废气处理系统的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种废气处理系统。
【背景技术】
[0002]微机电(MEMS)晶片在生成过程中有一表面颗粒去除清洗工艺，该工艺中使用到的溶液的配比为NH4OH = H2O2 = H2O = 1:1:6，其中氨水会挥发生成一定量的氨气。氨气作为一种弱碱性气体，积存较多量存在一定的风险。因此，为减小风险，需求一套氨气回收处理装置。
[0003]在目前市场上比较普遍适用的氨气处理装置有废弃处理系统(Local Scrubber)，其中常用的一种废气处理系统采用电浆处理方式，其通过工艺机台端的排风管将氨气等混合气体通过废气处理系统，该系统的反应腔内产生高能电浆，使得氨气裂解并与氧气反应，以达到去除氨气的功能，其去除效率(DRE)在正常情况下能达到99%。
[0004]但是，现有的电浆处理方式的废气处理系统虽能够提供较高的去除效率，但也存在如下不足之处:
[0005]1、环保方面:
[0006]该系统采用电浆处理使得氨气与氧气发生反应，以达到处理氨气的目的，4NH3+302->2N2+6H20，但高温燃烧的同时也会生成少量氮氧化物，4NH3+502 =催化剂加热=4N0+6H20，氮氧化物中除二氧化氮以外，其他氮氧化物均极不稳定，遇光、湿或热变成二氧化氮及一氧化氮，一氧化氮又变为二氧化氮，而氮氧化物都具有不同程度的毒性。
[0007]2、低处理能力:
[0008]目前工艺设备端的2支排风管，风速达到12m/s，风量为22标方每分钟，总和为44标方每分钟，此风量为排风系统最大总量。但上述类型的废气处理系统的处理能力一般仅有600升每分钟，部分处理系统的处理能达到1500升每分钟，但仍远远小于目前工艺设备的排风要求，这必将极大影响去除效率(DRE)。
[0009]3、价格方面:
[0010]上述废气处理系统在目前市场上的售价普遍为$60，000?80，000美元，约合Y360, 000?490，000元，价格较高。
【发明内容】
[0011]本发明的目的是提供一种废气处理系统，其不会产生氮氧化物等光污染气体，且成本低廉。
[0012]为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是:一种废气处理系统，用以处理含有氨气的废气，包括水槽、设置在水槽一侧的喷淋装置及分别与所述水槽连接的进气线路和排气线路，所述水槽分为相邻设置的喷淋区和干燥区，所述喷淋区与进气线路连接，所述干燥区与排气线路连接，所述喷淋装置朝向喷淋区并向喷淋区喷射水，所述废气经进气线路进入至喷淋区遇水，废气中氨气溶于水中别并随水沉入水槽，其他气体经干燥区进入排气线路。
[0013]进一步的，所述喷淋装置与水槽之间设置有循环管路，所述循环管路上设置有将水槽内的液体输送至喷淋装置的循环动力装置，所述废气处理系统还包括用以检测水槽内的液位的水槽液位检测计，所述水槽液位检测计与循环动力装置电性连接。
[0014]进一步的，所述循环动力装置的数量为并列设置在循环管路上的两个。
[0015]进一步的，所述水槽上设置有排水管路，所述排水管路上设置有排水动力装置，所述排水动力装置与水槽液位检测计电性连接。
[0016]进一步的，所述循环动力装置和排水动力装置均为水泵。
[0017]进一步的，所述水槽上还设置有进水管路，所述进水管路上设置有补水阀，所述补水阀与水槽液位检测计电性连接。
[0018]进一步的，所述废气处理系统还包括用以检测水槽内液体的酸碱度的酸碱值检测计，所述酸碱值检测计分别与排水动力装置、补水阀电性连接。
[0019]进一步的，所述废气处理系统的底部设置有防漏盘，所述废气处理系统还包括检测是否有液体滴落至防漏盘的漏液检测器及与所述漏液检测器连接的提示装置。
[0020]进一步的，所述喷淋区的上侧和左侧分别设置有喷淋装置。
[0021]进一步的，所述水槽具有形成在水槽两端的进气口和出气口，所述进气口设置在喷淋区，所述进气口与进气线路连接，并通过进气法兰对接，所述出气口设置在干燥区，所述出气口与排气线路连接，并通过出气法兰对接。
[0022]借由上述方案，本发明至少具有以下优点:鉴于氨气极易溶于水的特性，本发明的废弃处理系统将喷淋装置朝向喷淋区，氨气从进气线路中进入后，通过水淋方式以去除氨气，从而不会产生氮氧化物等光污染气体，且成本低廉。
[0023]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
【附图说明】
[0024]图1是本发明废气处理系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0026]参见图1，本发明一较佳实施例所述的一种废弃处理系统用于处理微机电晶片清洗工艺中所产生的废气，该废气主要含有氨气。所述废气处理系统包括盛放液体(未图示)的水槽1、设置在水槽I 一侧的喷淋装置2、及与所述水槽I连接的进气线路3和排气线路4。该水槽I内的液体为水，所述水槽I具有形成在水槽I的左右两端的进气口 11和出气口 12，所述水槽I分为喷淋区13和干燥区14，其喷淋区13位于干燥区14的左侧，所述喷淋区13的左侧与进气口 11连接，右侧与干燥区14的左侧连接，所述干燥区14的右侧与出气口 12连接。所述进气口 11与进气线路3连接，该进气口 11与进气线路3之间通过进气法兰15对接，所述出气口 12与排气线路4连接，该出气口 12与排气线路4之间通过出气法兰16对接，在本实施例中，进气法兰15和出气法兰16为Φ200?500FRP，诚然，在具体使用时，可根据实际需求选择合适的口径。所述喷淋装置2朝向喷淋区13，喷淋区13的上侧和左侧分别设置有喷淋装置2，其处理量44标方每分钟。所述废气经进气线路3进入至喷淋区13遇水，废气中氨气溶于水中别并随水沉入水槽1，其他气体(不溶于水的气体)经干燥区14进入排气线路4。使用时，含有大量氨气的废气从进气线路3内进入至进气口 11，然后进入至喷淋区13，此时，由于位于喷淋区13上侧和左侧的喷淋装置2不断的朝喷淋区13内喷射液体，从而该废气在经过喷淋区13的时需要穿过液体，废气与液体之间发生碰撞交叉，而由于废气内含有大量的氨气，氨气易溶于水中，所以，废气在经过该喷淋区13时，废气内的氨气溶于水中被带走，而废气内不能溶于水的其他气体，则进入至干燥区14，该部分进入至干燥区14后，再从出气口 12进入至排气线路4内，最后由排气线路4排出，通过此种方式，不会产生氮氧化物等光