旋流式沉降器的制造方法

文档序号:10395880阅读:449来源:国知局
旋流式沉降器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及沉降器领域,具体涉及一种衬底加工行业磨液、切削液用沉降器领域。
【背景技术】
[0002]随着半导体行业的快速发展,各种衬底片材料需求量激增,尤其是集成电路用单晶硅片的得到了快速发展,在单晶硅片加工处理各个环节拥有诸多浆料,诸如:多线切割浆料、研磨浆料、抛光浆料等。为了降低硅片加工成本,其浆料一般经过沉降过滤处理,分离出浆料中的残渣,得到相对清澈的浆料便于二次利用。由于使用后的浆料中存在诸多不同粒径、不同质量的残渣颗粒,同时浆料含有悬浮剂具有一定的粘度。随着硅片尺寸的不断增大,硅片品质提出了更高的要求,对浆料提出了更高的要求,因而传统的沉降器往往难以较为粘稠的浆料中分离微小的颗粒,分离能力有限。
[0003]诸如专利CN201420067559.1,采用过滤网的方式,分离浆料与残渣颗粒,过滤网会面临频繁更换,阻塞的问题,不利于大规模批量化硅片产品的加工处理。同时,现在的大型硅片加工工厂,均采用浆料集中管理处理、浆料系统在底层而设备在高层的设计,一方面物料的管理与转运能力,但现有的技术不能满足大规模批量化生产车间的需求。
[0004]针对以上问题,本发明提供一种高效的浆料、废液处理用旋流式沉降器。
【实用新型内容】
[0005]针对以上问题,本实用新型专利提供一种高效的浆料或废液处理用旋流式沉降器,其特征在于圆桶型沉降筒3内部设有一个器壁带有孔洞4的圆锥形整流筒2,且沉降器上方的正中央设有一排浆管5,在沉降器3的侧面设有与圆桶型沉降筒3相切的进浆口 I。
[0006]进一步,圆锥形整流筒2的坡度为60?85度。
[0007]进一步,所述圆锥形整流筒2的下端开口的直径不小于排浆管5的直径。
[0008]进一步,所述排浆管5插入沉降器3内部的末端的深度应不低于进浆口I。
[0009]更进一步,所述排浆管插入沉降器内部的末端距离进浆口的高度不低于2倍的进浆口高度。
[0010]本实用新型专利的有益效果在于采用圆锥形设计,浆料从高度回流到沉降器中因重力具有一定的惯性。在圆锥形整流器作用下,浆料被迫高速旋转,产生离心力,从而使浆料中的残渣颗粒甩至圆锥形整流器壁,穿过孔洞掉落至沉降器底部,或经锥形整流器壁滑落至沉降器底部。在圆锥形整流器的分隔作用下,整流器内部的浆料流速较快,而外部的浆料相对静止,便于残渣颗粒沉降。
【附图说明】
[0011 ]图1旋流式沉降器主视示意图
[0012]图2旋流式沉降器俯视剖面示意图。
【具体实施方式】
[0013]以下结合实施例对本发明作进一步说明。
[0014]在集成电路用单晶硅片生产加工行业,其生产规模已进入几十万片/月的时代,厂房设计更为便利、节能、高效。本使用新型专利特别适用于生产,加工设备在楼上而浆料处理系统在楼下的生产车间,硅片加工过程产生的旧的浆料,经重力自动回流至底层;通过进浆口 I进入圆锥形整流筒2中,在回流惯性和整流筒的作用下,浆料在圆锥形整流筒2中进行旋转,残渣颗粒(如:硅片肩、研磨砂)在离心力的作用下被甩向筒壁,经孔洞或整流筒底掉落至沉降器底部,而浆料经排浆口和排浆延长管排出到将为低洼的浆池中。在重力和排浆延长管的作用下,提高了浆料的流动和旋转速度,从而进一步提高了浆料处理能力。
[0015]本实用新型的另一实施例,采用两个或多个旋流式沉降器串联的方式,逐级分离浆料中的不同种类或规格的残渣颗粒。诸如,将硅片加工设备步骤在三楼,一级沉降器布置在二楼,二级沉降器布置在一楼。将硅片加工设备的浆料的回流管与一级沉降器的进浆口相连接,一级沉降器的排浆口通过延长管与二级沉降器的进浆口相连接,二级沉降器的排浆口通过延长管与一个浆料栗连接。通过浆料栗辅助提供浆料在沉降器的旋转流动的动力。通过该操作方法可以提高浆料的处理能力,或实现残渣的分级处理。因而,本实用新型专利提供的旋流式沉降器,具有较强的浆料处理能力,结构简单,节能降耗。
【主权项】
1.一种旋流式沉降器,其特征在于圆桶型沉降筒(3)内部设有一个器壁带有孔洞(4)的圆锥形整流筒(2),且沉降器上方的正中央设有一排浆管(5),在沉降器(3)的侧面设有与圆桶型沉降筒(3)相切的进浆口(I)。2.根据权利要求1所述的旋流式沉降器,其特征在于所述圆锥形整流筒(2)的坡度为60?85度。3.根据权利要求1所述的旋流式沉降器,其特征在于所述圆锥形整流筒(2)的下端开口的直径不小于排浆管(5)的直径。4.根据权利要求1所述的旋流式沉降器,其特征在于所述排浆管(5)插入沉降器(3)内部的末端的深度应不低于进浆口( I)。5.根据权利要求4所述的旋流式沉降器,其特征在于所述排浆管插入沉降器内部的末端距离进浆口的高度不低于2倍的进浆口高度。
【专利摘要】本实用新型提供一种旋流式沉降器,其特征在于采用底部镂空的圆锥形整流筒,进水口与圆锥形整流筒相切的布局,同时在圆锥形整理筒的内壁钻有孔洞。借助圆锥形整流筒的导流作用和废水或浆料的自重,使废水或浆料在沉降器中旋转,从而产生离心力,使残渣甩出孔洞或圆锥底部出口,而沉降至沉降器底部。该技术提高了传统沉降器的处理能力,增强了沉降器的应用性。
【IPC分类】B01D21/02, B01D21/26
【公开号】CN205307887
【申请号】CN201521056439
【发明人】李秦霖, 宋洪伟
【申请人】上海超硅半导体有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2015年12月17日
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