技术总结
本发明公开了一种用于对MEMS微结构进行动态加载的三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在顶板上；在顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过连接杆连接的球头柱塞支撑在套筒内。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
技术研发人员：佘东生;魏泽飞;尹作友;刘继行;杨祯山;付莹
受保护的技术使用者：渤海大学
技术研发日：2017.12.16
技术公布日：2018.06.29