专利名称：光开关的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光开关，并尤其涉及一种这样类型的开关，即竖立在可移动电极板上的反射镜通过可移动电极板的静电驱动脱离和进入光纤输出端和输入端的相对端面之间的光路以完成开关操作。
背景技术：
下面将参考图1A和1B对常规的光开关进行描述。图1A是光开关的平面顶视图，图1B沿图1A中1B-1B线的截面图。
标号20表示通过框架形的挠性部分21与硅(Si)衬底形成一体的可移动电极板20，标号41表示一个形成在可移动电极板20顶部的反射镜。可移动电极板20、挠性部分21和衬底10通过使矩形硅衬底经过薄膜成形、光刻和蚀刻过程形成一个整体。标号10a表示一个穿过衬底10而形成的孔。下面将对如何制造常规的光开关进行描述。制造以制备厚度为数百微米的衬底开始。接着的一个步骤是通过对衬底10的上表面应用薄膜成形、光刻和蚀刻技术而在衬底表面的中部形成一个可移动电极板(20)形成区域并在两侧形成挠性部分(21)形成区域，之后，通过光刻和蚀刻在可移动电极板(20)的形成区域中形成反射镜41，并再通过从下面有选择地蚀刻掉衬底10而形成通孔10a，提供可移动电极板20和挠性部分21。
此后，把一个固定的电极板23连接到通孔10a之上的衬底10下侧，与可移动电极板20呈相反的关系。向可移动的和固定的电极板20和23之间施加一个电压，从产生静电力，可移动电极板20被该静电力驱向固定电极板23。
下面对通过上述光开关切换空间光路给予描述。图1A和1B表示经输出光纤34传递并从光纤的发射端面发出的光被反射镜41反射并入射到输入光纤35，如LR所示。此状态以下将被称作稳定态。通过在可移动和固定电极板20和23之间施加电压产生静电力，将两电极互相吸引，可移动电极20由此被驱动并因此随着挠性部分21的变形而向下移位。随着可移动电极板20的向下移位，形成在可移动电极板20顶部的反射镜41也向下移位并脱离输出光纤34发射的光束光路。结果，从光纤34发出的光束直线传播并直接入射到光纤35’的输入端，如Ls所示。
图1A和1B中所示的光开关配置有一个输出光纤34和两个输入光纤35和35’，并且入射到两输入光纤的光彼此相反控制；即当发射的光束入射到一个输入光纤时，没有光入射到另一个光纤上，而当光入射到后一个光纤上时，没有光入射到前一个光纤上。
图2A～2D表示一种具有两个输出光纤34、34’和两个输入光纤35、35’的2×2型的光开关的操作。在图2A和2B所示的稳定状态下，从输出光纤34发出的光束被可移动电极板20上的反射镜41反射并入射到输入光纤35上。另一方面，在图2A和2B所示的稳定状态下，从输出光纤34’发出的光束被反射镜41反射并入射到输入光纤35’上。
在图2C和2D所示的给可移动的和固定的电极板20和23施加电压、从而把可移动电极板20吸向固定电极板23的驱动状态中，从输出光纤34发出的光束在反射镜41之上直线传播并入射到入射光纤35’上，但不入射到另一入射光纤35上。另一方面，从输出光纤34’发出的光束在反射镜41之上直线传播并入射到输入光纤35上，但不入射到另一输入光纤35’上。
在以上现有技术的例子中，可移动电极板20上只形成一个反射或不反射入射光束的反射镜41。顺便说一下，因为反射镜41有一定的厚度，所以入射光和反射光光轴的完全重合是不可能的，如关于图3A和3B的描述。图3A表示从输出光纤34发出的光束被反射镜41的一个表面反射以入射到输入光纤35上，或是在反射镜41之上直线传播以入射到输入光纤35’上。在这种状态下，如果调节光纤34’的光轴以使得从输出光纤34’发出并在反射镜41之上直线传播的光束光轴与输入光纤35的光轴重合或对齐，则从输出光纤34’发出并被反射镜的其它表面反射的光束光轴将脱离与入射光纤35’的光轴的对齐。
