一种带清洗部件的液体喷洒装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及晶片涂胶显影工艺中的晶元表面喷洒液体的装置，具体地说是一种带清洗部件的液体喷洒装置。
【背景技术】
[0002]目前，在在半导体晶片上或它的涂层上形成保护膜以及晶片曝光后的显影工艺中对晶圆表面进行液体喷洒主要包括供液管直喷、通过喷嘴形成水帘或者水幕喷洒这几种方式进行。通过水幕式喷洒可以有效的将液体均匀的喷洒在晶圆表面，但喷嘴形成均匀水幕较为困难，且喷嘴在喷洒液体时需距离晶圆表面0.5-3mm，喷嘴在喷洒液体时晶圆表面的杂质可能会附着在喷嘴上，从而对喷嘴造成污染。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种带清洗部件的液体喷洒装置。该装置在显影工艺中喷洒均匀的液体，可以有效的保证显影工艺效果。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种带清洗部件的液体喷洒装置，包括喷嘴和清洗部件，其中喷嘴包括喷嘴底件和喷嘴上盖，其中喷嘴底件的上表面上沿长度方向设有液体均布槽，所述喷嘴上盖设置于喷嘴底件的上方，喷嘴上盖与所述液体均布槽相对应的一侧向下延伸、并与喷嘴底件的侧壁之间留有用于形成水幕的缝隙，所述喷嘴上盖上设有与喷嘴底件上的液体均布槽连通的液体进口，液体由液体进口进入液体均布槽、并由缝隙流出形成水幕；所述喷嘴喷洒完液体后，将喷嘴放置于清洗部件上，通过清洗部件进行清洗。
[0006]所述喷嘴底件上的液体均布槽包括过渡槽和斜坡，所述过渡槽和斜坡均沿长度方向设置于喷嘴底件的上表面上，所述过渡槽和斜坡之间沿长度方向设有低于喷嘴底件上表面的排气凸起。
[0007]所述喷嘴上设有保温装置。所述保温装置包括恒温水管道1、恒温水管道II及喷嘴连接块，其中恒温水管道I和恒温水管道II分别沿长度方向设置于喷嘴上盖和喷嘴底件的内部，所述喷嘴连接块连接于喷嘴的端部、并将恒温水管道I和恒温水管道II连通。
[0008]所述清洗部件的上表面沿长度方向设有两排孔，所述两排孔分别为喷液孔和排液孔，所述清洗部件内部沿长度方向设有两条分别与喷液孔和排液孔连通的通道I和通道II，所述清洗部件的底部设有分别与通道I和通道II连通的清洗用液体进口和清洗用液体出口。
[0009]所述清洗部件的上表面设有凹槽，所述喷液孔和排液孔均设置于所述凹槽内。所述清洗用液体出口与真空管连接。
[0010]本发明还包括固定调节装置，所述固定调节装置包括水平调节固定块、喷嘴调节块、喷嘴固定块及调节螺丝，其中喷嘴调节块连接于喷嘴的端部，所述喷嘴固定块转动连接在喷嘴的端部一侧，所述水平调节固定块连接于喷嘴固定块上，所述调节螺丝螺纹连接在水平调节固定块上、并下端与喷嘴调节块抵接，所述喷嘴固定块与显影装置连接，通过旋转调节螺丝使喷嘴转动，从而实现喷嘴的水平调节。所述喷嘴固定块上设有喷嘴绕轴，所述喷嘴的端部转动安装在喷嘴绕轴上。
[0011]本发明的优点及有益效果是:
[0012]1.本发明中的喷嘴可以在显影工艺中喷洒均匀的液体，可以有效的保证显影工艺效果。
[0013]2.本发明中的清洗部件可以及时对喷嘴进行清洗，使喷嘴保持洁净。
【附图说明】
[0014]图1为本发明中喷嘴的立体示意图之一；
[0015]图2为本发明中喷嘴的立体示意图之二；
[0016]图3为本发明中喷嘴的纵剖结构示意图；
[0017]图4为本发明中喷嘴形成水幕的示意图；
[0018]图5为本发明中喷嘴内恒温水管道的结构示意图；
[0019]图6为本发明中清洗装置的立体示意图之一；
[0020]图7为本发明中清洗装置的立体示意图之二 ；
[0021 ] 图8为本发明的纵剖结构示意图。
[0022]其中:1为喷嘴底件，2为喷嘴连接块，3为水平调节固定块，4为喷嘴调节块，5为清洗部件，6为喷嘴上盖,7为喷嘴固定块,8为液体进口，9为恒温水管道1,10为恒温水管道II，11为过渡槽，12为斜坡,13为缝隙，14为喷嘴补液管路,15为水幕,16为清洗用液体出口，17为清洗用液体出口，18为通道I，19为通道II，20为调节螺丝，21为喷嘴绕轴，M为恒温水。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图对本发明作进一步详细描述。
[0024]如图1-5所示，本发明包括喷嘴和清洗部件5，其中喷嘴包括喷嘴底件1、喷嘴上盖6和保温装置，其中喷嘴底件I的上表面上沿长度方向设有液体均布槽，所述喷嘴上盖6设置于喷嘴底件I的上方，喷嘴上盖6与所述液体均布槽相对应的一侧向下延伸、并与喷嘴底件I的侧壁之间留有用于形成水幕的缝隙13，所述喷嘴上盖6上设有与喷嘴底件I上的液体均布槽连通的液体进口 8，液体进口 8与喷嘴补液管路14连接。液体由液体进口 8进入喷嘴内部液体均布槽、并由缝隙13流出形成水幕；所述喷嘴喷洒完液体后，将喷嘴放置于清洗部件5上，通过清洗部件5进行清洗。
[0025]所述喷嘴底件I上的液体均布槽包括过渡槽11和斜坡12，所述过渡槽11和斜坡12均沿长度方向设置于喷嘴底件I的上表面上，所述过渡槽11和斜坡12之间沿长度方向设有低于喷嘴底件I上表面的排气凸起。
[0026]所述喷嘴上设有保温装置，所述保温装置包括恒温水管道I 9、恒温水管道II 10及喷嘴连接块2，其中恒温水管道I 9和恒温水管道II 10分别沿长度方向设置于喷嘴上盖6和喷嘴底件I的内部，所述喷嘴连接块2连接于喷嘴的端部、并将恒温水管道I 9和恒温水管道II 10连通。
[0027]如图6-8所示，所述清洗部件5的上表面沿长度方向设有两排孔，所述两排孔分别为喷液孔和排液孔，所述清洗部件5的内部沿长度方向设有两条分别与喷液孔和排液孔连通的通道I 18和通道II 19，所述清洗部件5的底部设有分别与通道I 18和通道II 19连通的清洗用液体进口 16和清洗用液体出口 17。
[0028]所述清洗部件5的上表面设有凹槽，所述喷液孔和排液孔均设置于所述凹槽内。清洗部件5上的凹槽