一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构的制作方法

文档序号:15200323发布日期:2018-08-19 10:58阅读:225来源:国知局

本发明涉及一种用于mems惯性测量组合温控的保温结构,属于保温结构技术领域。



背景技术:

mems惯性器件成本低、体积小、功耗小、易于数字化等特点使其在捷联惯性测量系统中日益受到重视,应用广泛,涉及多个军民应用领域。然而,mems惯性器件尤其是mems陀螺仪存在精度低、漂移大等缺点,严重影响了系统测量精度及测试性能。全温范围内,mems惯性器件的精度并不高,长时间工作时,环境温度会带来零位漂移,对mems惯性器件的精度产生直接影响。因此,保持mems惯性器件工作在合适的稳定的温度环境下,是解决精度问题的重要方面。

对于导弹上使用的mems惯性测量组合,为了保证其测量精度,需要保持其工作温度处于65℃恒温环境,因此需要对mems惯性测量组合设置保温结构。由于导弹对于重量和体积的要求比较严格,因此保温结构不仅要保证在低温环境下的保温效果,还需要保证重量轻,体积小。

如何设置一种满足导弹需要的mems惯性测量组合的保温结构,是本领域亟待解决的技术问题。



技术实现要素:

本发明提供了一种mems惯性测量组合温控的保温结构,本发明为mems惯性测量组合提供了65℃恒温工作环境,体积小、重量轻、功耗小、成本低,提高了mems器件的输出精度。

本发明的技术方案如下:

提供一种用于mems惯性测量单元温控的保温结构,包括加热组件、保温层、隔热外罩和底座;

所述保温层完全包覆在mems惯性测量单元外部;

加热组件设置在所述保温层与mems惯性测量单元之间,控制mems惯性测量单元的温度;

隔热外罩和底座组成封闭空间,所述保温层贴附在隔热外罩和底座的内侧。

优选的,隔热外罩和底座的材质不同,通过调整二者的尺寸比例,使mems惯性测量单元的在安装保温结构后重心位置保持不变。

优选的,所述加热组件包括加热罩、贴附在加热罩上表面的上加热片和贴附在加热罩侧壁的侧加热片。

优选的,所述上加热片和侧加热片具有内置温度传感器,当内置温度传感器测量的温度超过设定阈值时,停止使用对应的加热片加热。(避免温度过热)

优选的,加热罩采用铝合金材料。

优选的,保温层包括上保温毡、侧保温结构和下保温结构;

所述上保温毡覆盖加热组件的上表面;所述侧保温结构覆盖加热组件的侧面,侧保温结构为厚度大于上保温毡的保温结构;下保温结构包括下隔热罩、下保温毡和隔热平垫,所述下隔热罩覆盖加热罩的下表面并支撑,下保温毡设置在下隔热罩内部,下保温毡上沿周向设置多个通孔,隔热平垫穿过通孔深入到加热罩内部支撑mems惯性测量组合。

优选的,底座上设置多个与隔热平垫对应的凸台,隔热平垫放置在凸台上,多个凸台的上表面处于同一平面。

优选的,所述下隔热罩采用聚砜材料,隔热平垫采用陶瓷材质。

优选的,上保温毡的厚度为4.5~5.5mm,侧保温结构包括设置在内层的4.5~5mm厚的侧保温毡和设置在外层的2.5~3mm厚的薄保温毡;下保温毡厚度为4.5~5.5mm。

优选的,所有的保温毡采用纳米气凝胶材料制成。

优选的,隔热外罩采用不锈钢材料,底座采用高强度铝合金材料,表面进行了瓷质阳极化处理。

优选的,下保温结构固定于底座上。

优选的,所述保温结构为对称结构。

本发明具有以下特点:

(1)本发明通过设置加热罩、保温层、外罩、底座组成保温结构,重量轻,体积小,恒温效果好,结构刚度好,且成本低。

(2)本发明的加热罩采用铝合金材料制成,热导率247w/(m·k),密度2690kg/m3,在降低重量的同时,保证了加热片的热量快而多的传输至mems惯性测量单元的工作空间内,热传导性好,降低了功耗。

(3)本发明的加热片选用薄膜电加热片,设计中内置pt100温度传感器,实时监测加热罩的温度,防止过热。

(4)本发明的上保温毡、中保温毡、下保温毡选用了导热系数仅为0.018w/(m·k),工作温度范围-200-650℃,阻燃等级a1级的纳米气凝胶毡制成,大大减少了热量散失,降低了加热功耗损失。