再参见图3B，在图中所示的输入光纤35和35’的光轴与从输出光纤34发出的被反射和沿直线传播的光对齐的状态下，如果调节光纤34’的光轴，使得从输出光纤34’发出并被反射镜41的其它表面反射的光束光轴与输入光纤35’的光轴重合或对齐，则从光纤34’发出并在反射镜41之上沿直线传播入射到光纤35的光束将如所示脱离输入光纤35的光轴对齐。
所以，只使用一个形成在可移动电极板20上的反射镜41能够执行如图1A和1B所示的1×2的光学转换，但是这种单反射镜结构不能应用到2×2光开关上，因为以上参照图2A～2D或图3A和3D所述中的光轴移位。一般地，沿光轴直角交叉的两个光纤向一个反射镜的入射会导致图3A和3B所示的光轴失准的问题。在使用多个光线入射到每个反射镜的结构的情况下也出现此问题。
另外，因为反射镜41的厚度，反射镜41在可移动电极板20上位置的精确度以及反射镜表面角度的精确度都对反射光的轴向校准有影响，反射镜41和输出光纤34、34’以及输入光纤35、35’之间不容易实现精确的轴向校准。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种没有上述那种光轴之间失准的问题的光开关，该光开关具有布置成便于和输入光纤之间进行校准的反射镜。
根据本发明的光开关，包括一个衬底；一个平行设置在衬底上的固定电极板；一个经挠性部分安装在衬底上的可移动电极板，与固定电极板保持间隔地平行，以致于可移动电极板朝着或远离固定电极板移动；一个第一光纤，具有一个处在平行于衬底地穿过可移动电极板的第一直线上的光轴，光纤的第一光束发射顶端部分固定在衬底上；一个第二光纤，具有一个处在以平行于第一直线地穿过可移动电极板的第二直线上的光轴，光纤的顶端部分固定到所述的衬底；一个形成在可移动电极板上的第一反射镜，用于把从第一光纤发出的第一光束反射到穿过所述第二直线的方向；和一个形成在可移动电极板上的第二反射镜，用于把从第一反射镜反射的光束作为第二光束沿入射到固定在衬底上的第二光纤的顶端部分的端面上的第二直线反射；其特征在于可移动电极板响应于可移动电极板和固定电极板之间施加电压或可移动电极板和固定电极板之间施加的电压的消除朝向或远离固定电极板移动，通过可移动电极板和固定电极板之间的电压的施加或消除，第一和第二反射镜脱离或进入第一光束以及从第一反射镜反射的光束的光路中。
图1A是常规的光开关的平面图；图1B是沿图1A中1B-1B线的截面图；图2A是另一种常规光开关的工作示意图，其中反射镜位于入射光的光路中；图2C是光开关的工作示意图，其中反射镜位于入射光光路之外；图3A是反射镜使入射光的光轴移位的实例示意图；图3B是反射镜使入射光的光轴移位的另一实例示意图；图4A是本发明的光开关中衬底和可移动电极板的平面图；图4B是沿图4A中4B-4B线的截面图；图5A是本发明光开关的制造中步骤1的简图；图5B是本发明光开关的制造中步骤2的简图；图5C是本发明光开关的制造中步骤3的简图；图5D是本发明光开关的制造中步骤4的简图；图5E是本发明光开关的制造中步骤5的简图；图5F是本发明光开关的制造中步骤6的简图；图6A是本发明光开关的制造中步骤7的简图；图6B是本发明光开关的制造中步骤8的简图；图6C是本发明光开关的制造中步骤9的简图；图6D是本发明光开关的制造中步骤10的简图；图6E是本发明光开关的制造中步骤11的简图；图7A是用于解释固定电极板的平面图；图7B是沿图7A中7B-7B线的截面图；图8A是用于解释连结到输出和输入光纤34和35的微透镜阵列的示意图；图8B是用于解释连结到输出和输入光纤34’和35’的微透镜阵列的示意图；
