一种利用糖作掩模的微纳加工方法与流程

文档序号:14886497发布日期:2018-07-07 13:00阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种利用糖作掩模的微纳加工方法,其包括步骤:S10、提供熔融状态的糖或糖溶液;S20、将熔融状态的糖或糖溶液施加到待加工的样品表面,形成掩模图案;S30、对形成掩模图案后的样品进行微纳加工;S40、将微纳加工后的样品放入糖溶性液体中,以去除样品表面的糖。本发明的微纳加工方法能够提高微纳加工的精度和效率,降低成本,同时大大减轻对环境和操作人员人身健康的不利影响。

技术研发人员:杨兴;章城;朱华敏
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2016.12.29
技术公布日:2018.07.06
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