技术特征：
技术总结
一种半导体气体感测装置的制作方法及其半导体气体感测装置，该半导体气体感测装置的制作方法，包含半成品准备步骤、气体感测槽形成步骤及感测膜形成步骤。半成品准备步骤包括准备气体感测半成品，气体感测半成品包括具有第一面与第二面的基板、分别形成在第一面的反馈电路单元及加热感测单元，加热感测单元具有第一绝缘层、感测电极、第二绝缘层、微加热器及第三绝缘层。气体感测槽形成步骤从第二面蚀刻基板至第一绝缘层，让感测电极露出，形成与该微加热器反向的气体感测槽。感测膜形成步骤形成覆盖感测电极的感测膜。本发明可以在同一制程中完成微加热器与感测电极的制作，从而能减化制作步骤、降低成本及有效缩小元件体积。
技术研发人员：邱俊诚;蔡尚玮
受保护的技术使用者：财团法人交大思源基金会
技术研发日：2017.03.16
技术公布日：2018.02.13