一种过滤器预湿系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及半导体制程领域，特别是涉及一种过滤器预湿系统。
【背景技术】
[0002] 在半导体制程中，通常包括多道工序，其中晶圆的布图需要采用光阻，并对光阻进 行受控的曝光。光阻是一种具有特定分子结构的光敏物质，它在入射光的作用下会发生变 化，是半导体制造工艺中非常重要的材料，大部分光阻为液体，在晶圆表面铺光阻时需要将 光阻由一存储器推送至喷嘴以进行涂布，而且还需要通过一过滤器，去除光阻中的杂质。过 滤器在使用前需要经过预湿处理，以减少过滤器内的气泡，节省光阻，减少制程缺陷。
[0003] 随着黄光制程从0.13um发展为28nm，过滤器的尺寸也从50nm降至5nm，并且对于过 滤器的过滤质量和洁净度也有了更高的要求，所以相应的过滤器的预湿效果也变得更加重 要。
[0004]传统的过滤器预湿包括两种方法，一种方法是将预湿液体装入滴瓶中，再用滴瓶 将预湿液体挤到过滤器中，然后放置一段时间，这样处理后过滤器中会有气泡，而且膜的浸 润效果不好，洁净度也不高；另一种方法是将过滤器安装到一条空置的光阻管路上，然后通 过手动方式不断地清洁过滤器，这样的操作比较麻烦，而且浪费人力，有人为不可控因素影 响，效果也不好。
[0005]由于传统的过滤器预湿程序浪费人力、浪费预湿液体，而且效果不是很好，因此无 法满足黄光制程的要求，如何提高过滤器的预湿效果、节省成本已成为本领域技术人员亟 待解决的问题之一。 【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种过滤器预湿系 统，用于解决现有技术中过滤器预湿效果差、制程缺陷多、成本高等问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种过滤器预湿系统，所述过 滤器预湿系统至少包括：
[0008] -连接于厂务供液端，用于输送预湿液体的送液装置；
[0009] 若干待预湿的过滤器，各过滤器包括进液口、出液口以及出气口，各过滤器通过进 液口和出液口串联于所述送液装置的输出端和输入端之间的回路中，各过滤器之间设置有 控制阀，各过滤器的出气口经控制阀后连接厂务废液端；
[0010] 一控制所述预湿液体流速的压力控制装置。
[0011]更优选地，所述送液装置与所述厂务供液端之间设置有流量调节阀、流量显示器。 [0012]更优选地，所述送液装置为输液栗。
[0013]优选地，各过滤器出气口的控制阀后还连接有流量计。
[0014] 优选地，所述送液装置的输出端和输入端之间的回路中设置有流量计。
[0015]优选地，所述控制阀为电磁流量阀。
[0016] 优选地，各过滤器的尺寸沿着液体的流向逐渐减小。
[0017] 优选地，最后一级过滤器的出液口还连接至所述厂务废液端。
[0018] 优选地，所述预湿液体为酒精或异丙醇。
[0019] 如上所述，本实用新型的过滤器预湿系统，具有以下有益效果：
[0020] 本实用新型的过滤器预湿系统通过压力控制来调节预湿液体的流速，进而对过滤 器进行气泡排放和过滤膜浸润的操作，实现较高的预湿效果;本实用新型的过滤器预湿系 统可同时处理多个过滤器的预湿处理，通过回路对预湿液体进行过滤、循环利用，节省了预 湿液体，且由于预湿效果好进而可减少光阻的使用量，大大节省了生产成本。
【附图说明】
[0021] 图1显示为本实用新型的过滤器预湿系统示意图。
[0022]图2显示为过滤器的内部结构示意图。
[0023]图3显示为过滤器内气泡量与压力的关系示意图。
[0024]图4~图7显示为本实用新型的过滤器预湿系统工作原理示意图。
[0025] 元件标号说明
[0026] 1 过滤器预湿系统
[0027] 11 厂务供液端
[0028] 111 第一电磁阀
[0029] 112 流量调节阀
[0030] 113 流量显示器
[0031] 114 第二电磁阀
[0032] 115 第三电磁阀
[0033] 12 送液装置
[0034] 13 压力控制装置
[0035] 141~143 第一~第三过滤器
[0036] 151~157 第一~第七控制阀
[0037] 161~164 第一~第四流量计
[0038] 17 厂务废液端
【具体实施方式】