图9A是根据本发明的光开关实施例的平面示意图；图9B是沿图9A中9B-9B线的截面图；图10A是当反射镜位于入射光束的光路中时2×2光开关的工作示意图；图10B是图10A的侧视图；图10C是当反射镜位于入射光束的光路之外时光开关的工作示意图；图10D是图10C的侧视图；图11A是当反射镜位于入射光束的光路中时另一2×2光开关实施例的工作示意图；图11B是图11A的侧视图；图11C是当反射镜位于入射光束的光路之外时光开关的工作示意图；图11D是图11C的侧视图；图12A是当反射镜位于入射光束的光路中时1×1光开关实施例的工作示意图；图12B是图12A的侧视图；图12C是当反射镜位于入射光束的光路之外时1×1光开关的工作示意图；图12D是图12C的侧视图；图13A是当反射镜位于入射光束的光路中时另一1×1光开关实施例的工作示意图；图13B是图13A的侧视图；图13C是当反射镜位于入射光束的光路之外时1×1光开关的工作示意图；图13D是图13C的侧视图；图14A是当反射镜位于入射光束的光路中时1×2光开关实施例的工作示意图；图14B是图14A的侧视图；图14C是当反射镜位于入射光束的光路之外时1×2光开关的工作示意图；图14D是图14C的侧视图；图15A是当反射镜位于入射光束的光路中时另一1×2光开关实施例的工作示意图；图15B是图15A的侧视图；图15C是当反射镜位于入射光束的光路之外时1×2光开关的工作示意图；图15D是图15C的侧视图；图16A是表示光开关阵列的平面图；图16B是沿图16A中16B-16B的截面图；图17A是被不同厚度的反射镜反射的光束示意图；图17B是被移动位置的反射镜反射的光束示意图；图17C是被移动角度的反射镜反射的光束示意图。
具体实施例方式
下面将参考附图对本发明的实施例进行描述。
图4A和4B是与一个衬底形成一体的可移动电极板20和反射镜41、42、41’和42’的示意图。在矩形衬底10的上表面上，切割出两对从衬底10的相反端沿长边平行延伸的预定长度的光纤定位V形槽14。矩形衬底10在其中心有一个矩形穿孔12，并在穿孔12的两侧和V形槽14的内端之间的衬底表面中形成有浅凹陷13。该凹陷13充当连结到光纤内端面的微透镜和衬底10之间的间隙，其中光纤设置在V形槽14中。
可移动电极板20设置在中心穿孔12一侧的衬底表面上，并通过挠性部分21和耦接部分22与衬底10形成一体。此例中的挠性部分21是L形部分，从矩形可移动电极板20的两个相反角度沿其短边再沿长边顺时针延伸而成，并且它的端部进一步沿邻近穿孔12的衬底10的边缘部分延伸，从而形成耦接部分22。衬底10、挠性部分21和耦接部分22通过对起始的硅衬底施用薄膜成形、光刻和蚀刻技术而形成。通过蚀刻形成穿过起始衬底的孔12。由此提供图4A和4B所示的结构的衬底。在可移动电极板20的表面上形成反射镜41、42、41’和42’。
下面参见图5A～5F和图6A～6E对形成可移动电极板20和反射镜41、42、41’和42’的步骤进行描述。
步骤1(图5A)制备起始的硅衬底10。
步骤2(图5B)在硅衬底10的整个表面上形成一个多晶硅膜，在该膜上形成挠性部分21、耦接部分22和可移动电极板20的形状的图案。
步骤3(5C)用二氧化硅(SiO2)膜17覆盖衬底10的整个上下表面，并去除衬底10下侧的形成矩形穿孔12的区域处的膜17。
步骤4(图5D)选择性地蚀刻掉衬底10的下侧以形成穿孔12。
步骤5(图5E)在衬底10上表面的二氧化硅膜17上形成一种图案，该图案具有为形成两个容放透镜的凹陷13和两个平行延伸的V形槽14和14’所需的形状。
步骤6(图5F)蚀刻掉衬底10的选定的表面区域以形成容放透镜的凹陷13及V形槽14和14’。
步骤7(图6A)去除步骤6之后剩下的二氧化硅膜17。
步骤8(图6B)用光敏合成树脂E的数十微米厚的薄层涂敷衬底10的整个表面。
步骤9(图6C)从上对形成反射镜41、42、41’和42’的光敏合成树脂层的垂直阴影区域曝光L，形成反射镜体m。
步骤10(图6D)通过显影去除光敏合成树脂层E的未曝光区域，留下反射镜体m。
步骤11(图6E)用金属涂敷反射镜体m，形成高度为上百微米的反射镜41、42、41’和42’。
图7A和7B表示一个用标号23表示的固定电极板。固定电极板23具有一个矩形的中心升高的部分23A和围绕该部分的周围凸缘部分23B，该凸缘部分通过蚀刻掉起始的半导体衬底的边缘部分而形成，固定电极板23设置在带有二氧化硅膜的衬底上表面的整个区域之上。中心升高部分的形状和大小选择成使其恰好能从下侧装配到穿孔12中，并且凸缘部分固定到衬底10的下侧。
