固化物膜的制造方法、电子部件的制造方法及电子部件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种使用具有光固化性及热固化性的固化性组合物形成固化物膜的 固化物膜的制造方法。另外，本发明涉及一种应用了上述固化物膜的制造方法的电子部件 的制造方法及电子部件。
【背景技术】
[0002] 在电子设备中，在基板等电子部件上安装有各种其它的电子部件，该电子部件间 通过布线进行电连接。另外，为了确保绝缘性或作为保护膜发挥作用，在电连接有电子部件 的布线间形成有抗蚀剂图案或阻隔壁。
[0003] 印刷布线板中的抗蚀剂图案一般使用被称为光致抗蚀剂的抗蚀剂材料且通过包 含曝光工序及显影工序的光刻法形成。
[0004] 在制作具有抗蚀剂图案和铜电路的印刷布线板时，例如在具有铜电路的印刷布线 板的整面形成抗蚀剂层，通过掩模对抗蚀剂层进行部分曝光，由显影部分地除去抗蚀剂层。 通过显影形成抗蚀剂图案，得到具有抗蚀剂图案和铜电路的印刷布线板。
[0005] 这样的印刷布线板的制造方法的一个例子公开于下述的专利文献1。在专利文献 1中，进行光刻法中的曝光工序及显影工序等。
[0006] 另外，印刷布线板的制造方法的其它例子公开于下述的专利文献2。在专利文献 2中，由喷墨装置向基板上喷出喷墨用光固化性热固化性组合物作为抗蚀剂材料，并使该抗 蚀剂材料固化。
[0007] 现有技术文献
[0008] 专利文献
[0009] 专利文献1 :日本特开平5-21941号公报
[0010] 专利文献 2 :W02004/099272A1
【发明内容】
[0011] 发明所要解决的问题
[0012] 在专利文献1中记载的现有印刷布线板的制造方法中，为了形成抗蚀剂层，需要 光刻法中的曝光工序及显影工序等许多工序。因此，印刷布线板的制造效率差。
[0013] 并且，在现有印刷布线板的制造方法中，使用酸或碱等药液进行显影处理，因此， 环境负荷大。并且，为了形成通过显影而除去抗蚀剂层的部分，必须使用额外的抗蚀剂材 料。另外，通过显影除去的抗蚀剂层部分成为废弃物。并且，通过蚀刻除去的铜层也成为废 弃物。因此，废弃物的量多，因此，环境负荷大，并且，存在印刷布线板的材料成本也变高的 问题。
[0014] 另外，如专利文献2中记载的使用现有喷墨装置的方法中，有时无法高精度地形 成抗蚀剂图案。特别是在形成微细的抗蚀剂图案的情况下，形成精度容易更进一步变差。另 外，在将抗蚀剂图案多层化的情况下，形成精度容易更进一步变差。
[0015] 例如，存在无法将抗蚀剂图案形成为指定的形状或抗蚀剂图案容易从基板剥离的 问题。若抗蚀剂图案从基板剥离，则有时无法充分地确保绝缘性。
[0016] 本发明的目的在于，提供一种可提高微细的固化物膜的形成精度，且可提高固化 物膜的密合性的固化物膜的制造方法。另外，本发明的目的还在于提供一种应用了上述固 化物膜的制造方法的电子部件的制造方法及电子部件。
[0017] 用于解决问题的技术方案
[0018] 根据本发明的宽泛方面，可提供一种固化物膜的制造方法，其具备：
[0019] 涂布工序，其使用喷墨装置涂布具有光固化性及热固化性且为液态的固化性组合 物；
[0020] 第1光照射工序，其在所述涂布工序后，由第1光照射部对所述固化性组合物照射 光，使所述固化性组合物进行固化，形成预固化物膜；
[0021] 加热工序，其在所述第1光照射工序后，对经过光照射的所述预固化物膜进行加 热，使经过光照射的所述预固化物膜发生固化，形成固化物膜；
[0022] 所述喷'墨装置具有：
[0023] 油墨罐，其贮存所述固化性组合物；
[0024] 喷出部，其与所述油墨罐连接且喷出所述固化性组合物；
[0025] 循环流路部，其一端与所述喷出部连接，另一端与所述油墨罐部连接且所述固化 性组合物在其内部流动，
