专利名称：一种用于矢流洁净空间的弧形过滤装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种洁净空间用的过滤装置，特别是涉及一种矢流洁净空间用的过滤装置。
现有技术中，洁净空间(亦称洁净室或洁净工作台)通常采用的是平面式过滤装置，平面式过滤装置形成平行流或乱流洁净空间。对于平行流洁净空间，一般可达到100级洁净度(即指≥0.5μm的粒子数在1尺3内有100粒)或更高，因而目前对洁净度要求较高的洁净空间大都采用平行流型，但其缺点在于过滤装置必须满布于天花板或侧壁，因而要达到较高的洁净度，则必须有很大的循环风量。乱流式洁净空间同样采用平面式过滤装置，只是在送风面上不是满布的，而是局部的，所需循环风量虽比平行流低，但由于在空间内产生涡流区，使微粒不能及时排出，因而洁净度也不可能很高。一般只能达到10000－100000级。参见《洁净室设计》一书，(日)早川一也著，邓守廉译。
随着现代高科技的发展，尤其是电子、生物、医药等技术领域的发展和各种不同实验环境的要求，对洁净度的要求也越来越高，洁净度已经提高到10级、1级，微粒的控制粒径已由0.5μm提高到0.1μm。因此研制出一种既能满足高洁净度要求，又具有低耗能特性的新型洁净空间及其过滤装置，已成为目前洁净技术领域的新课题。
本实用新型的目的和任务就是针对现有技术存在的问题和缺陷，为洁净空间提供一种弧形过滤装置，采用该过滤装置形成的矢流洁净空间，既能达到较高的洁净度，又具有耗能量低的特点。
本实用新型是这样实现的过滤装置的外形，即空气分布器呈1／4园或1／2园弧面，且沿宽度(或长度)方向通长设置。这样，经过过滤的空气沿径向射出，故室内流线分布较好，不易形成乱流区，因而既克服了乱流洁净室的涡流混掺作用，又避免了平行洁净室内大量过滤装置满布于天花板或侧壁的缺陷，并使用较小的换气量即可达到较高的洁净度。
过滤装置的过滤芯体采用无隔板小折叠式，与空气分布器一样，亦成园弧形。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果；弧形过滤装置不仅具有体积小，结构简单等优点，且使用该过滤装置所形成的矢流洁净空间，流线分布较好，无涡流混掺作用。故能满足高洁净度要求；同时也避免了平行流洁净空间需使过滤装置满布于天花板或侧壁，造成使用较大换风量的缺陷。在达到同样洁净度的前提下，矢流洁净空间的总风量仅为平行流洁净空间的1／3，其过滤面积可减少2／3，耗电量也可节省2／3，因而是一种既能满足高洁净度要求，又具有节能效果的过滤装置。
附
图1为弧形过滤装置的结构示意图附图2为弧形过滤装置沿长度方向的视图附图3为弧形过滤装置在洁净空间的安装情况及矢流洁净空间的结构示意图。
以下结合附图详细说明本实用新型的具体结构及实施方式弧形过滤装置是由护罩(亦称空气分布器)1和过滤芯体2组成。空气分布器呈1／4园或1／2园弧面，其曲率半径应大于0.2H(其中H为空间高度)，开口率应在20％－30％的范围内，可采用各种不同的薄壁金属制做。弧形过滤装置内设置无隔板小折叠式过滤蕊体2，其形状可与空气分布器一样呈弧形，也可采用其它形式，可用过滤纸，也可用玻璃纤维或丙纶类纤维制成。弧形过滤装置3在矢流洁净空间4内沿宽度(或长度)方向通长设置，在矢流空间内还设有风机5、吊顶静压箱6和空调装置7等其它设备。
在不设置弧形过滤装置的空间长度(或宽度)方向，当其长度超过高度两倍以上时；应采用半园形过滤装置。
权利要求1.一种洁净空间用的过滤装置，包括空气分布器[1]和过滤芯体[2]，其特征是过滤装置的外形呈1/4园或1/2园弧面，且沿宽度或长度方向通长设置。
2.按照权利要求1所述的过滤装置，其特征是所述的过滤芯体［2］采用无隔板小折叠式，且与空气分布器一样呈园弧状。
3.按照权利要求1或2所述的过滤装置，其特征是空气分布器的曲率半径应大于0.2H(H为空间高度)，且开孔率在20％－30％的范围内。
专利摘要一种用于矢流洁净空间的弧形过滤装置，其外形呈1/4圆或1/2圆弧面，且沿宽度或长度方向通长设置，内置无隔板小折叠式圆弧形过滤芯体。该过滤装置不仅体积小，结构简单，且使用该过滤装置所形成的矢流洁净空间，具有流线分布较好，能满足高洁净度要求等特点。在达到同样高洁净度的前提下，矢流洁净空间的总风量仅为平行流洁净空间的1/3，过滤面积可减少2/3，耗电量也可节省2/3，因而是一种既能满足高洁净度要求，又具有节能效果的过滤装置。
文档编号B01D29/13GK2173107SQ93217670
公开日1994年8月3日 申请日期1993年7月9日 优先权日1993年7月9日
发明者魏学孟, 俞肇基, 张利群, 赵荣义, 于泽攸, 魏贻宽 申请人:清华大学, 中国电子学会洁净技术学会