本实用新型涉及一种不等高垂直梳齿器件，属于微机电器件领域。
背景技术：
MEMS不等高垂直梳齿结构中，不等高垂直梳齿由于其具有驱动电压较低、驱动位移较大、可实现离面位移、响应速度快、频率高等优点，常用在MEMS静电微扫描镜、MEMS静电微执行器、MEMS电容式惯性传感器等MEMS器件，特别是被MEMS微扫描镜广泛采用。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种不等高垂直梳齿，该不等高垂直梳齿器件具有结构简单、稳定、易于实现的特点。
为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种不等高垂直梳齿器件，包括外框架、第一扭转结构、第二扭转结构以及梳齿结构，所述第二扭转结构设置在所述第一扭转结构与梳齿结构之间，所述第一扭转结构与第二扭转结构活动性设置在所述外框架上，所述第一扭转结构的一侧固定连接在所述外框架上，另一侧通过限位结构与所述第二扭转结构连接，所述第二扭转结构的一侧设有与所述梳齿结构相对应的梳齿部，所述梳齿部与所述梳齿结构之间具有高度差。
进一步地，所述不等高垂直梳齿器件还包括第一扭转梁和第二扭转梁，所述第一扭转梁连接所述第一扭转结构和外框架，所述第二扭转梁连接所述第二扭转结构和外框架。
进一步地，所述限位结构为止挡销结构，所述止挡销结构包括设置在所述第一扭转结构上的第一止挡销结构以及设置在所述第二扭转结构上的第二止挡销结构，所述第一止挡销结构包括第一挡销和第一插销，所述第二止挡销结构包括与所述第一挡销对应的第二插销以及与所述第一插销对应的第二挡销。
进一步地，所述第一扭转结构包括第一按压板，所述第一按压板设置在所述第一扭转结构的中间，所述第一止挡销结构设置在所述第一按压板的两侧。
进一步地，所述第二扭转结构包括第二按压板，所述第二按压板设置在所述第二扭转结构的中间，所述第二止挡销结构设置在所述第二按压板的两侧。
进一步地，所述第二扭转梁设置在所述第二止挡销结构和梳齿部之间，以方便该器件扭转。
进一步地，所述梳齿结构包括第一梳齿和梳齿框架，所述第一梳齿设置在所述梳齿框架上，所述梳齿部包括第二梳齿，所述第一梳齿与第二梳齿之间具有高度差。
本实用新型的有益效果在于：本实用新型的不等高垂直梳齿器件通过特殊的梳齿结构、止挡销结构以及扭转结构，在外力作用下，使该器件实现不等高垂直梳齿结构。故，该不等高垂直梳齿器件具有结构简单、稳定，且易于实现的特点。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1为本实用新型一实施例所示的不等高垂直梳齿器件的结构示意图；
图2为图1所示的不等高垂直梳齿器件的止挡销结构的示意图；
图3为图1所示的不等高垂直梳齿器件在未形成不等高垂直梳齿时的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
请参见图1至图3，本实用新型一实施例所示的不等高垂直梳齿器件包括外框架1、第一扭转结构2、第二扭转结构3以及梳齿结构4。所述第二扭转结构3设置在所述第一扭转结构1与梳齿结构4之间，所述第一扭转结构2与第二扭转结构3分别通过第一扭转梁11和第二扭转梁12活动性设置在所述外框架1上，所述梳齿结构4与所述第二扭转结构3的可活动结构连接。所述第一扭转结构2的一侧固定连接在所述外框架1上，另一侧通过限位结构5与所述第二扭转结构3连接，所述第二扭转结构3的一侧设有与所述梳齿结构4相对应的梳齿部31，所述梳齿部31与所述梳齿结构4之间具有高度差。
在本实施例中，所述限位结构5为止挡销结构，诚然，在其他实施例中，该限位结构5还可为其他结构。所述止挡销结构5包括设置在所述第一扭转结构2上的第一止挡销结构51以及设置在所述第二扭转结构3上的第二止挡销结构52，所述第一止挡销结构51包括第一挡销511和第一插销512，所述第二止挡销结构52包括与所述第一挡销511对应的第二插销521以及与所述第一插销 512对应的第二挡销522。所述第二扭转梁12设置在所述第二止挡销结构52和梳齿部31之间，以方便该器件扭转。
在本实施例中，所述第一扭转结构2包括第一按压板21，所述第一按压板 21设置在所述第一扭转结构2的中间，所述第一止挡销结构51设置在所述第一按压板21的两侧。所述第二扭转结构3包括第二按压板32，所述第二按压板32设置在所述第二扭转结构3的中间，所述第二止挡销结构52设置在所述第二按压板32的两侧。
在本实施例中，所述梳齿结构4包括第一梳齿41和梳齿框架42，所述第一梳齿41设置在所述梳齿框架42上，所述梳齿部31包括第二梳齿311，所述第一梳齿41与第二梳齿311之间具有高度差，两者在电压驱动下会做相对位移，从而使与所述梳齿结构4相连接的可活动结构产生扭转或离面位移。
本实用新型所示的结构在形成具有高度差的梳齿之前呈平面状，通过外力同时作用在第一按压板21和第二按压板32的相邻端，使两者同时向作用力的方向移动，当第一按压板21和第二按压板32移动到一定距离时，第一挡销511 或第二挡销522从第二插销521或第一插销512中脱出，随后撤掉作用力，此时，第一扭转梁11和第二扭转梁12提供恢复力，进而使第一插销512或第二插销521止挡在第二挡销522或第一挡销511上，导致梳齿部31绕第二扭转梁 12翘起，从而使第二梳齿311与第一梳齿41形成高度差。
综上所述：本实用新型的不等高垂直梳齿器件通过特殊的梳齿结构、止挡销结构以及扭转结构，在外力作用下，使该器件实现不等高垂直梳齿结构。故，该不等高垂直梳齿器件在结构上，无需多种材料符合，具有简单稳定的特点，同时，该器件结构易于实现。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。