(5)本发明的下隔热罩采用聚砜材料,为热的不良导体,安装固定了加热罩,避免了金属热传导;为了解决下隔热罩为非金属材料,刚性差的问题,本发明在下保温毡中加入陶瓷材质的隔热平垫,以提高mems惯性测量单元的支撑刚度。

(6)本发明的隔热外罩采用不锈钢材料加工而成,平衡了组合的质量分布,调整了组合重心,使mems惯性测量单元重心与组合重心保持一致,保证了mems惯性测量单元的减振效果最佳。

(7)本发明的底座采用航空用高强度铝合金材料加工而成,呈内凹槽外支腿样式,凹槽内部及支腿两端设计了加强筋,提高了零件的刚度。

附图说明

图1为本发明mems惯性测量组合温控的保温结构组成示意图;

图2a为本发明mems惯性测量组合温控的保温结构图的剖视图;图2b为本发明mems惯性测量组合温控的保温结构图的左视图;图2c为本发明mems惯性测量组合温控的保温结构图的俯视图。其中1为隔热外罩;2为上保温毡;3为上加热片;4为加热罩;5为薄中保温毡;6为中保温毡;7为侧加热片;8为m2×6开槽沉头螺钉;9为底座;10为下保温毡;11为下隔热罩;12为m2×5开槽沉头螺钉;13为m3×12开槽沉头螺钉;14为隔热平垫;

图3a加热罩结构主视图;图3b为加热罩结构左视图;图3c为上加热片结构尺寸图;图3d为侧加热片结构尺寸图;

图4a为中保温毡结构图;图4b为薄保温毡结构图;图4c为中保温毡结构侧向视图;图4d为薄保温毡结构侧向视图;

图5a为隔热平垫结构图;图5b为下保温毡结构图;图5c为下隔热罩的主视图;图5d为下隔热罩的剖视图;

图6a为隔热外罩结构图的主视图;图6b为隔热外罩结构图的俯视图;

图7a为底座结构图的主视图;图7b为底座结构图的主视图的b向局部视图;图7c为底座结构图的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明:

参见图1、2用于mems惯性测量单元温控的保温结构,主要为mems惯性测量单元提供稳定的合适的工作温度环境,提高mems惯性器件的输出精度,降低组合的成本。包括加热组件、上保温毡2、侧保温结构、下保温结构、隔热外罩1、底座9、下隔热罩上隔热罩分别与底座的固定螺钉8、加热罩固定螺钉12、底座与惯性测量单元连接螺钉13组成。加热组件包含加热罩4及两个加热片,为组合提供稳定的热量来源并进行温度监测;保温结构选用纳米气凝胶毡及工业羊毛毡作为原材料,用来防止热量散失并减少功率损耗;隔热外罩1及底座9为加热组件及保温组件提供结构支撑。

参见图3,所述加热组件由加热罩4、上加热片3及侧加热片7组成,是热量的来源之处。加热罩采用高强度航空用铝合金铣加工而成,铝合金材料热导率247w/(m·k),密度2690kg/m3,既加快了向mems惯性测量组合的热量传输速率,又降低了整体重量,是良好的结构支撑及热传导材料。加热罩套设在mems惯性测量组合的外部,在保证不接触mems惯性测量组合部件的基础上,体积应尽量小。加热罩通过四个沉头螺钉与下隔热罩进行连接,侧面设计了出线孔用来引出传输mems惯性测量单元惯性参数及温度参数的线缆。上加热片与侧加热片为薄膜电加热片,用胶接的方式固定在加热罩上,并使用gd414硅橡胶进行了加固,防止脱落;侧加热片安装有pt100温度传感器,可实时监测加热罩的温度,输出加热片温度,是温度控制算法的输入参数,用于减小温度控制超调并防止加热组件温度过高。

参见图4,所述上保温2毡采用纳米气凝胶材料制成,厚度为5mm,导热系数为0.018w/(m·k),隔热性能优越,能有效防止热量散失;使用温度-200-650℃,阻燃性为a1级,具备良好的耐热性和阻燃性;重量较轻,密度仅为200kg/m3。上保温毡固定在隔热外罩内部,用于防止热量散失。所述侧保温结构由中保温毡和薄保温毡组成。中保温毡采用与上保温毡相同的材料,厚度5mm,矩形,设计了拱门形出线槽,通过挤压的方式与加热罩和薄保温毡贴合;薄保温毡采用工业羊毛毡制成,导热系数为0.0290.018w/(m·k),厚度2mm,矩形,设计了拱门形出线槽,成本较低但有效缓解了热量的散失,同中保温毡依次与隔热外罩进行安装。

