一种两平动一转动三自由度并联柔性结构压电微动平台的制作方法

文档序号:13651031阅读:来源:国知局
技术总结
两平动一转动三自由度并联柔性结构压电微动平台,包括定平台、动平台和三组运动机构,每一组运动机构包含位移传递机构和辅助机构,位移传递机构与辅助机构对称设置;位移传递机构和辅助机构分别具有各自的刚性支架和柔性薄板组件,柔性薄板组件包括刚性连杆和两对柔性薄板,每对柔性薄板中的两个柔性薄板相互平行,两对柔性薄板关于刚性连杆对称,每个柔性薄板一端与刚性连杆固定,另一端与刚性支架固定,刚性连杆与动平台连接;位移传递机构的刚性支架内安装压电执行器,刚性支架的封闭端的外侧对称地设有一对柔性薄板,封闭端的柔性薄板与压电执行器平行。本发明具有工作台面大、无位移耦合、结构对称且不产生热变形所引起的运动误差的优点。

技术研发人员:崔玉国;由永升;杨依领;娄军强;李锦棒;万光继;张圣贤
受保护的技术使用者:宁波大学
文档号码:201710850241
技术研发日:2017.09.20
技术公布日:2018.02.09

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