X技术
首页
登录
注册
一种压阻式MEMS温度传感器的制作方法
文档序号:14642179
发布日期:2018-06-08 20:27
阅读:
来源:国知局
导航:
X技术
>
最新专利
>
微观装置的制造及其处理技术
>
一种压阻式MEMS温度传感器的制作方法
技术总结
本实用新型公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器,该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术,采用压阻式悬臂梁结构,将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置,通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥,能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。
技术研发人员:
余占清;王铁柱;蔡素雄;王晓蕊;高士森;黄泽荣;施理成
受保护的技术使用者:
广东电网有限责任公司惠州供电局;清华大学
技术研发日:
2017.09.27
技术公布日:
2018.06.08
完整全部详细技术资料下载
当前第3页
1
 
2
 
3
 
相关技术
一种可在真空环境下对MEMS...
一种团簇离子束沉积基片架的制...
适用于低温键合式封装结构的制...
切割及湿法腐蚀双结合的封装结...
一种半导体器件及制备方法、电...
一种半导体器件及制备方法、电...
基于浓硼掺杂硅的可动微纳结构...
用于在气动型材的表面上控制流...
高密封良率的多层密封膜的制作...
使用牺牲层上平坦表面以集成互...
网友询问留言
已有
0
条留言
还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1
热敏电阻式温度传感器相关技术
一种热敏电阻阵列式物位传感器的制造方法
热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器的制造方法
一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器及制造方法
防火用热敏传感器的制造方法
热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器的制造方法
电阻式温度传感器检定系统及方法
一种磁性热敏传感器的制造方法
用于检测有故障的与温度有关的电阻传感器的多导体测量设备的制造方法
高压水电阻起动器用非接触型温度传感器测温装置的制作方法
热敏电阻用金属氮化物材料及制法和薄膜型热敏电阻传感器的制造方法
铂电阻温度传感器相关技术
国四汽车仪表通用检测台的传感器电阻信号模拟电路的制作方法
一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器及其制造方法
支持热敏电阻、铂电阻、铜电阻温度传感器混搭测量的温度采集装置的制造方法
压阻/压电夹层材料、夹层式传感器及制备、使用方法
一种铂电阻测温的硬件非线性补偿方法
大型发电机组高温高压成型定子温度传感器的制造方法
一种铂网式多功能传感器的制造方法
一种铂电阻表面温度传感器的制造方法
一种用于地面气象观测的光纤温度传感器的制造方法
铂电阻温度传感器的制造方法
电阻温度传感器相关技术
中学物理金属丝电阻与温度关系实验装置及其实验方法与流程
小型化温度传感器模块及制作方法与流程
MEMS器件、MEMS温度传感器及各自的制作方法与流程
一种中学物理金属丝电阻与温度关系实验装置及其实验方法与流程
利用热敏电阻测量温度的方法和装置与流程
打印、复印机温度传感器用NTC热敏电阻的制作方法与工艺
一种基于薄膜式热敏电阻氢气传感器的制作方法与工艺
一种基于MAX31856的热电偶测温仪及测试方法与流程
一种无温度传感器的超声水表温度修正方法与流程
一种基于微流道的钨铼薄膜温度传感器冷端补偿结构的制作方法与工艺
mems倾角传感器相关技术
一种天线姿态角的测量方法与流程
一种微孔径MEMS声阵列传感器及其使用方法与流程
一种倾角传感器温漂测试装置及其测试方法与流程
一种载体加速运动时倾角误差修正方法与流程
MEMS传感器器件的制造方法与工艺
一种MEMS传感器的制造方法与工艺
快速回归型磁性液体全方位水平倾角传感器的制造方法与工艺
一种倾角传感器数据采集方法与流程
具有负载检测装置和集成倾角传感器的起重机构和工作台的制造方法
一种天线姿态角的测量装置的制造方法
mems传感器芯片相关技术
一种基于mems开关的usb漏电保护芯片的制作方法
Mems芯片封装结构的制作方法
Mems芯片封装结构的制作方法
一种mems传感器芯片的制作方法
适用于mems传感器芯片的低应力封装结构的制作方法
Mems芯片的封装结构及封装方法
具有多功能盖板的芯片级封装的mems芯片及其制造方法
基于mems的orp传感芯片及其制造方法
Mems芯片集成的封装结构及封装方法
Mems和cmos集成芯片及传感器的制造方法
mems传感器相关技术
感光性树脂组合物、光刻胶层叠体以及它们的固化物(11)的制造方法与工艺
微加速度计在高速旋转环境下的可靠性仿真方法与制造工艺
一种导航定位方法及设备与制造工艺
表皮传感器系统和过程的制造方法与工艺
集积式CMOS及MEMS传感器制作方法与结构与制造工艺
具有冗余信号采集策略的MEMS惯性测量装置的制造方法
一种基于航位推算的导航系统的制造方法与工艺
MEMS器件的制造方法与制造工艺
具有微机械结构的MEMS压力传感器的制造方法与工艺
微机电器件的制造方法与工艺
电阻式温度传感器相关技术
一种新型温度传感器处理电路的制作方法
一种柔性体温传感材料及其制备方法
摩擦接触式温度传感器的制造方法
一种铂电阻表面温度传感器的制造方法
一种悬浮式可穿戴温度传感器的制造方法
一种高精度热敏电饭锅温度传感器的制造方法
一种分离隔热悬浮式温度传感器的制造方法
换热器化霜感温头定位装置的制造方法
悬浮式温度传感器的制造方法
口鼻气流热敏传感器的制造方法
热电阻式温度传感器相关技术
一种多点式热电阻的制作方法
换热器化霜感温头定位装置的制造方法
一种可实现多点测量的柔性温度传感器及其制备方法
一种具有自封装的柔性温度传感器及其制备方法
一种数控机床热误差测试用温度传感器的制造方法
一种红外线铂热电阻温度传感器的制造方法
一种易安装热电阻传感器的制造方法
一种耐冲击热电阻传感器的制造方法
一种热电阻温度传感器的制造方法
一种铜热电阻薄膜温度传感器芯片的制作方法