一种全焊接气体分布器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于臭氧、氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、氯气、二氧化硫等各种气体分布的全焊接气体分布器。
【背景技术】
[0002]目前，现有的气体分布器多为单面平板式，气体只能向上分布，烧结金属粉末微孔材料圆板通过法兰环及螺栓组与其他组件进行固定，并需要用胶圈来实现烧结金属粉末微孔板与质密件之间的密封，现有分布器结构复杂，泄露点多，气体分布面积小，强度低，适应性差。
【发明内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、高强度、大通量、低成本及低故障率的全焊接气体分布器。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的解决方案是:
[0005]—种全焊接气体分布器，其特征是由上部件、下部件及进气管组成，上部件和下部件焊接成整体，进气管一端焊接到下部件上，进气管内孔与上部件、下部件组成的内腔相连通，其中上部件及下部件均为薄壁件，上部件形状可做成圆板或锥台面，下部件形状可做成圆板、球缺面或者锥台面；
[0006]在一些实施方式中，其中上部件为烧结金属粉末微孔材料，下部件和进气管为质密材料；
[0007]在另一些实施方式中，其中上部件和下部件全部为烧结金属粉末微孔材料，进气管为质密材料；
[0008]在另一些实施方式中，其中进气管为中空的钢管，其一端焊接到下部件上。
【附图说明】
[0009]图1为现有气体分布器结构示意图；
[0010]图2为本实用新型第一种实施方案示意图；
[0011]图3为本实用新型第二种实施方案示意图；
[0012]图4为本实用新型第三种实施方案示意图；
[0013]图5为本实用新型第四种实施方案示意图；
[0014]图6为本实用新型第五种实施方案示意图；
[0015]图7为本实用新型第六种实施方案示意图；
[0016]图8为本实用新型第七种实施方案示意图；
[0017]图9为本实用新型第八种实施方案示意图；
[0018]图10为本实用新型第九种实施方案示意图；
[0019]图11为本实用新型第十种实施方案示意图；
[0020]图12为本实用新型第^^一种实施方案示意图；
[0021]图13为本实用新型第十二种实施方案示意图；
[0022]图14为本实用新型第十三种实施方案示意图；
[0023]图15为本实用新型第十四种实施方案示意图；
[0024]图16为本实用新型第十五种实施方案示意图；
[0025]图17为本实用新型第十六种实施方案示意图；
[0026]在附图2中，2-1为下部件，2-2为进气管，2-3为上部件；
[0027]在附图3中，3-1为下部件，3-2为进气管，3-3为上部件；
[0028]在附图4中，4-1为下部件，4-2为进气管，4_3为上部件；
[0029]在附图5中，5-1为下部件，5-2为进气管，5-3为上部件；
[0030]在附图6中，6-1为下部件，6-2为进气管，6_3为上部件；
[0031]在附图7中，7-1为下部件，7-2为进气管，7-3为上部件；
[0032]在附图8中，8-1为下部件，8-2为进气管，8_3为上部件；
[0033]在附图9中，9-1为下部件，9-2为进气管，9_3为上部件；
[0034]在附图10中，10-1为下部件，10-2为进气管，10-3为上部件；
[0035]在附图11中，11-1为下部件，11-2为进气管，11-3为上部件；
[0036]在附图12中，12-1为下部件，12-2为进气管，12-3为上部件；
[0037]在附图13中，13-1为下部件，13-2为进气管，13-3为上部件；
[0038]在附图14中，14-1为下部件，14-2为进气管，14-3为上部件；
[0039]在附图15中，15-1为下部件，15-2为进气管，15-3为上部件；
[0040]在附图16中，16-1为下部件，16-2为进气管，16-3为上部件；
[0041]在附图17中，17-1为下部件，17-2为进气管，17-3为上部件；
【具体实施方式】
[0042]下面结合几种实施方案及附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0043]第一种实施方案
[0044]如图2所示为本实用新型的一个具体实施例，2-3上部件形状为锥台面，材料为烧结金属粉末微孔材料，2-1下部件形状可以为圆筒短节与球缺面两部分焊接，也可以是直接冲压为一体的球缺面，材料为质密材料，以上部件均为薄壁件；2-2进气管是中空的钢管，其一端焊接在2 I下部件的球缺面上。工作时，气体从2-2进气管进入气体分布器内腔，通过2-3上部件的锥台面内部的毛细微孔均匀分散到腔外，从而起到气体均匀分布的作用。
[0045]第二种实施方案
[0046]如图3所示为本实用新型的另一个具体实施例，2-3上部件形状为锥台面，材料为烧结金属粉末微孔材料，2-1下部件形状为圆筒短节与球缺面两部分焊接，其中圆筒短节材料为质密材料，球缺面材料为烧结金属粉末微孔材料，以上部件均为薄壁件；2_2进气管是中空的钢管，其一端焊接在2 I下部件的球缺面上。工作时，气体从2-2进气管进入气体分布器内腔，通过2-3上部件的锥台面和2-1下部件的球缺面内部的毛细微孔均匀分散到腔夕卜，从而起到气体均匀分布的作用。
[0047]第三种实施方案
[0048]如图4所示为本实用新型的另一个具体实施例，4-3上部件形状为锥台面，材料为烧结金属粉末微孔材料，4-1下部件形状为球缺面，材料为质密材料，以上部件均为薄壁件；2-2进气管是中空的钢管，其一端焊接在4-1下部件的球缺面上。工作时，气体从4-2进气管进入气体分布器内腔，通过4 3上部件的锥台面内部的毛细微孔均匀分散到腔外，从而起到气体均匀分布的作用。
[0049]第四种实施方案
[0050]如图5所示为本实用新型的另一个具体实施例，5-3上部件形状为锥台面，5-1下部件形状为球缺面，材料都为烧结金属粉末微孔材料，以上部件均为薄壁件；2-2进气管是中空的钢管，其一端焊接在5-1下部件的球缺面上。工作时，气体从5-2进气管进入气体分布器内腔，通过5-3上部件的锥台面和5-1下部件的球缺面内部的毛细微孔均匀分散到腔夕卜，从而起到气体均匀分布的作用。
[0051]第五种实施方案
[0052]如图6所示为本实用新型的另一个具体实施例，6-3上部件形状为圆板，材料为烧结金属粉末微孔材料，6-1下部件形状可以为圆筒短节与球缺面两部分焊接，也可以是直接冲压为一体的球缺面，材料为质密材料，以上部件均为薄壁件；6-2进气管是中空的钢管，其一端焊接在6-1下部件的球缺面上。工作时，气体从6-2进气管进入气体分布器内腔，通过6-3上部件的锥台面内部的毛细微孔均匀分散到腔外，从而起到气体均匀分布的作用。
[0053]第六种实施方案
[0054]如图7所示为本实用新型的另一个具体实施例，7-3上部件形状为圆板，材料为烧结金属粉末微孔材料，7-1下部件形状为圆筒短节与球缺面两部分焊接，其中圆筒短节材料为质密材料，球缺面材料为烧结金属粉末微孔材料，