匀胶机排风装置及匀胶机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体领域，特别地，涉及一种匀胶机排风装置及匀胶机。
【背景技术】
[0002]匀胶机是一种利用旋转产生的离心力原理，将胶液均匀甩开，平铺到材料表面的机械装置，应用于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域。匀胶时，光刻胶的干燥速度不仅取决于光刻胶的自身性质(挥发性)，而且取决于匀胶过程中基片周围的空气状况，因此，减小基片上面空气的流动以及因空气流动引起的紊乱是非常重要的，匀胶过程中，在光刻胶被甩向基片边缘的同时，由于溶剂挥发，光刻胶得以干燥，造成光刻胶膜厚沿径向分布不均匀，而通过调整光刻胶的干燥速度可使整个基片表面光刻胶的膜厚均匀性保持良好。目前匀胶机中的排风装置由于无法调整光刻胶的干燥速度，造成基片表面光刻胶的膜厚均匀性不佳、基片表面变色等缺陷。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供了一种匀胶机排风装置，以解决现有匀胶机中的排风装置由于无法调整光刻胶的干燥速度，造成基片表面光刻胶的膜厚均匀性不佳、基片表面变色的技术问题。
[0004]本实用新型采用的技术方案如下:
[0005]—种匀胶机排风装置，包括风机、排风管，风机与排风管相连，匀胶机排风装置还包括至少一根软管和至少一个可调节阀门，其中，软管的一端与废胶槽底部相通，软管的另一端通过可调节阀门与排风管相通。
[0006]进一步地，软管与排风管之间设有用于收集残胶的废胶箱体，可调节阀门位于软管与废胶箱体的连通处。
[0007]进一步地，软管的数量为多根，多根软管共用废胶箱体并经废胶箱体连通排风管，每根软管对应设有可调节阀门。
[0008]进一步地，软管的数量为四根，相应地，可调节阀门的数量为四个，且四根软管呈90度直角对称分布在废胶槽底部。
[0009]进一步地，废胶箱体为抽屉式箱体。
[0010]进一步地，软管与可调节阀门通过扎带连接。
[0011]进一步地，软管通过扎带固定在废胶槽底部。
[0012]本实用新型另一方面还提供:
[0013]—种匀胶机，包括主体机和匀胶台，匀胶台设于主体机的中间位置处，且与主体机内的电动马达连接，用于驱动匀胶台进行旋转，匀胶机还包括如上述任一所述的匀胶机排风装置。
[0014]本实用新型具有以下有益效果:
[0015]本实用新型的匀胶机排风装置及匀胶机，通过可调节阀门来控制软管的关闭，从而来控制基片上面空气的流动，以此来调整光刻胶的干燥速度，使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳，同时基片表面也不会产生变色不良的情况。
[0016]除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。
【附图说明】
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0018]图1是本实用新型优选实施例的匀胶机排风装置的一侧视图；
[0019]图2是本实用新型优选实施例的匀胶机排风装置的另一侧视图；
[0020]图3是本实用新型优选实施例的匀胶机排风装置的又一侧视图；
[0021]图4是图3中的匀胶机排风装置的俯视图。
[0022]附图标记说明:
[0023]1:风机；2:排风管；3:软管；4:可调节阀门；5:废胶槽；6:废胶箱体；7:主体机；8:匀胶台。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0025]参照图1，本实用新型的优选实施例提供了一种匀胶机排风装置，包括风机1、排风管2，至少一根软管3和至少一个可调节阀门4。其中，软管3的一端与废胶槽5底部相通，软管3的另一端通过可调节阀门4与排风管2相通。风机I用于提供动力以将废胶槽5中的气体通过软管3和排风管2抽出至大气中。
[0026]本实施例中，通过可调节阀门4调节软管3，以调节从废胶槽5底部排出到排风管2中的风量大小，从而控制基片上面空气的流动，以此来调整光刻胶的干燥速度，使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳，同时基片表面也不会产生变色不良的情况。
[0027]在上述实施例的基础上，参照图2，进一步地，软管3与排风管2之间设有用于收集残胶的废胶箱体6，可调节阀门4位于软管3与废胶箱体6的连通处。