图8A和8B表示光纤和与其连结的微透镜阵列。构成微透镜阵列3L的微透镜3L1和3L2通过从平面微透镜阵列上截去两个相邻的微透镜获得，而平面微透镜阵列由多个以矩阵形式分布在透明玻璃片上的透镜形成。微透镜阵列3L的微透镜3L1连结到输出光纤34的光发射端面，而微透镜3L2连结到输入光纤35的光接收端面。类似地，微透镜阵列3L’的微透镜3L1’连结到输出光纤34’的光发射端面，而微透镜3L2’连结到输入光纤35’的光接收端面。
图9A和9B是如上所述制得的2×2光开关的示意图。本实施例的2×2光开关包括四个光纤，分别是输出光纤34、34’和输入光纤35、35’；分别连结到四个光纤34、35、34’和35’的四个微透镜3L1、3L2和3L1’和3L2’；可移动电极板20；形成在可移动电极板20上的反射镜41、42、41’和42’；和固定到衬底10的固定电极板23。沿着两个平行直线SL1和SL2中的SL1对齐输出光纤34和输入光纤35’，两光纤的相对端面隔开，沿着另一条直线SL2对齐输出光纤34’和输入光纤35，它们的相对端面隔开。
直立地形成在可移动电极板20上的反射镜夹在输出光纤34和输入光纤35’之间以及输出光纤34’和输入光纤35之间，与它们的内端面相对。反射镜41和42’设置成它的反射面与直线SL1交叉，并且它们的延伸彼此直角相交，并且反射镜41’和42设置成它们的反射面与直线SL2交叉，并且它们的延伸彼此直角相交。另外，会聚微透镜3L1、3L1’和3L2、3L2’分别连结到输出光纤34、34’和输入光纤35、35’的内端面。
再看图10A～10D，下面将描述2×2光开关的切换操作。在图10A和10B所示的2×2光开关的稳定状态下，从输出光纤34发出的光束被反射镜41和42反射并再入射到输入光纤35，但发出的光束不入射到其它的输入光纤35’，因为它被反射镜41截断。另一方面，从输出光纤34’发出的光束被反射镜41’和42’反射入射到输入光纤35’上，但发出的光束不入射到输入光纤35，因为它被反射镜41’截断。在图10C和10D所示的驱动状态下，可移动电极板20被施加到可移动电极板20及固定电极板23之间的电压向下吸引，从输出光纤34发出的光束在反射镜41和42之上直线传播并入射到输入光纤35’上，但不入射到输入光纤35。另一方面，从输出光纤34’发出的光束在反射镜41’和42之上直线传播并入射到输入光纤35上，但不入射到输入光纤35’。
图11A～11D表示根据本发明的2×2光开关的另一实施例。在此实施例中，输出光纤34和34’分别沿两条平行的直线SL1和SL2平行设置，输入光纤35和35’类似地分别沿SL1和SL2与输出光纤34和34’纵向相隔地设置，形成在可移动电极20上的反射镜41和41’夹在输出和输入光纤34、34’和35、35’之间。在图11A和11B所示的稳定状态中，从输出光纤34发出的光束被反射镜41和41’反射并入射到输入光纤35’，但从输出光纤34’发出的光束被反射镜41’反射而不入射的任何一个输入光纤上。在图11C和11D所示的驱动状态下，从输出光纤34发出的光束入射到输入光纤35，从输出光纤34’发出的光束也入射到输入光纤35’上。图11A～11D所示的2×2光开关对于从输出光纤34发出的光束在输出光纤35和输出光纤35’之间切换，并对从输出光纤34’发出的光束进行ON-OFF控制。
图12A～12D表示根据本发明的1×1光开关的一个实施例，该开关分别由两个光纤即输出光纤34和输入光纤35、形成在可移动电极板20上与光纤34和35分别相对的反射镜41和42组成。示出的这种结构的光开关可以用作一个对输入光纤35的光束执行ON-OFF操作的光开关。即输出和输入光纤分别沿两条平行的直线SL1和SL2设置。在图12A和12B所示的稳定状态下，从输出光纤34发出的光束入射到如图所示的输入光纤35。在图12C和12D所示的驱动状态下，从输出光纤34发出的光束不入射到输入光纤35。
