薄膜涂布装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明是有关于一种薄膜涂布装置，且特别是有关于一种可调整涂布狭缝宽度的薄膜涂布装置。
【背景技术】
[0002]薄膜涂布装置可涂布一薄膜材料于一工件上。通过调整薄膜涂布装置的涂布狭缝的宽度，可控制形成的薄膜的厚度。然而，涂布狭缝位于薄膜涂布装置中刚性较强部位的宽度与其它部位的宽度差异大，如此导致所形成的薄膜的厚度变化大，例如是薄膜的边缘厚度大于其它部位的厚度(肥边现象)。
【发明内容】
[0003]本发明是有关于一种薄膜涂布装置，可改善现有肥边现象。
[0004]根据本发明的一实施例，提出一种薄膜涂布装置。薄膜涂布装置包括一第一本体、一第二本体及一第一侧盖。第一本体具有一第一外侧面及一从第一外侧面往第一本体内部延伸的凹槽。第一本体的凹槽区隔第一本体为一可调整部与一基座部。第二本体相对第一本体配置，且与第一本体之间形成一涂布狭缝。第一侧盖具有一与可调整部固定的一第一固定点且具有一内侧面、一第二外侧面、一第一切割道及一第二切割道。内侧面面向第一本体及第二本体，第一切割道从内侧面露出一开口，开口与涂布狭缝彼此隔离，第二外侧面与第一外侧面位于薄膜涂布装置的一同侧，第二切割道从第二外侧面往第一侧盖内部延伸，第一固定点位于第一切割道与第二切割道所围绕的区域内。
[0005]根据本发明的另一实施例，提出一种薄膜涂布装置。薄膜涂布装置包括一第一本体、一第二本体及一第一侧盖。第一本体具有一第一外侧面及一从第一外侧面往内延伸的凹槽，凹槽区隔第一本体为一可调整部与一基座部。第二本体相对第一本体配置，且与第一本体之间形成一涂布狭缝。第一侧盖具有一与可调整部固定的第一固定点、一内侧面及一切割道。切割道环绕第一固定点。
[0006]为了对本发明的上述及其他方面有更好的了解，下文特举优选实施例，并配合所附附图，作详细说明如下:
【附图说明】
[0007]图1A绘示依照本发明一实施例的薄膜涂布装置的分解图。
[0008]图1B绘示图1A的第一侧盖的侧视图。
[0009]图1C绘示图1B的俯视图。
[0010]图1D绘示图1A的薄膜涂布装置组合后的俯视图。
[0011]图2绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0012]图3绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0013]图4绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0014]图5绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0015]图6绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0016]图7绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0017]图8绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0018]图9绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0019]图10绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0020]图11绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0021]图12绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0022]图13绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0023]图14绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0024]图15A绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。
[0025]图15B绘示图15A的俯视图。
[0026]图16绘示现有薄膜涂布装置与本实施例的涂布狭缝宽度的示意图。
[0027]图17绘示图1A的薄膜涂布装置所涂布的薄膜的厚度曲线图。
[0028]【符号说明】
[0029]100:薄膜涂布装置；
[0030]100R:涂布狭缝；
[0031]10Ra:开口；
[0032]110:第一本体；
[0033]IlOh:贯孔；
[0034]IlOsl:第一外侧面；
[0035]IlOr:凹槽；
[0036]111:第一本体的可调整部；
