一种均匀混合氧化铈泥浆的装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种制备超细氧化铈的系统，包括草酸铈生成装置以及与其连接的高温氧化装置，高温氧化装置包括炉体，炉体侧面设有燃烧器；草酸铈生成装置包括反应器，反应器内的顶部设有直线型导轨以及沿导轨往返的至少两个活动式分散剂喷洒器。本实用新型的草酸铈生成装置内设有至少两个活动式分散剂喷洒器，这些分散剂喷洒器能够沿直线型导轨往返运动，从而充分喷洒分散剂，在分散剂的作用下保证了草酸铈的小粒径，进而在高温氧化阶段保证获得氧化铈产品的小粒径，获得超细氧化铈产品。
【专利说明】
一种均匀混合氧化铈泥浆的装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种混合装置，具体涉及一种均匀混合氧化铈泥浆的装置。属于稀土材料技术领域。
【背景技术】
[0002]抛光粒子是抛光浆料最重要的组成部分，铈基抛光粉作为一种优良的抛光材料，以其独特的抛光性能及质量，在玻璃、集成电路芯片以及互连材料等高科技领域都获得了广泛的应用。氧化铈作为抛光材料在精密玻璃和ULSI 二氧化硅介质层的CMP中表现出色，不仅抛光能力强，而且可以降低工件表面损伤，提高抛光选择性。由于抛光粒子的组成、纯度、硬度、粒度等物化性能都会导致抛光性能的显著改变，因此，抛光粉体的性能对抛光性能改善尤为重要。其中，抛光粒子的均匀度是保证抛光性能的最基本要求，抛光浆料的调配均匀度直接决定了最终的抛光性能。
[0003]因此，在使用氧化铈泥浆对工件进行抛光前，应当使氧化铈泥浆混合均匀。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种均匀混合氧化铈泥浆的装置。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案:
[0006]—种均匀混合氧化铈泥浆的装置，包括罐体以及伸入其内部的搅拌机构，搅拌机构包括搅拌杆，所述搅拌杆上固定连接有多层叶片，并且，叶片上布设有多个分散剂喷洒机构。
[0007]优选的，所述搅拌机构由罐体外部的驱动装置驱动。
[0008]优选的，所述的多层叶片为三至四层，每层三个叶片间隔120°均匀设置在搅拌杆上。
[0009]优选的，每层三个叶片一致向上或向下倾斜，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为85?90。。
[0010]进一步优选的，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为85°。
[0011]优选的，所述的每层三个叶片不在一个平面的，其上下间隔10?20mm。
[0012]优选的，所述分散剂喷洒机构由罐体外部的控制装置控制。
[0013]优选的，所述分散剂喷洒机构均匀分布在叶片底部。
[0014]优选的，所述的分散剂喷洒机构为羧甲基纤维素喷洒机构。
[0015]本实用新型的有益效果:
[0016]本实用新型的混合装置采用了多层叶片，并且叶片倾斜设置，增加了罐体内氧化铈泥浆各个部分的搅拌和切割次数，同时，叶片上还设有分散剂喷洒孔，多点喷洒分散剂从而有效改善氧化铈的分散性，使得氧化铈泥浆混合均匀，进而提高其抛光性能。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型结构不意图；
[0018]图2为搅拌杆与叶片的夹角示意图；
[0019]图3为图1的俯视图；
[0020]其中，I为搅拌杆，2为罐体，3为叶片，4为分散剂喷洒机构，5为驱动装置，α为叶片与搅拌杆中心轴的夹角。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图和实施例对本实用新型进行进一步的阐述，应该说明的是，下述说明仅是为了解释本实用新型，并不对其内容进行限定。
[0022]实施例1:
[0023]如图1?3所示，本实用新型的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，包括罐体以及伸入其内部的搅拌机构，搅拌机构由罐体外部的驱动装置驱动。
[0024]搅拌机构包括搅拌杆，搅拌杆上固定连接有三层叶片，每层三个叶片间隔120°均匀设置在搅拌杆上，每层三个叶片一致向上倾斜，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为85°。每层三个叶片不在一个平面的，其上下间隔10mm。
[0025]叶片上布设有多个分散剂喷洒机构，分散剂喷洒机构由罐体外部的控制装置控制，分散剂(羧甲基纤维素)喷洒机构均匀分布在叶片底部。
[0026]实施例2:
[0027]如图1?3所示，本实用新型的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，包括罐体以及伸入其内部的搅拌机构，搅拌机构由罐体外部的驱动装置驱动。
[0028]搅拌机构包括搅拌杆，搅拌杆上固定连接有四层叶片，每层三个叶片间隔120°均匀设置在搅拌杆上，每层三个叶片一致向下倾斜，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为90°。每层三个叶片不在一个平面的，其上下间隔20mm。
[0029]叶片上布设有多个分散剂喷洒机构，分散剂喷洒机构由罐体外部的控制装置控制，分散剂(羧甲基纤维素)喷洒机构均匀分布在叶片底部。
[0030]实施例3:
[0031]如图1?3所示，本实用新型的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，包括罐体以及伸入其内部的搅拌机构，搅拌机构由罐体外部的驱动装置驱动。
[0032]搅拌机构包括搅拌杆，搅拌杆上固定连接有三层叶片，每层三个叶片间隔120°均匀设置在搅拌杆上，每层三个叶片一致向上倾斜，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为85°。每层三个叶片不在一个平面的，其上下间隔15mm。
[0033]叶片上布设有多个分散剂喷洒机构，分散剂喷洒机构由罐体外部的控制装置控制，分散剂(羧甲基纤维素)喷洒机构均匀分布在叶片底部。
[0034]上述虽然结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。
【主权项】
1.一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，包括罐体以及伸入其内部的搅拌机构，搅拌机构包括搅拌杆，其特征在于，所述搅拌杆上固定连接有多层叶片，并且，叶片上布设有多个分散剂喷洒机构。2.根据权利要求1所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，所述搅拌机构由罐体外部的驱动装置驱动。3.根据权利要求1所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，所述的多层叶片为三至四层，每层三个叶片间隔120°均匀设置在搅拌杆上。4.根据权利要求3所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，每层三个叶片一致向上或向下倾斜，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为85?90°。5.根据权利要求3所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，叶片与搅拌杆中心轴的夹角为85°。6.根据权利要求3所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，所述的每层三个叶片不在一个平面的，其上下间隔10?20mm。7.根据权利要求1所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，所述分散剂喷洒机构由罐体外部的控制装置控制。8.根据权利要求1所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，所述分散剂喷洒机构均匀分布在叶片底部。9.根据权利要求1所述的一种均匀混合氧化铈泥浆的装置，其特征在于，所述的分散剂喷洒机构为羧甲基纤维素喷洒机构。
【文档编号】B01F7/18GK205517435SQ201620187870
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月13日
【发明人】潘梦蝶
【申请人】潘梦蝶