参见图5,所述下保温结构有下隔热罩11、下保温毡10及隔热平垫14组成。下隔热罩采用非金属材料聚砜铣加工而成,有较高的热变形温度及良好的高温抗蠕变性能,能在155℃下长期工作。下保温毡材料采用纳米气凝胶毡材料,嵌在下隔热罩凹槽内。结合图2b,下隔热罩通过四个m2开槽沉头螺钉13与底座进行固定,凹槽平面加工了4个圆孔,用于穿射隔热平垫。隔热平垫采用可加工陶瓷材料制成,导热系数为1.7w/(m·k),弯曲强度大于等于108mpa,压缩强度大于等于491mpa,具备良好的隔热性能、机械加工及结构支撑能力;安装在下隔热罩与下保温毡对齐的孔内,高度略高于下隔热罩高度,用于支撑mems惯性测量组合,同时减少热量的散失。整个下保温结构通过四个m2开槽沉头螺钉13固定于底座之上。下保温毡厚度5mm,安装固定在下隔热罩凹槽内,设计了四个圆孔安装时与下隔热罩圆孔对齐;隔热平垫14采用可加工陶瓷加工而成,安装在四个圆孔内。

参见图6,所述隔热外罩1采用304不锈钢材料制成,表面进行了钝化处理,8个安装耳片,两两一组均布在圆柱壳体底边外缘,安装耳片通过8个沉头螺钉与底座支腿进行连接,对整个温控mems惯性测量组合而言可起到调整重心高度、结构支撑及隔热的作用。

参见图7,所述底座9采用高强度航空用铝合金铣加工而成,表面进行了瓷质阳极化处理,通过四个支腿与外界进行连接。内槽底部及侧面支腿部分设计了加强筋用于提高底座刚度;侧面设计了走线槽,用来引出mems惯性测量组合惯性参数、温度参数的线缆及加热片组件的温控线缆。

所述加热组件采用热辐射的方式提高mems惯性测量组合的工作环境温度。加热组件由加热罩4和薄膜电加热片组成,加热罩选用了热导率较大、密度较小、成本低的航空铝合金材料,能够将mems惯性测量单元罩在其内部,同时起到支撑加热片和保温材料的作用;加热片通过胶粘固定在导热套筒外侧,并使用gd414硅橡胶进行加固。加热片分为顶部和侧面两个部分,按照加热罩尺寸设计,顶部加热片粘在导热套筒顶部,阻值为12.5ω,侧面的加热片粘在圆柱形加热罩侧面,阻值为13ω;为最大程度避免热传导散失热量,导热套筒通过四只开槽沉头螺钉(m2×5)固连在由低热导率聚砜材料制成的下隔热罩上。通电后,两只加热片共同作用产生热量,传导至加热罩上,并通过热辐射为mems惯性测量单元提供65℃可高精度工作的环境温度。

在加热罩侧面留有出线孔,用于引出mems惯性测量单元的信号线缆。在侧面长方形加热片上安装有pt100温度传感器,输出加热片温度,是温度控制算法的输入参数,用于减小温度控制超调并防止加热组件温度过高。

所述保温组件在有限体积内最大限度的减少了热量的散失,降低功率损耗。保温组件包括上保温毡2、侧保温结构、下保温结构、隔热外罩1。

上保温毡2、中保温毡6、下保温毡10选用纳米气凝胶毡材料,其导热系数仅为0.018w/(m·k),有效的减小了热量的散失,能够长期在加热片155℃高温下工作;侧保温结构的薄中保温毡选用工业毛毡,填充在隔热外罩与中保温毡之间,起到一定的保温作用;下隔热罩选用热导率较低的聚砜材料,用于固定导热套筒及下保温毡;隔热平垫选用导热不良的可加工陶瓷,机械强度较高、刚度好,在mems惯性测量单元与底座之间起过渡连接及支撑作用。隔热外罩选用不锈钢材料,保护内部结构的同时可用于调整mems惯性测量组合的重心高度,使mems惯性测量单元的测量中心与mems惯性测量组合的重心保持一致。

所述底座9为带支撑耳片的圆盘样式,采用高强度硬质铝合金铣加工而成,整体为薄壁结构,设计了加强筋,在降低重量的同时提高了整体刚度,整个底座重量仅为64g。侧壁设计有出线孔,与加热罩、中保温毡、薄保温毡的走线孔方向一致,用于引出mems惯性测量单元的信号线缆及加热组件的线缆。

本发明可通过加热的方法为mems惯性测量单元提供恒定的工作温度,误差在0.5℃范围内,通过外部保温的方法,减少热量散失,降低加热功耗。

本发明未详细描述内容为本领域技术人员公知技术。

以上所述,仅为本发明最佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

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