[0026] 在所述涂布工序中，使所述固化性组合物在所述喷墨装置内从所述油墨罐转移至 所述喷出部，然后，使未从所述喷出部喷出的所述固化性组合物在所述循环流路部内流动 而转移至所述油墨罐，由此，一边循环所述固化性组合物，一边涂布所述固化性组合物。
[0027] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化物膜的制造方法还具备 在所述第1光照射工序后且在所述加热工序前的第2光照射工序，所述第2光照射工序包 括：由不同于所述第1光照射部的第2光照射部对经过所述第1光照射部照射光的所述预 固化物膜照射光，使所述预固化物膜进行进一步固化。
[0028] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化物膜的制造方法还具备 在所述第1光照射工序后且在所述加热工序前的多层化工序，所述多层化工序包括：在所 述第1光照射工序后的所述预固化物膜上进行所述涂布工序和所述第1光照射工序，在所 述预固化物膜上形成其它预固化物膜，由此形成多层的预固化物膜。
[0029] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化物膜的制造方法还具备 在所述多层化工序后且在所述加热工序前的第2光照射工序，所述第2光照射工序包括：由 不同于所述第1光照射部的第2光照射部对所述多层的预固化物膜照射光，使所述多层的 预固化物膜进行进一步固化。
[0030] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述循环流路部包含在所述循环 流路部内临时贮存所述固化性组合物的缓冲罐。
[0031] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，在所述第1光照射工序后的所述 预固化物膜上或所述预固化物膜之间进行所述涂布工序和所述第1光照射工序。
[0032] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，循环中的所述固化性组合物的温 度为40°C以上、且100°C以下。
[0033] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述喷墨装置使用压电方式的喷 墨头，在所述涂布工序中，通过压电元件的作用来涂布所述固化性组合物。
[0034] 在本发明的固化物膜的制造方法的某特定的方面中，所述固化性组合物喷出时的 粘度为3mPa · s以上、且1500mPa · s以下。
[0035] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化性组合物包含光固化性 化合物、热固化性化合物、光聚合引发剂、和热固化剂。本发明的固化物膜的制造方法的某 特定方面中，所述固化性组合物包含所述光固化性化合物、光及热固化性化合物、所述热固 化性化合物、所述光聚合引发剂、和所述热固化剂。
[0036] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述光固化性化合物具有（甲 基）丙烯酰基，所述光及热固化性化合物具有（甲基）丙烯酰基和环状醚基，所述热固化性 化合物具有环状醚基。
[0037] 本发明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化性组合物含有具有1个 (甲基）丙烯酰基的单官能化合物和具有2个以上（甲基）丙烯酰基的多官能化合物作为 所述光固化性化合物。
[0038] 在本发明的固化物膜的制造方法的某特定的方面中，所述固化性组合物100重 量％中，所述光固化性化合物和所述光及热固化性化合物的总计含量为40重量％以上、且 90重量％以下。
[0039] 根据本发明的宽泛方面，可提供一种电子部件的制造方法，其得到具备电子部件 主体和位于所述电子部件主体上的所述固化物膜的电子部件，
[0040] 所述电子部件的制造方法包括：通过上述固化物膜的制造方法在电子部件主体上 形成固化物膜的工序。