再参考图13A～13D对1×1光开关的另一个实施例进行描述。在此实施例中，也是输出和输入光纤34和35分别沿两条平行的直线SL1和SL2分布。反射镜41和42形成在可移动电极板20上，分别与输出和输入光纤34和35呈相对的关系。在图13A和13B所示的稳定状态下，从输出光纤34发出的光束被反射镜41和42反射并入射到输入光纤35上。在图13C和13D所示的驱动状态下，从输出光纤34发出的光束不入射到输入光纤35上。
图14A至14D表示根据本发明的1×2光开关的实施例。在本实施例中，输出光纤34和输入光纤35’沿直线SL1以纵向相隔的关系分布，输入光纤35沿直线SL2与输出光纤34平行地分布，反射镜41和42形成在可移动电极板20上，前者处于输出和输入光纤34和35’之间，而后者与输入光纤35的端面相对。通过此结构，从输出光纤34发出的光束可以在两个输入光纤35和35’之间切换。即在图14A和14B所示的稳定状态下，从输出光纤34发出的光束被反射镜41和42反射到入射光纤35。在图14C和14D所示的驱动状态下，输出光纤34发出的光束入射到入射光纤35’上。
图14A～14D所示的实施例可以改造成一个2×2光开关，其中，输出光纤34’进一步沿直线SL2与输入光纤35’平行地分布，如图14A中的虚线所示，以致于当通过施加电压而使可移动电极板20向固定电极板23移位时，从输出光纤34’发出的光束入射到输入光纤35上。
图15A～15D表示本发明1×2光开关的另一实施例。在此实施例中，输出光纤34和输入光纤35’以纵向相隔的关系沿直线SL1分布，输入光纤35沿直线SL2分布，与输出光纤35’平行，反射镜41和42形成在可移动电极板20上，以致于前者处于输出和输入光纤34和35’之间，而后者处于于输入光纤35的端面相对。利用此结构，从输出光纤34发出的光束可以在两个输入光纤35和35’之间切换，即，在图15A和15B所示的稳定状态下，从输出光纤34发出的光束被反射镜41和42反射到输入光纤35。在图15C和15D所示的驱动装置下，从输出光纤34发出的光束入射到输入光纤35’上。
图15A～15D所示的实施例可以改造成一个2×2光开关，其中，输出光纤34’进一步沿直线SL2与输入光纤35’平行地分布，如图15A中的虚线所示，以致于当通过施加电压而使可移动电极板20向固定电极板23移位时，从输出光纤34’发出的光束入射到输入光纤35上。
图16A和16B表示一个光开关阵列，其中图10A～10D中所示的多个2×2光开关一个挨一个地分布。即，因为每个2×2光开关有四个沿两条直线分布的光纤，所以这2×2个光开关的一个挨一个地分布提供一个输出光纤和输入光纤没有交叉地光开关阵列。
还可以构造这样一种光开关阵列，其中图10～15所示的每个实施例中的多组光纤和反射镜分别形成在衬底20和可移动电极板20上，如图16所示。
在现有技术的实例中，反射镜的厚度、反射镜在可移动电极板上的位置精度以及反射镜表面的角度精度都影响着反射光束的光轴校准，降低光开关的性能。根据本发明，成对的两组反射镜41(41’)和42(42’)彼此直角交叉，如图17A～17C所示，并且因此，即使两个反射镜向入射光的光轴移动同样的距离，反射光的光轴也不会移位。另外，入射光和反射光无论入射光的角度如何，都变为平行。这样产生了一点儿对形成反射镜的限制，但使得构成高性能质量的光开关成为可能。
因而，根据本发明，输出和输入光纤沿两条直线纵向相隔地分布，发出的光束通过偶数个反射镜被反射到输入光纤，反射镜的反射面以直角交叉或彼此平行；因此，本发明的光开关没有由于每个反射镜厚度的缘故而使反射光的光轴移位的问题。而且因为光纤彼此平行，所以可以在相同的衬底上形成同时被驱动的多组光开关。
权利要求
