震波缓冲装置与涂布系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型有关一种震波缓冲装置与涂布系统，特别是指借由一滤波装置，减缓液体震动的一种震波缓冲装置与涂布系统。
【背景技术】
[0002]公知技术中有关管路内部流动的液体(如涂布液)，会随着供料泵的推动压力，或是管路震动等因素，使液体在供料管路或是狭缝喷嘴中带有震动，进而影响液体输出的稳定性。
[0003]如中国专利第CN201310392465.1号专利案“降低管路振动的动力吸振器及设计方法”，是使用管外结合弹簧片借以缓冲管路的震波，属于吸振技术领域，其中，动力吸振器包括通过第一螺栓、第一螺母连接在一起的一对管道夹持件，一对管道夹持件外部均布安装N个弹簧片；弹簧片末端安装有附加质量块，以便降低各种管路系统振动。
[0004]再如中国台湾专利第1386254号“喷涂装置及具有此喷涂装置的液晶涂布机”专利案，包含:主框架；提供于主框架上的平台；可移动地连接主框架的涂布头单元支撑框；移动涂布头单元支撑框的第一驱动单元；提供于涂布头单元支撑框的第二驱动单元；以及喷涂装置，其连接涂布头单元支撑框，可由第二驱动单元移动，其中，喷涂装置包含:支撑组件，可移动地连接涂布头单元支撑框；圆筒组件，具有流入口及流出口于其外表面，可拆卸地连接支撑组件；以及喷涂单元，喷涂自流出口排出的液晶于母基板。当施加电场时，压电装置产生机械应力，借此震动连接管。
[0005]据上所述，公知技术中管路的吸震是采用管外吸震的装置，借以减低管路的震动，但对于管内液体的震动，则无具体改善的功效。
【实用新型内容】
[0006]有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种震波缓冲装置与涂布系统，可缓冲因供料泵或其它机械所产生的液体震动，进而使喷嘴能均匀地涂布液体或喷出液体至基材。
[0007]为达到上述目的，本实用新型提供一种震波缓冲装置，其安装于一用以传输液体的涂布系统，涂布系统具有一供料泵与一喷嘴，震波缓冲装置包括:一腔体；用以提供液体流通并吸收液体的震动的一滤波装置，该滤波装置容置于腔体内，该滤波装置内部具有复数孔洞或复数间隙；一输入管，其一端连结供料泵，另一端连接该腔体，其中液体流经输入管时带有一第一震波；及一输出管，其一端连结喷嘴，另一端连接腔体，其中液体流经输出管时带有一第二震波，第二震波的振幅小于第一震波的振幅。
[0008]该滤波装置为金属网状多孔体、碳纤多孔体、树脂多孔体、塑料多孔体或陶瓷多孔体。
[0009]该腔体的内径大于该输入管以及该输出管的内径。
[0010]本实用新型还提供一种涂布系统，其具有一供料泵、一喷嘴与一震波缓冲装置，其中震波缓冲装置包括:一腔体；用以提供液体流通并吸收液体的震动的一滤波装置，该滤波装置容置于腔体内，滤波装置内部具有复数孔洞或复数间隙；一输入管，其一端连结供料泵，另一端连接腔体，其中液体流经输入管时带有一第一震波；及一输出管，其一端连结喷嘴，另一端连接腔体，其中液体流经输出管时带有一第二震波，第二震波的振幅小于第一震波的振幅。
[0011]该涂布系统为涂布机、显影机、蚀刻机、剥膜机或清洗机。
[0012]本实用新型的震波缓冲装置与涂布系统，可缓冲因供料泵或其它机械所产生的液体震动，进而使喷嘴能均匀地涂布液体或喷出液体至基材。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型震波缓冲装置的示意图；
[0014]图2为本实用新型中输入管内第一震波及部分放大的示意图；
[0015]图3为本实用新型中输入管内第二震波及部分放大的示意图；
[0016]图4为本实用新型涂布系统的使用示意图。
[0017]附图标记说明
[0018]10震波缓冲装置
[0019]11 腔体
[0020]12输出管
[0021]13输入管
[0022]14滤波装置
[0023]20供料泵
[0024]30涂布系统
[0025]40 喷嘴
[0026]31 液体
[0027]51第一震波
[0028]52 第二震波。
【具体实施方式】
[0029]请参考图1，本实用新型提供一种震波缓冲装置10，适用于一用以传输液体31的涂布系统30 (见图4)。涂布系统30用以在一基材(如玻璃基板或软性基板)均匀涂布液体31或喷出液体31。涂布系统30具有一供料泵与一喷嘴，液体31可为一化学药液。
[0030]震波缓冲装置10包括一腔体11、一滤波装置14、一输入管13及一输出管12。
[0031]滤波装置14容置于腔体11内，且滤波装置14内部具有复数孔洞或复数间隙，滤波装置14用以提供液体流通并吸收液体的震动。
[0032]输入管13的一端连结该供料泵20 (见图4)，且另一端连接腔体，其中液体流经输入管13时带有一第一震波51 (见图2)。
[0033]输出管12的一端连结喷嘴40 (见图4)，另一端连接腔体。液体流经该输出管12时带有一第二震波52 (见图3)。第二震波52小于第一震波51。
[0034]请参考图2，是输入管13内第一震波51的不意图与第一震波51的部分放大不意图。如图所示，液体在流经输入管13时带有一第一震波51。其中，第一震波51可为脉冲式的突波震动，或任意形式的震动。此外，第一震波51的振幅约为±0.6kpa(上述振幅值仅为一实施例的示意，实际上可为其它振幅值)。
