一种超薄AAO模板的制作方法

本实用新型涉及超薄AAO模板技术领域，具体为一种超薄AAO模板。

背景技术：

超薄AAO模板的孔为双通结构，其阻挡层已去除，它们的厚度仅为几十到几百纳米，广泛应用于纳米点阵列、纳米线阵列等的制备以及衬底表面图案化处理等，超薄AAO模板孔径均一，孔排列短程有序，氧化铝的材质使其在可见光波段是透明的，而且是电绝缘的，相对于其它图形化纳米结构制备手段(如光刻、电子束曝光、聚焦离子刻蚀)，超薄AAO模板的独特优势在于可以轻易地获得平方厘米的范围内，低至纳米级的微观结构，而且成本低廉，随着科学技术的发展超薄AAO模板的种类越来越多，对于超薄AAO模板需求越来越高。

而现在使用的超薄AAO模板还多多少少的存在一些不足，比如现在使用的超薄AAO模板的厚度大多小于一微米不能够自支撑，而且非常脆弱，操作起来很不方便，并且AAO模板与基底的贴合也很不方便，如果将PMMA面贴于基底，待PMMA除去后，AAO的正面与基底接触，由于AAO正面孔与孔之间大部分是凸起结构，所以此时AAO与基底的接触面就比较小，与基底的结合变弱，预计AAO在后期可能更加容易用胶带粘掉，无法满足使用的需要，所以针对这种情况的存在，现在需要进行相关设备的创新设计。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种超薄AAO模板，以解决上述背景技术中提出的现在使用的超薄AAO模板的厚度大多小于一微米不能够自支撑，而且非常脆弱，操作起来很不方便，并且AAO模板与基底的贴合也很不方便，如果将PMMA面贴于基底，待PMMA除去后，AAO的正面与基底接触，由于AAO正面孔与孔之间大部分是凸起结构，所以此时AAO与基底的接触面就比较小，与基底的结合变弱，预计AAO在后期可能更加容易用胶带粘掉的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种超薄AAO模板，包括多孔层、支柱、基底、孔壁、侧孔、竖孔、边界和单元结构，所述多孔层的下端设置有支柱，且支柱与基底相连接，所述孔壁与竖孔相连接，且其上端设置有侧孔，所述单元结构内设置有侧孔和竖孔，且其上设置有边界。

优选的，所述多孔层为一种超薄双通道结构，且其由一个个单元结构组合而成；多孔层的厚度范围为十到几百纳米，且其上的孔径均一，孔排列有序，氧化铝的材质使其在可见光波段是透明的，而且是电绝缘的。

优选的，所述支柱在基底上等距排列，且其材质为一种聚甲基丙烯酸甲酯。

优选的，所述侧孔的孔径的大小范围为几十纳米到几百纳米。

优选的，所述竖孔孔径的大小范围为几十纳米到几百纳米，且其孔中心间距不同其颜色会有差别，孔中心间距65nm、100nm、125nm的超薄AAO模板是无色的，孔中心间距450nm的超薄膜是淡蓝色的。

优选的，所述单元结构的表面呈蜂窝状，且一个个的单元结构组合连接形成超薄AAO模板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该超薄AAO模板，结合现在使用的超薄AAO模板进行创新设计，本超薄AAO模板在AAO模板与基底之间设置有由聚甲基丙烯酸甲酯制成的支柱，使得AAO模板能够得到很好的支撑，很好的解决了AAO模板不能够自支撑和操作不方便的问题，并且在AAO 模板与基底贴合之前对基底和AAO模板进行亲水处理，很好的解决了AAO模板与基底贴合不紧的问题，在去除支柱时可以使用PMMA的丙酮溶液涂一圈，等溶剂挥发完以后，PMMA固化，从而保护AAO边缘不与水溶液接触，这样会大大降低AAO与基底脱离的几率。

附图说明

图1为本实用新型侧面结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型组成单元结构示意图。

图中：1、多孔层，2、支柱，3、基底，4、孔壁，5、侧孔，6、竖孔，7、边界，8、单元结构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种超薄AAO模板，包括多孔层1、支柱2、基底3、孔壁4、侧孔5、竖孔6、边界7和单元结构8，多孔层1的下端设置有支柱2，且支柱2与基底3相连接，孔壁4与竖孔6相连接，且其上端设置有侧孔5，单元结构8内设置有侧孔5和竖孔6，且其上设置有边界7。

在本实施中，多孔层1为一种超薄双通道结构，且其由一个个单元结构8 组合而成；多孔层1的厚度范围为十到几百纳米，且其上的孔径均一，孔排列有序，氧化铝的材质使其在可见光波段是透明的，而且是电绝缘的，支柱2 在基底3上等距排列，且其材质为一种聚甲基丙烯酸甲酯，很好的解决了AAO 模板不能够自支撑和操作不方便的问题。

在本实施中，侧孔5的孔径的大小范围为几十纳米到几百纳米，竖孔6 孔径的大小范围为几十纳米到几百纳米，且其孔中心间距不同其颜色会有差别，孔中心间距65nm、100nm、125nm的超薄AAO模板是无色的，孔中心间距 450nm的超薄膜是淡蓝色的，单元结构8的表面呈蜂窝状，且一个个的单元结构8组合连接形成超薄AAO模板，多孔层1的适应环境温度范围为600℃以下，且其为自下而上的方法制备，属于自组织结构，因此它的孔径都有一定的分布范围，而不是单一值，特别是孔间距450nm的模板不均匀性略大一些，在 AAO模板与基底贴合之前对基底和AAO模板进行亲水处理，很好的解决了AAO 模板与基底贴合不紧的问题，在去除支柱时可以使用PMMA的丙酮溶液涂一圈，等溶剂挥发完以后，PMMA固化，从而保护AAO边缘不与水溶液接触，这样会大大降低AAO与基底脱离的几率。

工作原理：在使用该超薄AAO模板，需要对整个超薄AAO模板进行简单的了解，首先将目标基底3清洗干净，并进行亲水处理，这样可以使AAO将与基底3贴合更加均匀紧密，亲水处理可以采用小功率氧气清洗处理，然后将PMMA/AAO剪裁成所需形状和大小放置于衬底之上，采用丙酮浴即可除去P MMA支柱2，在此过程中，超薄AAO模板将与衬底贴合，除去PMMA之后，由于超薄AAO很脆弱，请勿碰触AAO超薄膜表面，以免AAO破损，转移操作过程中所有容器及操作台面务必事先清洗干净，将AAO转移到基底3上干燥后，如果想把基底3浸没在水溶液中，一般不可以直接将覆盖AAO的基底3直接插入水溶液中，因为水溶液的表面张力会作用于AAO膜的边缘，很可能将AA O从基底3表面掀起来而漂浮在水溶液的表面，AAO就与基底3脱离了，比较保险的方法是将AAO膜的四周边缘密封起来，可以使用PMMA的丙酮溶液涂一圈，等溶剂挥发完以后，PMMA固化，从而保护AAO边缘不与水溶液接触，这样会大大降低AAO与基底3脱离的几率，这就是整个装置的使用过程。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。