖直设置有一夹持立柱7,通过所述宽度调整机构8调整每个卡爪上夹持立柱7的位置,所述夹持立柱7上设置有用于支撑静电吸盘的支撑块9,且所述支撑块9通过高度调整机构 14调整在夹持立柱7上的位置,通过设置宽度调整机构8以及高度调整机构14使该夹具适用于不同大小不同高度的静电吸盘进行夹持;所述夹持立柱顶部设置有旋转卡扣10,且所述旋转卡扣10与支撑块9位置相对应,将静电吸盘卡紧在旋转卡扣10与支撑块9之间,可防止静电吸盘在旋转过程中飞出而造成安全问题。
18.所述夹持立柱7呈l形,所述宽度调整机构8位于夹持立柱7的l形短边上,所述宽度调整机构8包括螺丝一82、位于夹持立柱7l形短边上的滑槽以及位于所述滑槽内的导向滑块81,所述导向滑块81远离滑槽的一端位于所述卡爪上的通槽内,所述导向滑块81与卡爪上的通槽通过螺丝一82锁附,沿滑槽的长度方向调整夹持立柱7的位置。
19.所述高度调整机构14包括竖直设置在夹持立柱7上的条形槽141,所述支撑块9通过螺丝二142可调整的固定在所述夹持立柱7上。
20.所述旋转卡扣10通过轴承座11与夹持立柱7活动连接,所述旋转卡扣10在需要卡紧静电吸盘时旋转至与支撑块9长度方向一致处,当需要取下静电吸盘时能够旋转远离支撑块9,便于取下静电吸盘。
21.所述卡爪卡盘中间设置有一升降机构12,所述升降机构12具体为气缸,且所述升降气缸外部设置有一防护罩13,静电吸盘放置于夹持立柱7顶部支撑块9 与旋转卡扣10之间,所述支撑块9对静电吸盘进行支撑,气缸活塞杆伸出将静电吸盘压向旋转卡扣10,随后调整支撑块9高度,使旋转卡扣10与支撑块9将静电吸盘卡紧,无需工作人员一边手动支撑静电吸盘进行定位,一边将支撑的静电吸盘通过螺丝二142锁附,降低工作人员的劳动强度。
22.所述工作台下端面设置有工作箱2,且所述电机3位于所述工作箱2内。
23.工作原理:使用时,打开三爪卡盘5,然后调整夹持立柱7在三爪卡盘5的卡爪6上的位置,使其略大于所要加工的静电吸盘的直径。接着将静电吸盘放置于夹持立柱7顶部支撑块9与旋转卡扣10之间,所述支撑块9对静电吸盘进行支撑,气缸活塞杆伸出将静电吸盘压向旋转卡扣10,随后调整支撑块9高度,使旋转卡扣10与支撑块9将静电吸盘卡紧,待静电吸盘卡紧完成后,气缸活塞杆缩回原位。最后缩小三爪卡盘5的卡爪6间距,使夹持立柱7能夹紧静电卡盘。打开电机3将旋转平台4转速调至200转/分,便可开始对静电卡盘的侧面喷涂陶瓷涂层。
24.以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
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