[0039]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说 明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外 不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应 用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0040] 请参阅图1~图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本 实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的 组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改 变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0041] 如图1所示，本实用新型提供一种过滤器预湿系统1，所述过滤器预湿系统1包括：
[0042]厂务供液端11、送液装置12、压力控制装置13、若干待预湿的过滤器14、若干控制 阀15、若干流量计16以及厂务废液端17。
[0043]具体地，如图1所示，所述送液装置12为所述过滤器预湿系统1输送预湿液体。在本 实施例中，所述预湿液体为酒精或异丙醇，工艺、目的不同，预湿液体的选择也不相同，不以 本实施例为限。在本实施例中，所述送液装置12为输液栗，包括2个输入端、1个输出端以及1 个控制端。
[0044]所述送液装置12的第一输入端连接于所述厂务供液端11，在本实施例中，所述送 液装置12与所述厂务供液端11之间设置有第一电磁阀111、流量调节阀112、流量显示器113 以及第二电磁阀114。所述送液装置12从所述厂务供液端11抽取预湿液体，所述第一电磁阀 111、流量调节阀112以及第二电磁阀113对预湿液体的流向及流量进行控制，同时从所述流 量显示器113上直观读取预湿液体的流量，便于调节。
[0045]所述送液装置12的控制端连接于所述压力控制装置13,藉由所述压力控制装置13 对所述送液装置12中输出的预湿液体的流速进行控制。在本实施例中，所述压力装置13排 出犯(氮气），通过N2对预湿液体施加不同的压力，进而控制预湿液体的流速。所述压力控制 装置13可通过其他不同的方式或气体来实现预湿液体流速的控制，不以本实施例为限。
[0046]所述送液装置12的输出端及第二输入端之间形成串联回路，包括若干待预湿的过 滤器14，如图2所示，过滤器包括外壳、过滤膜、进液口、出液口以及出气口。液体从进液口进 入过滤器，若从出气口排出，则液体不经过过滤膜;若从出液口排出，则液体经过过滤膜。在 本实施例中，优选为3个过滤器，分别为第一过滤器141、第二过滤器142以及第三过滤器 143。在本实施例中，所述第一过滤器141的尺寸大于所述第二过滤器142的尺寸，所述第二 过滤器142的尺寸大于所述第三过滤器143的尺寸。其中，所述第一过滤器141的进液口通过 第三电磁阀115连接至所述送液装置12的输出端，所述第一过滤器141的出液口通过第一控 制阀151连接至所述第二过滤器142的进液口，所述第二过滤器142的出液口通过第二控制 阀152连接至所述第三过滤器143的进液口，所述第三过滤器143的出液口通过第三控制阀 153连接至所述送液装置12的第二输入端，形成串联回路。所述送液装置12的输出端和第二 输入端之间的回路中设置有第一流量计161，在本实施例中，所述第一流量计161连接于所 述第三过滤器143及所述第三控制阀153之间。所述第一过滤器141的出气口通过第四控制 阀154连接至所述厂务废液端17,所述第二过滤器142的出气口通过第五控制阀155连接至 所述厂务废液端17，所述第三过滤器143的出气口通过第六控制阀156连接至所述厂务废液 端17,在本实施例中，所述第四控制阀154、所述第五控制阀155、所述第六控制阀156与所述 厂务废液端17之间设置有流量计，分别为第二流量计162、第三流量计163以及第四流量计 164,通过各流量计可对各管路的预湿液体的流量进行实施监测。在本实施例中，各控制阀 15为电磁流量阀。
[0047]如图1所示，所述第一流量计161的输出端还通过第七控制阀157连接至所述厂务 废液端17,以便排出所述过滤器预湿系统1中的预湿液体。在本实施例中，所述第七控制阀 157为电磁流量阀。
[0048]如图3所示，压力与过滤器中的气泡量有关，在某一压力时，过滤器中的气泡量会 达到最小，在本实施例中为2.5psi(约为0.017Mpa)。因此，本实用新型的过滤器预湿系统通 过压力控制来调节预湿液体的流速，，一开始压力小一点，将过滤器中的大量空气慢慢置换 出并慢慢浸润过滤膜，然后压力再逐渐加大，使预湿液体快速通过过滤膜达到过滤器中过 滤膜的平衡，实现较高的预湿效果。本实用新型的过滤器预湿系统可同时处理多个过滤器 的预湿处理，通过回路对预湿液体进行过滤、循环利用，节省了预湿液体，且由于预湿效果 好进而可减少光阻的使用量，大大节省了生产成本。