[0037]lilt:第一锁孔；
[0038]112:第一本体的基座部；
[0039]112t:第二锁孔；
[0040]120:第二本体；
[0041]120r:内流道；
[0042]120t:第三锁孔；
[0043]130:第一侧盖；
[0044]130a:开口；
[0045]130b:下缘；
[0046]130cl、230cl:第一切割道；
[0047]130c2、230c2:第二切割道；
[0048]130hl:第一贯孔；
[0049]130h2:第二贯孔；
[0050]130h3:第三贯孔；
[0051]130r:凹槽；
[0052]130sl:内侧面；
[0053]130s2:第二外侧面；
[0054]130s3:端面；
[0055]130s4:第三外侧面；
[0056]130s5:第四外侧面；
[0057]130u:上缘；
[0058]131:第一侧盖的可调整部；
[0059]131t、132t:内螺孔;
[0060]132:第一侧盖的基座部；
[0061]140:第二侧盖；
[0062]150:调整元件；
[0063]151:内螺帽；
[0064]152:螺栓；
[0065]153:外螺帽；
[0066]230c:切割道；
[0067]230c3:环形切割道；
[0068]230c4:第一线形切割道；
[0069]230c5:第二线形切割道；
[0070]Al:钝角；
[0071]A2:锐角；
[0072]Cl ?C5:曲线;
[0073]W、W，:宽度。
【具体实施方式】
[0074]请参照图1A，其绘示依照本发明一实施例的薄膜涂布装置的分解图。薄膜涂布装置100包括第一本体110、第二本体120、第一侧盖130及第二侧盖140。
[0075]第一本体110具有第一外侧面IlOsl及凹槽110r，其中凹槽IlOr从第一外侧面IlOsl往第一本体110内部延伸。凹槽IlOr区隔第一本体110为可调整部111与基座部112，其中基座部112的刚性大于可调整部111，即可调整部111的可挠性大于基座部112，使可调整部111相对基座部112可形变，以调整涂布狭缝100R(图1D)的宽度W。通过调整涂布狭缝100R(图1D)的宽度W，可控制使用其所形成的薄膜的厚度。此外，第一本体110具有数个贯孔110h，数个调整元件150(绘示于图1B)分别设于对应的贯孔IlOh内，以调整可调整部111与基座部112的相对位置。
[0076]第二本体120具有内流道120r。当薄膜涂布装置100进行涂布工艺时，工作流体经由内流道120r从涂布狭缝100R喷出而涂布于一工件(未绘示)上。
[0077]第一侧盖130与第二侧盖140分别固定于第一本体110与第二本体120的相对二端面。第一侧盖130与第二侧盖140具有相似结构，以下是以第一侧盖130为例说明。
[0078]第一侧盖130具有第一贯孔130hl (第一固定点),而第一本体110的可调整部111具有一第一锁孔lllt，锁合元件(未绘示)穿过第一贯孔130hl而锁合于第一锁孔Illt内，以固定第一侧盖130与可调整部111的相对位置。此外，第一侧盖130具有第二贯孔130h2(第二固定点)，而第一本体110的基座部112具有一第二锁孔112t，锁合元件(未绘示)穿过第二贯孔130h2而锁合于第二锁孔112t内，以固定第一侧盖130与基座部112的相对位置。另外，第一侧盖130与第二本体120可采用相似的锁合方式固定其相对位置。
[0079]请参照图1B，其绘示图1A的第一侧盖的侧视图。第一侧盖130且具有内侧面130sl、第二外侧面130s2(图1A)、第一切割道130cl及第二切割道130c2。内侧面130sl面向第一本体110及第二本体120。第一切割道130cl从内侧面130sl露出一开口 130a。当薄膜涂布装置100组装后，开口 130a与涂布狭缝100R(为方便理解，涂布狭缝100R的位置以虚线绘示于图1B)错开且隔离，即不相通，如此，使位于涂布狭缝100R内的工作流体不易经由第一切割道130cl泄漏。第二外侧面130s2与第一外侧面IlOsl位于薄膜涂布装置100的一同侧，第二切割道130C2从第二外侧面130s2往第一侧盖130内部延伸。
[0080]第一切割道130cl与第二切割道130c2可采用例如是线切割放电加工(WireElectrical Discharging Machine)、机械刀具加工、锯削、电火花加工(ElectricalDischarge Machining, EDM)、铸造工法或其它合适工艺所形成。本实施例中，第一切割道130cl与第二切割道130c2弱化第一侧盖130的强度，使第一切割道130cl与第二切割道130c2所围绕的区域成为一可调整部131。上述第一贯孔130hl设于可调整部131。由于第一侧