技术特征：
技术总结
一种可控制加热能量的微机电装置，包括传感器以及集成电路芯片。传感器的加热元件用以加热感测元件。传感器的检测元件用以检测物理量，而集成电路芯片的存储器单元存储感测元件的目标值。集成电路芯片的数据处理单元将物理量转换成转换值，并定义差距值为目标值减去转换值。另外，集成电路芯片的控制单元依据差距值设定参数值，且驱动单元依据参数值调整加热元件所产生的热量，因而能减少加热元件加热时间与加热频率，以降低电能消耗。微机电装置可应用于需要控制工作温度的微机电传感器，例如气体传感器。
技术研发人员：许郁文;罗英哲;黄肇达;邓礼涛
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
技术研发日：2017.02.22
技术公布日：2018.07.06