[0041] 根据本发明的宽泛方面，可提供一种电子部件，其具备：
[0042] 电子部件主体和位于所述电子部件主体上的固化物膜，所述固化物膜是上述固化 物膜的制造方法获得的。
[0043] 发明的效果
[0044] 本发明的固化物膜的制造方法在涂布工序后进行上述的第1光照射工序，上述涂 布工序使用喷墨装置涂布具有光固化性及热固化性且为液态的固化性组合物，并且，上述 喷墨装置具有上述油墨罐、上述喷出部和上述循环流路部，在上述涂布工序中，使上述固化 性组合物在上述喷墨装置内从上述油墨罐转移至上述喷出部，然后，使未从上述喷出部喷 出的上述固化性组合物在上述循环流路部内流动而转移至上述油墨罐，由此，一边循环上 述固化性组合物，一边涂布上述固化性组合物，因此，可提高微细的固化物膜的形成精度， 且可提高固化物膜的密合性。
【附图说明】
[0045] 图1(a)~（e)为用于说明本发明的一个实施方式的固化物膜的制造方法中各工 序的剖面图。
[0046] 图2为示意性地表示具备通过本发明的一个实施方式的固化物膜的制造方法得 到的固化物膜的电子部件的正面剖面图。
[0047] 图3为表示本发明的一个实施方式的固化物膜的制造方法中使用的喷墨装置的 一个例子的概略结构图。
[0048] 图4为表示本发明的一个实施方式的固化物膜的制造方法中使用的喷墨装置的 其它例子的概略结构图。
[0049] 图5为示意性地表示具备通过本发明的其它实施方式的固化物膜的制造方法得 到的的固化物膜的电子部件的正面剖面图。
[0050] 符号说明
[0051] 1…电子部件
[0052] 2…电子部件主体
[0053] 3…多层的固化物膜（加热后）
[0054] 3A、3B、3C···固化物膜（加热后）
[0055] 11、IlX…喷墨装置
[0056] 12…固化性组合物
[0057] 12A、12B、12C···由第1光照射部进行了光照射的预固化物膜
[0058] 12X…多层的预固化物膜
[0059] 12Y…由第2光照射部进行了光照射的多层的预固化物膜
[0060] 13…第1光照射部
[0061] 14…第2光照射部
[0062] 21…油墨罐
[0063] 22…喷出部
[0064] 23、23X…循环流路部
[0065] 23A…缓冲罐
[0066] 23B …泵
[0067] 31…电子部件
[0068] 32…固化物膜
【具体实施方式】
[0069] 以下，对本发明进行详细说明。
[0070] 本发明的固化物膜的制造方法具备：涂布工序，其使用喷墨装置涂布具有光固化 性及热固化性且为液态的固化性组合物。另外，本发明的固化物膜的制造方法具备：第1光 照射工序，其在上述涂布工序后，由第1光照射部对上述固化性组合物照射光，使上述固化 性组合物进行固化，形成预固化物膜。并且，本发明的固化物膜的制造方法还具备：加热工 序，其在上述第1光照射工序后，对经过光照射的上述预固化物膜进行加热，使经过光照射 的上述预固化物膜发生固化，形成固化物膜。
[0071] 另外，在本发明的固化物膜的制造方法中，上述喷墨装置具有：油墨罐，其贮存上 述固化性组合物；喷出部，其与上述油墨罐连接且喷出上述固化性组合物；循环流路部，其 一端与上述喷出部连接，另一端与上述油墨罐部连接且上述固化性组合物在其内部流动。
[0072] 在本发明的固化物膜的制造方法中，在上述涂布工序中，使上述固化性组合物在 上述喷墨装置内从上述油墨罐转移至上述喷出部，然后，使未从上述喷出部喷出的上述固 化性组合物在上述循环流路部内流动而转移至上述油墨罐，由此，一边循环上述固化性组 合物，一边涂布上述固化性组合物。
[0073] 在本发明中，进行特定的上述涂布工序、特定的上述第1光照射工序及特定的上 述加热工序，并且，使用特定的上述喷墨装置使上述固化性组合物在上述喷墨装置内从上 述油墨罐转移至上述喷出部，然后，使未从上述喷出部喷出的上述固化性组合物在上述循 环流路部内流动而转移至上