MEMS设备和微流体设备的制作方法

技术总结
所描述的是一种MEMS设备和微流体设备，该MEMS设备包括压电致动器，其包括压电材料制成的膜。该膜被多个孔贯穿。

技术研发人员：D·朱斯蒂
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2017.10.18
技术公布日：2018.06.12