技术总结
一种曲线高过载谐振式微加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁构成，硅基底包括敏感质量块，敏感质量块和支撑框架通过柔性支撑梁、安装支撑梁连接成整体，敏感质量块上刻蚀出安装空槽和安装对准标记，支撑框架上设有两个安装对准标记，石英音叉梁安装于安装空槽上方，石英音叉梁两端的石英梁底座分别与安装对准标记对齐；石英音叉梁上四面溅射电极，用于石英音叉梁的激振，石英梁底座与外部电路相连接，支撑框架上的过载结构和敏感质量块上的过载结构配合，保护过载工况下的柔性支撑梁和石英音叉梁不受损坏，两根石英音叉梁的频率差与加速度成比例关系，测量频率的差值从而得到加速度的大小数值，本发明具有精度高，体积小，批量化等优点。
技术研发人员：赵玉龙;韩超;李村;李波;赵友;张琪;
受保护的技术使用者：西安交通大学;
文档号码：201710612152
技术研发日：2017.07.25
技术公布日：2018.02.13