技术总结
一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法，包括如下步骤：把带有金属互连线微结构的硅片放在加热板上进行热处理，同时在硅片上下方分别放置正负电极板以对带有金属互连线微结构的硅片施加单轴驱动力，通过改变所加电极板放置方向来实现金属互连线在不同方向上的收缩；通过调整电极板电压值来控制金属互连线在受力方向上收缩量，进而实现各向异性收缩。把带有金属互连线微纳结构的硅片放在加热板上150℃～200℃进行热处理，同时在硅片上下方分别放置正负电极板，来对金属互连线施加静电场，通过静电场作用产生的电场力来实现对金属互连线单轴驱动力的施加。
技术研发人员：段智勇;贾斌;李梦珂;马刘红;钟英辉;苏宇锋;郑国恒;
受保护的技术使用者：郑州大学;
技术研发日：2017.11.28
技术公布日：2018.06.12