[0035]请再参考图3，是输出管12内第二震波52的示意图与第二震波52的部分放大示意图。如图所示，液体在流经输出管12时带有一第二震波52。其中，第二震波52可为脉冲式的突波震动，或任意形式的震动。于实施例中，第二震波52的振幅约为±0.1kpa(上述振幅值仅为本实施例的示意，实际上可为小于第一震波51振幅的其它振幅值)。
[0036]由于滤波装置14内部具有复数孔洞或复数间隙，故可提供液体流通并吸收液体的震动或破坏震波以达到缓冲震波的效果。因此，第二震波52的振幅小于第一震波51的振幅。借此，液体经喷嘴吐出时，不仅液体的震动被减缓、喷嘴的供液稳定度增加，更能提升在基材表面的液体均匀度。
[0037]请参考图1，腔体11的内径大于输入管13以及输出管12的内径。由输入管13的液体31进入内径较大的腔体11时，液体31的液压降低，然后液体31流至输出管12。
[0038]滤波装置14可为一金属网状多孔体、一碳纤多孔体、一树脂多孔体、一塑料多孔体或一陶瓷多孔体。实际上，滤波装置14可以是聚丙烯(Polypropylene, PP)或聚四氟乙稀(Polytetraf luoroethene, PTFE)的滤棉结构所形成的多孔体，或是一种纳米碳纤维组成海绵状的多孔体，或是一种纤维状组织所相互交织而成的多孔体。
[0039]请参阅图4，为本实用新型涂布系统30的示意图(本实施例中，涂布系统30包含复数输入管13与复数输出管12 ;本实用新型中的“一”代表一种，而非数量“一”的限制)。本实用新型的涂布系统30包括:一供料泵20、一喷嘴40与一震波缓冲装置10。其中震波缓冲装置10包括:
[0040]一腔体 11;
[0041]一滤波装置14，容置于腔体11内，该滤波装置14内部具有复数孔洞或复数间隙，滤波装置14用以提供液体流通并吸收液体的震动或破坏震波；
[0042]一输入管13，其一端连结供料泵20，另一端连接该腔体11，其中液体流经输入管13时带有一第一震波51 (图中未示)；及
[0043]一输出管12，其一端连结喷嘴40，另一端连接腔体11，其中液体流经输出管12时带有一第二震波52 (图中未不)，其中第二震波52小于第一震波51。
[0044]涂布系统30可为一涂布机(coater)、显影机(developer)、蚀刻机(etcher)、剥膜机(stripper)、清洗机(cleaner)。
[0045]综上所述，借由本实用新型的震波缓冲装置或涂布系统，基材进行化学工艺(如涂布工艺、显影工艺、蚀刻工艺、清洗工艺或剥膜工艺)时，可缓冲因供料泵或其它机械所产生的液体震动，进而使喷嘴能均匀地涂布液体或喷出液体至基材。
[0046]以上所述，仅记载本实用新型为呈现解决问题所采用的技术手段的较佳实施方式或实施例而已，并非用来限定本实用新型专利实施的范围。即凡是与本实用新型权利要求范围文义相符，或依本实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，均为本实用新型专利范围所涵盖。
【主权项】
1.一种震波缓冲装置，其安装于一用以传输液体的涂布系统，其特征在于，该涂布系统具有一供料泵与一喷嘴，该震波缓冲装置包括: 一腔体； 用以提供液体流通并吸收液体的震动的一滤波装置，该滤波装置容置于该腔体内，该滤波装置内部具有复数孔洞或复数间隙； 一输入管，其一端连结该供料泵，另一端连接该腔体，其中该液体流经该输入管时带有一第一震波；及 一输出管，其一端连结该喷嘴，另一端连接该腔体，该液体流经该输出管时带有一第二震波，其中该第二震波的振幅小于该第一震波的振幅。
2.如权利要求1所述的震波缓冲装置，其特征在于，该滤波装置为金属网状多孔体、碳纤多孔体、树脂多孔体、塑料多孔体或陶瓷多孔体。
3.如权利要求1所述的震波缓冲装置，其特征在于，该腔体的内径大于该输入管以及该输出管的内径。
4.一种涂布系统，其特征在于，其包括:一供料泵、一喷嘴与一震波缓冲装置；其中震波缓冲装置，包括: 一腔体； 用以提供液体流通并吸收液体的震动的一滤波装置，该滤波装置容置于该腔体内，该滤波装置内部具有复数孔洞或复数间隙； 一输入管，其一端连结该供料泵，另一端连接该腔体，其中液体流经该输入管时带有一第一震波；以及一输出管，其一端连结该喷嘴，另一端连接该腔体，其中液体流经该输出管时带有一第二震波，其中该第二震波的振幅小于该第一震波的振幅。
5.如权利要求4所述的涂布系统，其特征在于，该涂布系统为涂布机、显影机、蚀刻机、剥膜机或清洗机。
【专利摘要】本实用新型公开了一种震波缓冲装置与涂布系统，震波缓冲装置适用于一用以传输液体的涂布系统。其中，涂布系统具有一供料泵与一喷嘴。震波缓冲装置包括：输入管、腔体、输出管、以及滤波装置；滤波装置容置于腔体内，滤波装置内部具有复数孔洞或复数间隙，用以提供液体流通并吸收液体的震动；输入管一端连结供料泵，另一端连接腔体，液体于流经输入管时带有一第一震波；输出管一端连结喷嘴，另一端连接腔体，液体于流经输出管时带有一第二震波，第二震波小于该第一震波。本实用新型可缓冲因供料泵或其它机械所产生的液体震动，进而使喷嘴能均匀地涂布液体或喷出液体至基材。
【IPC分类】F16L55-027, B05B13-00, B05C11-10, F16L55-04
【公开号】CN204448454
【申请号】CN201520011602
【发明人】徐启敏, 张志安
【申请人】亚智科技股份有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年1月8日