一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置的制造方法

文档序号:10981458阅读:321来源:国知局
一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型的一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置,包括配液桶和储液桶,配液桶顶部设置有进料口和注水口,注水口连接有带进水手动阀门的注水管,配液桶上部与底部之间连接有外循环管Ⅰ,外循环管Ⅰ上设置有循环配液泵;配液桶底部与储液桶上部之间连接有抽液管,抽液管上设置有抽液泵;储液桶连接有带排液手动阀门的排液管,排液管上设置有气动隔膜泵,储液桶上部与底部之间连接有外循环管Ⅱ,外循环管Ⅱ上设置有储液循环泵。本实用新型的有益效果是:本专利能够为生产线连续供应镀镍液体,满足了生产需求,极大的提高了生产效率,而且结构简单实用,操作方便。
【专利说明】
一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置。
【背景技术】
[0002]半导体晶片的生产工艺需要在半导体晶片上进行化学镀镍,化学镀镍的液体需根据产量随时进行镀镍液配制,其溶质为镍组,溶剂为纯水,需按照一定配比混合搅拌均匀,供生产线使用,因其镀镍液用量大,其配制容器的容积大小及搅拌设备成为生产能否量产的影响因素,其缺点如下:现有配制容器的容积小;现有装置配制频次较高,影响生产效率;现有镀镍液配制装置需人工搅拌均匀,劳累度及均匀性影响较大;现有镀镍液配制后需盛放至小容器使用,使用不方便;不能连续供给,如供应不及时,将制约产量,影响生产效率。这是现有技术的不足之处。

【发明内容】

[0003]为解决以上技术上的不足,本实用新型提供了一种操作简便,生产效率高的镀镍液配制搅拌及供液系统装置。
[0004]本实用新型是通过以下措施实现的:
[0005]本实用新型的一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置,包括配液桶和储液桶,所述配液桶顶部设置有进料口和注水口,所述注水口连接有带进水手动阀门的注水管,配液桶上部与底部之间连接有外循环管I,所述外循环管I上设置有循环配液栗;配液桶底部与储液桶上部之间连接有抽液管,所述抽液管上设置有抽液栗;所述储液桶连接有带排液手动阀门的排液管,所述排液管上设置有气动隔膜栗,储液桶上部与底部之间连接有外循环管Π,所述外循环管π上设置有储液循环栗。
[0006]上述配液桶和储液桶内均设置有液位传感器,所述液位传感器连接有液位控制器。
[0007]上述循环配液栗和抽液栗连接有联动开关。
[0008]本实用新型的有益效果是:本专利能够为生产线连续供应镀镍液体,满足了生产需求,极大的提高了生产效率,而且结构简单实用,操作方便。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[0010]图中:I是进水手动阀门,2是液位控制器,3是液位传感器,4是注水口,5是投料口,6是配液桶,7是配液循环栗,8是联动开关,9是抽离栗,10是储液桶,11是储液循环栗,12是外循环管I,13是排液管,14是气动隔膜栗,15是排液手动阀门,16抽液管,17外循环管Π。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型做进一步详细的描述:
[0012]如图1所示,本实用新型的一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置,包括配液桶6和储液桶10,配液桶6顶部设置有进料口和注水口 4,注水口 4连接有带进水手动阀门I的注水管,配液桶6上部与底部之间连接有外循环管112,外循环管112上设置有循环配液栗;配液桶6底部与储液桶10上部之间连接有抽液管16,抽液管16上设置有抽液栗;储液桶10连接有带排液手动阀门15的排液管13,排液管13上设置有气动隔膜栗14,储液桶10上部与底部之间连接有外循环管Π 17,外循环管Π 17上设置有储液循环栗11。配液桶6和储液桶10内均设置有液位传感器3,液位传感器3连接有液位控制器2。配液循环栗7与抽离栗9之间连接联动开关8实现配液循环栗7与抽离栗9运行与停止自动转换,防止操作失误造成设备异常。
[0013]其工作原理为:使用时,从投料口5将物料投放进配液桶6内,然后通过注水管向配液桶6内注入纯水,启动循环配液栗,在配液循环栗7的作用下,配液桶6内的液体不断的从上部抽出并从底部送入,从而实现了液体的搅拌,其搅拌效果完全满足工艺要求。利用抽离栗9将搅拌好的镀镍液抽至储液桶10内,采用相同的原理,通过储液循环栗11使储液桶10内的液体进行不间歇循环,从而防止静置沉淀,同时使用气动隔膜栗14将镀镍液输送至产线终端,大大提高了镀镍液输送效率。液位传感器3实时监测配液桶6和储液桶10内的液体容量,通过液位控制器2控制注水量和排液量。
[0014]以上所述仅是本专利的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本专利技术原理的前提下,还可以做出若干改进和替换,这些改进和替换也应视为本专利的保护范围。
【主权项】
1.一种镀镍液配制搅拌及供液系统装置,其特征在于:包括配液桶和储液桶,所述配液桶顶部设置有进料口和注水口,所述注水口连接有带进水手动阀门的注水管,配液桶上部与底部之间连接有外循环管I,所述外循环管I上设置有循环配液栗;配液桶底部与储液桶上部之间连接有抽液管,所述抽液管上设置有抽液栗;所述储液桶连接有带排液手动阀门的排液管,所述排液管上设置有气动隔膜栗,储液桶上部与底部之间连接有外循环管Π,所述外循环管Π上设置有储液循环栗。2.根据权利要求1所述镀镍液配制搅拌及供液系统装置,其特征在于:所述配液桶和储液桶内均设置有液位传感器,所述液位传感器连接有液位控制器。3.根据权利要求1所述镀镍液配制搅拌及供液系统装置,其特征在于:所述循环配液栗和抽液栗连接有联动开关。
【文档编号】B01F15/00GK205683857SQ201620590901
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月17日 公开号201620590901.5, CN 201620590901, CN 205683857 U, CN 205683857U, CN-U-205683857, CN201620590901, CN201620590901.5, CN205683857 U, CN205683857U
【发明人】史国顺, 徐明星, 陈茂文, 王超
【申请人】山东芯诺电子科技有限公司
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