一种压阻式MEMS温度传感器的制作方法

文档序号:14642179发布日期:2018-06-08 20:27
技术总结
本实用新型公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器,该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术,采用压阻式悬臂梁结构,将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置,通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥,能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。

技术研发人员:余占清;王铁柱;蔡素雄;王晓蕊;高士森;黄泽荣;施理成
受保护的技术使用者:广东电网有限责任公司惠州供电局;清华大学
技术研发日:2017.09.27
技术公布日:2018.06.08

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