1.一种光开关，包括一个衬底；一个平行设置在衬底上的固定电极；一个经挠性部分安装在衬底上的可移动电极板，与固定电极板保持间隔地平行，以致于可移动电极板朝着或远离固定电极板移动；一个第一光纤，具有一个处在平行于衬底地穿过可移动电极板的第一直线上的光轴，光纤的第一光发射顶端部分固定在衬底上；一个第二光纤，具有一个处在以平行于第一直线地穿过可移动电极板的第二直线上的光轴，光纤的顶端部分固定到所述的衬底；一个形成在可移动电极板的第一反射镜，用于把从第一光纤发出的第一光束反射到穿过第二直线的方向；和一个形成在可移动电极板上的第二反射镜，用于把从第一反射镜反射的光束作为第二光束沿第二直线反射以入射到固定在衬底上的第二光纤的顶端部分的端面上；其中可移动电极板响应于可移动电极板和固定电极板之间施加电压或可移动电极板和固定电极板之间施加的电压的消除朝向或远离固定电极板移动，通过可移动电极板和固定电极板之间的电压的施加或消除，第一和第二反射镜脱离或进入第一光束以及从第一反射镜反射的光束的光路中。
2.如权利要求1所述的光开关，还包括一个第三光纤，该光纤设置在穿过第一反射镜的第一光束的延续方向，其顶端部分对着第一反射镜的背面固定到衬底，并且其中当第一反射镜脱离第一光束的光路时，第一光束入射到第三光纤的顶端。
3.如权利要求1所述的光开关，还包括一个第三光纤，该光纤有一个处于第二直线上的光轴，处于关于第一反射镜与第二光纤相对的一侧，该光纤的顶端部分对着第二反射镜的背面固定到衬底，并且其中第三光纤发出第三光束，当第二反射镜脱离反射光束的光路时第三光束入射到第二光纤的顶端部分。
4.如权利要求2所述的光开关，还包括一个处于平行于第一光束的直线上的第四光纤，该光纤的顶端部分固定的所述的衬底上，位于关于第二反射镜与光纤相对的一侧，用于向第二光纤的顶端部分发射第三光束。
5.如权利要求4所述的光开关，其中第二反射镜设置成其反射面与第一反射镜的反射面直角交叉，并且还包括一个设置在第二反射镜和第四光纤的顶端部分之间的第三反射镜，用于把从第四光纤入射到其上的第三光束反射到穿过第一反射镜和第三光纤顶端部分之间的第一直线的方向上；和一个设置在第一反射镜与第三光纤的顶端部分之间的第四反射镜，用于反射从第三反射镜反射的光束以入射到第三光纤的顶端部分。
6.如权利要求1～4任一所述的光开关，其中第二反射镜设置成其反射面保持与第一反射镜的反射面平行。
7.如权利要求1～4任一所述的光开关，其中第二反射镜设置成其反射面保持与第一反射镜的反射面以直角交叉。
8.如权利要求1所述的光开关，其中在所述的衬底和可移动电极板上分别一个挨一个地设置多组第一和第二光纤以及多组第一和第二反射镜。
9.如权利要求2或3所述的光开关，其中在所述的衬底和可移动电极板上分别一个挨一个地设置多组第一、第二和第三光纤以及多组第一和第二反射镜。
10.如权利要求4所述的光开关，其中在所述的衬底和可移动电极板上分别一个挨一个地设置多组第一至第四光纤以及多组第一和第二反射镜。
11.如权利要求5所述的光开关，其中在所述的衬底和可移动电极板上分别一个挨一个地设置多组第一至第四光纤以及多组第一至第四反射镜。
12.如权利要求1～5任一所述的光开关，其中所述的衬底在其中心有一个穿孔；可移动电极板设置在衬底上表面一侧上的穿孔的内侧；固定电极板设置在衬底的下侧以覆盖穿孔。
13.如权利要求12所述的光开关，还包括一个连接到每个光纤的顶端部分的会聚透镜。
14.如权利要求13所述的光开关，其中衬底在其上表面上有一个凹陷，用于容放在穿孔两侧的光纤的顶端部分和会聚透镜，还有一个从凹陷处平行于第一和第二直线延伸到衬底相对端的V形槽，光纤分别通过V形槽定位并固定。
全文摘要
在具有一个固定电极板23、衬底10、与衬底10经挠性部分21形成一体的可移动电极板20以及形成在可移动电极板20的上面并通过可移动电极板20的静电驱动执行光的切换控制的反射镜的光开关中,输出光纤34和输入光纤35分别沿两条平行直线分布,反射镜41和42形成在可移动电极板20上,分别与输出光纤34和输入光纤35相对。
文档编号B81B3/00GK1343895SQ0113557
公开日2002年4月10日 申请日期2001年9月6日 优先权日2000年9月6日
发明者加藤嘉睦 申请人:日本航空电子工业株式会社