[0028]本实施例中，废胶箱体6的设置，可使废胶槽5中的残胶颗粒以及涂胶时产生的飞溅颗粒不会污染排风管2，从而不会使排风管2中聚集的颗粒污染源反过来污染涂胶环境，使基片颗粒不良，并且小块残胶及光刻胶固态颗粒会储存在废胶箱体6中，不会堵塞排风管2。
[0029]在上述实施例的基础上，进一步地，本实用新型的匀胶机排风装置，软管3的数量为多根，多根软管3共用废胶箱体6并经废胶箱体6连通排风管2，每根软管3对应设有可调节阀门4。具体的，参照图3和图4，软管3的数量为四根，相应地，可调节阀门4的数量为四个，且四根软管3呈90度直角对称分布在废胶槽5底部。可更加方便均匀的调节基片上面空气的流动，更加精确的调整光刻胶的干燥速度，使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳，同时基片表面也不会产生变色不良的情况。
[0030]进一步地，废胶箱体6为抽屉式箱体。当匀胶机运行一段时间后，废胶箱体6中会积累小块残胶及光刻胶固态颗粒，此时只需将废胶箱体6抽出，清洁废胶箱体6即可，抽屉式箱体方便拆卸和安装。
[0031]进一步地，软管3与可调节阀门4通过扎带连接。解开扎带即可将软管3和可调节阀门4拆卸，便于软管3和可调节阀门4的清洁和更换，操作简单方便。
[0032]进一步地，软管通过扎带固定在废胶槽底部。
[0033]参照图4，本实用新型的优选实施例还提供了一种匀胶机，包括主体机7、匀胶台8和上述实施例中的匀胶机排风装置，匀胶台8设于主体机7的中间位置处，且与主体机7内的电动马达(图中未示出)连接，用于驱动匀胶台8进行旋转。匀胶时，废胶槽5、主体机7和匀胶台8构成一个密封空间，通过匀胶机排风装置可将该密封空间中的气体排出至大气中。
[0034]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种匀胶机排风装置，包括风机(I)、排风管(2)，所述风机(I)与所述排风管(2)相连，其特征在于，所述匀胶机排风装置还包括至少一根软管(3)和至少一个可调节阀门(4)，其中，所述软管(3)的一端与废胶槽(5)底部相通，所述软管(3)的另一端通过所述可调节阀门(4)与所述排风管(2)相通。2.根据权利要求1所述的匀胶机排风装置，其特征在于，所述软管(3)与所述排风管(2)之间设有用于收集残胶的废胶箱体￠)，所述可调节阀门(4)位于所述软管(3)与所述废胶箱体出)的连通处。3.根据权利要求2所述的匀胶机排风装置，其特征在于，所述软管(3)的数量为多根，多根所述软管(3)共用所述废胶箱体(6)并经所述废胶箱体(6)连通所述排风管(2)，每根所述软管(3)对应设有所述可调节阀门(4)。4.根据权利要求2所述的匀胶机排风装置，其特征在于，所述软管(3)的数量为四根，相应地，所述可调节阀门(4)的数量为四个，且四根所述软管(3)呈90度直角对称分布在所述废胶槽(5)底部。5.根据权利要求2所述的匀胶机排风装置，其特征在于，所述废胶箱体(6)为抽屉式箱体。6.根据权利要求1-5任一所述的匀胶机排风装置，其特征在于，所述软管(3)与所述可调节阀门(4)通过扎带连接。7.根据权利要求1-5任一所述的匀胶机排风装置，其特征在于，所述软管(3)通过扎带固定在所述废胶槽(5)底部。8.一种匀胶机，包括主体机(7)和匀胶台(8)，所述匀胶台(8)设于主体机(7)的中间位置处，且与主体机(7)内的电动马达连接，用于驱动匀胶台(8)进行旋转，其特征在于，所述匀胶机还包括如上述权利要求1-7任一所述的匀胶机排风装置。
【专利摘要】本实用新型公开了一种匀胶机排风装置及匀胶机，包括风机、排风管，所述风机与所述排风管相连，还包括至少一根软管和至少一个可调节阀门，其中，所述软管的一端与废胶槽底部相通，所述软管的另一端通过所述可调节阀门与所述排风管相通。本实用新型的匀胶机排风装置及匀胶机，通过可调节阀门来控制软管的关闭，从而来控制基片上面空气的流动，以此来调整光刻胶的干燥速度，使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳，同时基片表面也不会产生变色不良的情况。
【IPC分类】B05C11/10, B05C11/08
【公开号】CN204746769
【申请号】CN201520396814
【发明人】李翼, 李伟, 颜春李, 徐根, 张 诚, 周学文
【申请人】湖南普照信息材料有限公司, 湖南电子信息产业集团有限公司
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年6月10日