技术特征：
技术总结
本发明公开了一种支撑柱、微型集音器、CMOS麦克风单晶片及制造方法，支撑柱形成于一可动薄膜下方，用以支撑该可动薄膜，包含：数个第一微形金属柱、基底金属连接柱层与第一氧化包覆层；其中，第一微形金属柱形成于可动薄膜下方，并与可动薄膜形成金属导接；基底金属连接柱层形成于第一微形金属柱下方，与第一微形金属柱导接；第一氧化包覆层完全或部分包覆第一微形金属柱而使第一微形金属柱与空气绝缘而可使支撑柱形成柱状；本技术方案的支撑柱可达到抵抗强烈震动的技术功效。
技术研发人员：陈健章;梁贻德;林晓逸;杨正光
受保护的技术使用者：风起科技股份有限公司
技术研发日：2016.05.13
技术公布日：2018.02.09